一种真空蒸镀机的观察窗结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃、安装架和延伸件，外层玻璃和安装架固定在腔体门上，延伸件与安装架连接并位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°‑180°，安装架具有第一通孔；延伸件有两个，两个延伸件上下设置在安装架上且倾斜角a相同或者不相同，延伸件中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件反射后穿过第一通孔到达外层玻璃，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的观察窗结构
本专利技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的观察窗结构。
技术介绍
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。在镀膜的过程中，可以通过观察窗结构目视观察真空蒸镀机的主腔体内的运行状况，坩埚内蒸镀材料的情况、镀锅的回转情况、加热灯的状态等。目前的真空蒸镀机的观察窗结构从外向内包括把手、回转轴、外层玻璃、回转玻璃，回转玻璃跟着回转轴同步旋转，然后通过防着板上的观察孔观察真空蒸镀机的腔体内的情况。并且由于回转玻璃对着观察孔的地方会被镀膜，下一次观察的时候将回转玻璃没有被镀膜的地方对着观察孔进行观察，应用几次之后回转玻璃被全部镀膜没法再进行观察，就需要经常更换腔体门内的回转玻璃，回转玻璃称为易耗品，物料成本和更换的加工成本均较大，并且防着板上的观察孔很小，观察主腔体内部的视觉角度窄，并且人体要趴在腔体门上观察起来不太方便。有鉴于此，本专利技术提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，完全颠覆现有技术的观察窗结构，结构更简单，更重要的是，该观察窗结构的观察玻璃不会被蒸镀材料镀膜，没有因镀膜而需要更换的部件，并且视觉角度大，人体观察时舒适。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种真空蒸镀机的观察窗结构，完全颠覆现有技术的观察窗结构，结构更简单，更重要的是，该观察窗结构的观察玻璃不会被蒸镀材料镀膜，没有因镀膜而需要更换的部件，并且视觉角度大，人体观察时舒适。本申请的真空蒸镀机的观察窗结构，位于主腔体内的延伸件起到反射光线以方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过安装架的第一通孔的双重作用，由两个延伸件将蒸镀材料完全阻挡，上方延伸件的下表面和下方延伸件的下表面阻挡蒸发的蒸镀材料，没有蒸镀材料穿过安装架的第一通孔和腔体门通孔，因此外层玻璃不会被镀膜，外层玻璃不需要更换，可以用几年没有问题，与此同时，上方延伸件的下表面和/或下方延伸件的上表面起到反射的作用，其中，上方延伸件的下表面被镀膜后会越镀越亮，不影响反射的效果，因此本申请的真空蒸镀机的观察窗结构的观察玻璃不会被蒸镀材料镀膜并且没有因镀膜而需要更换的部件；并且，通过大面积的外层玻璃直接观察主腔体内部，与现有技术通过防着板上的观察孔观察相比，视觉角度增大很多，同时，光线直接进入人眼或/和光线通过延伸件反射后进入人眼，人体观察时舒适，不需要趴在腔体门上观察，与腔体门有一定的间距观察也可。本申请人在此基础上完成了本申请。一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃1、安装架2和延伸件3，所述外层玻璃1固定在腔体门上，所述安装架2固定在腔体门上，所述延伸件3与安装架2连接，延伸件3位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件3与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°-180°，安装架2具有第一通孔21；延伸件3有两个，两个延伸件3上下设置在安装架2上，两个延伸件3的倾斜角a相同或者不相同，延伸件3中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件3反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，因此人眼在外层玻璃1的外侧能够观察主腔体内部的情况，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件3阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔21。在一些实施方式中，镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，当观察窗结构的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，延伸件3起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21的双重作用；当观察窗结构的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L×cotb时，延伸件3起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况的作用，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗结构的上方延伸件31的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1×cotc。当观察窗结构的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L×cotb时，此时虽然不需要延伸件3的阻挡也没有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21，散射角b以外的少量的蒸镀材料可以忽略不计，外层玻璃1用几年也不用更换，但是坩埚内的蒸镀材料的表面低于坩埚的上表面，坩埚为碗状的形状，当观察坩埚内蒸镀材料时坩埚的侧围会造成视觉上的影响，当观察窗结构的上方延伸件31的最高点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L1×cotc时，人眼通过该观察窗结构无法观察到任何坩埚内的蒸镀材料，视线完全被坩埚的右侧围阻挡，因此为了能够观察到坩埚内的蒸镀材料的状况，观察窗结构在腔体门上的高度最低需满足，观察窗结构的上方延伸件31的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1×cotc。进一步的，当观察窗结构的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，下方延伸件32的下表面和上方延伸件31的下表面阻挡蒸发的蒸镀材料，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件32的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件32的长度为M，上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。若上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距大于M×cosa+M×sina×cotd，则会有蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔21和腔体门通孔镀膜到外层玻璃1的内表面，外层玻璃1的内表面被镀膜后人眼通过外层玻璃1无法观察到主腔体内的情况，需要定期更换外层玻璃1，因此当观察窗结构的上方延伸件31的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，需要满足上方延伸件31和下方延伸件32在安装架2上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。进一步的，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时，光线通过上延伸件31的下表面反射到下延伸件32的上表面，下延伸件32的上表面反射后穿过第一通孔21到达外层玻璃1，上延伸件31的下表面和下延伸件32的上表面均具有反射功能，或者光线通过上延伸件31的下表面反射后直接穿过第一通孔21到达外层玻璃1，上延伸件31的下表面具有反射功能；人眼观察主腔体内上方的镀锅时，光线通过下延伸件32的上表面反射后直接穿过第一通孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，其特征在于，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃(1)、安装架(2)和延伸件(3)，所述外层玻璃(1)固定在腔体门上，所述安装架(2)固定在腔体门上，所述延伸件(3)与安装架(2)连接，延伸件(3)位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件(3)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°-180°，安装架(2)具有第一通孔(21)；延伸件(3)有两个，两个延伸件(3)上下设置在安装架(2)上，两个延伸件(3)的倾斜角a相同或者不相同，延伸件(3)中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件(3)反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)，因此人眼在外层玻璃(1)的外侧能够观察主腔体内部的情况，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件(3)阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔(21)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的观察窗结构，所述观察窗结构设置在真空蒸镀机的腔体门上，其特征在于，所述观察窗结构从外向内包括：外层玻璃(1)、安装架(2)和延伸件(3)，所述外层玻璃(1)固定在腔体门上，所述安装架(2)固定在腔体门上，所述延伸件(3)与安装架(2)连接，延伸件(3)位于真空蒸镀机的主腔体内，延伸件(3)与腔体门内壁的垂直线之间具有倾斜角a，倾斜角a为0°-180°，安装架(2)具有第一通孔(21)；延伸件(3)有两个，两个延伸件(3)上下设置在安装架(2)上，两个延伸件(3)的倾斜角a相同或者不相同，延伸件(3)中的一个或者两个具有反射功能；真空蒸镀机的主腔室内的光线通过延伸件(3)反射后穿过第一通孔(21)到达外层玻璃(1)，因此人眼在外层玻璃(1)的外侧能够观察主腔体内部的情况，设置在主腔体底板上的坩埚内的蒸镀材料在镀膜时以散射角b呈圆锥体形状向上蒸发，延伸件(3)阻挡蒸发的蒸镀材料防止蒸镀材料穿过第一通孔(21)。


2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的观察窗结构，其特征在于，镀膜时坩埚内的蒸镀材料的表面与主腔体底板之间的距离为H，坩埚内的蒸镀材料的表面中心点与腔体门之间的距离为L，当观察窗结构的上方延伸件(31)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，延伸件(3)起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况和阻挡蒸发的蒸镀材料穿过第一通孔(21)的双重作用；当观察窗结构的上方延伸件(31)的最低点与主腔体底板之间的距离小于等于H+L×cotb时，延伸件(3)起到反射光线方便人眼观察主腔体内情况的作用，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面最左侧点和坩埚上沿最右侧点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为c,坩埚内的蒸镀材料的表面最左侧点与腔体门之间的距离为L1，观察窗结构的上方延伸件(31)的最高点与主腔体底板之间的距离大于H+L1×cotc。


3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的观察窗结构，其特征在于，当观察窗结构的上方延伸件(31)的最低点与主腔体底板之间的距离大于H+L×cotb时，下方延伸件(32)的下表面和上方延伸件(31)的下表面阻挡蒸发的蒸镀材料，并且此时需同时满足，以坩埚内蒸镀材料表面中心点和下方延伸件(32)的最高点之间连线，该连接线与腔体门内壁的垂直线之间的夹角为d,下方延伸件(32)的长度为M，上方延伸件(31)和下方延伸件(32)在安装架(2)上的间距小于等于M×cosa+M×sina×cotd。


4.如权利要求2-3任一所述的真空蒸镀机的观察窗结构，其特征在于，人眼观察坩埚内的蒸镀材料时...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32