一种真空内电加热喷淋头结构制造技术

本发明专利技术属于真空镀膜设备技术领域，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构，包括喷淋顶板，所述的喷淋顶板内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋顶板与腔体外壳连接处设有一圈密封条；喷淋板，与喷淋顶板连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔。加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，与喷淋顶板连接。可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。

【技术实现步骤摘要】
一种真空内电加热喷淋头结构
本专利技术属于真空镀膜设备
，具体提供了一种真空内电加热喷淋头结构。
技术介绍
真空镀膜设备中，真空腔体内需要满足相关镀膜沉积的温度工艺要求，现有技术中，该真空腔体内的温度通过从外部热传导方式达到内部的温度工艺，即大气端热源通过顶板间接传热给喷淋板，温度不建议超高250℃，否则顶板与容器的密封圈会很快老化而无法使用无法实现密封作用，对真空腔体内的真空度有影响。但是温度低又无法满足真空腔体内温度工艺，进而影响镀膜沉积效果。另外喷淋顶板温度过高的话不利于安全生产，容易产生事故。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术提供了一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。进一步地：在所述的喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与隔热环接触连接。进一步地：还包括一热辐射隔板，设置在加热环与阻热环之间。进一步地：在阻热环与喷淋板接触处、喷淋顶板与喷淋板接触处均设有一密封圈。进一步地：加热环通过在喷淋顶板外接一供电装置对其加热。进一步地：所述的加热环与阻热环采用镍基合金材料。进一步地：喷淋腔室内还设有一阻流板，该阻流板上设有多个阻流通孔，喷淋气体进入方向为顺次经过气体入口、阻流板及喷淋板。进一步地：所述的阻流板上的阻热气孔直径小于喷淋板的通气孔。本专利技术的优势在于：可实现真空腔体内对喷淋板的高温加热，通过结构优化调整热阻后喷淋板温度可达到300℃，同时减少通过喷淋顶板对外部的热损失，保障了其温度波动≤±5℃。同时保障外部大气侧空间温度符合生产规范。附图说明图1为本专利技术的一种实施例结构示意图；图2为本专利技术的另一种实施例结构示意图：其中，喷淋顶板-1、喷淋气体入口-2、密封条-3、喷淋板-4、喷淋腔室-5、加热环-6、阻热环-7、热辐射隔板-8、密封圈-9、阻流板-10、阻热环螺钉-11.具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参考图1，本专利技术提供了一种真空内电加热喷淋头结构的具体实施方式：该喷淋头结构设置在具有真空腔体的镀膜设备上，包括，喷淋顶板1，位于大气侧，所述的喷淋顶板1内设有可供介质循环的通道，该通道内设有冷却介质，介质温度30-75℃，与循环制冷机组连接；所述的喷淋顶板1上设有喷淋气体入口2；喷淋顶板1与腔体外壳连接处设有一圈密封条3；喷淋板4，所述的喷淋板4位于真空侧，与喷淋顶板1连接且具有凹进部，上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住所述喷淋气体入口2形成一喷淋腔室5；加热环6，设置在喷淋板4与喷淋顶板1连接处，设置方式为嵌入设置在喷淋板4内。在所述的喷淋板4上端面与喷淋顶板1接触处设有环形凹槽，所述加热环6嵌入到所述凹槽，上端面与隔热环接触连接。对于加热环还有另外一种设置方式，加热环设置在喷淋板上端面上，参考图2所示，阻热环7，设置在加热环6与喷淋顶板1之间，所述的加热环6通过阻热螺丝固定在所述的喷淋顶板1上，阻挡加热环6对喷淋顶板1的热量传递。作为方案的改进，还包括一热辐射隔板8，所述的加热环6至少1面外围有至少设有1层金属热辐射隔板8，减少加热环6与低温面辐射热损失，用于阻挡热量传递给喷淋顶板1。作为方案的改进，在所述阻热环7与喷淋板4接触处、喷淋顶板1与喷淋板4接触处均设有一密封圈9。作为方案的改进，所述的加热环6通过在喷淋顶板1外接一供电装置加热。供电端有(+)/(-)两个接线端子接AC或DC。作为方案的改进，所述的加热环6与阻热环7采用镍基合金材料，采用镍基合金材料(Inconel718、HastelloyC276等)，高温热变形小、强度高。作为方案的改进，喷淋腔室5内还设有一阻流板10，通过螺钉固定在喷淋顶板1上，该阻流板10本体上设有多个阻流通孔，所述的阻流板10上的阻热气孔小于喷淋板4的通气孔。喷淋气体顺次经过气体入口、阻流板10及喷淋板4。作用是让进入喷淋头小孔气体分布均匀。该采用真空内加热，若无工艺限制结构设计合理温度可达到600℃，此时顶板有恒温循环冷却介质作用，一方面保护了密封圈9温度不会超过100℃，大大延长密封圈9寿命；另一方面顶板大气侧环境温度也不会过高而造成意外事故。通过上述的两个具体实施方式发现，加热环6均设置在喷淋板4与喷淋顶板1连接处，但位置设置方式不同。如图1所示，一种方式为嵌入设置在喷淋板4上端面凹槽内；另一种实施例方式为设置在喷淋板4上端面上部，二者均可达到减少通过喷淋顶板对外部的热损失。但是通过实验表明，具体实施方式如图1所示的加热环6的位置结构设计，实验表明热阻会更大，热效率优于将该加热环6设置在喷淋板4上端面上的结构设计。该设计不仅仅从阻热的角度设计，更加考虑通过不同结构设计，会有不同的热阻效果。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，其特征在于：包括，/n喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；/n喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；/n加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；/n阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空内电加热喷淋头结构，设置在具有真空腔体的镀膜设备上，其特征在于：包括，
喷淋顶板，位于大气侧内设有可供介质循环的通道；所述的喷淋顶板上设有喷淋气体入口；
喷淋板，所述的喷淋板位于真空侧，连接于所述的喷淋顶板且具有凹进部，所述凹进部上设有多个喷淋通孔，该凹进部罩住喷淋气体入口形成一喷淋腔室；
加热环，设置在喷淋板与喷淋顶板连接处，设置方式包括嵌入设置在喷淋板内或者置于喷淋板的上端面上；
阻热环，设置在加热环与喷淋顶板之间，连接于所述喷淋顶板。


2.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：在喷淋板上设有环形的凹槽，加热环嵌入到凹槽内上端面与隔热环接触连接。


3.如权利要求1所述的一种真空内电加热喷淋头结构，其特征在于：还包括一热辐射隔板，设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘春，谈太德，
申请(专利权)人：拓荆科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21