一种晶圆切割线用扭转断线检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，包括检测台，所述检测台表面固定有支架，所述支架内侧装设有扭转辊筒，所述支架一侧设置有立板，所述支架另一侧设置有支板，所述支板表面贯穿固定有套筒，所述套筒内部贯穿有拉柱，所述拉柱与立板表面均固定有连接环，所述扭转辊筒表面设置有切割线；本实用新型专利技术通过设计的扭转辊筒，对进行检测的切割线进行扭转处理，进而通过一端拉扯检测出断线，通过设计的套筒，对拉柱实现套设连接，保证拉柱在对切割线一端拉扯中处于水平状态，避免其影响扭转部分的拉力断点检测，通过设计的配重座和配重砝码，两者相互配合，进而对切割线的牵引拉力实现调节改变，以达到检测拉力的读取。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割线用扭转断线检测装置
本技术属于扭转断线检测
，具体涉及一种晶圆切割线用扭转断线检测装置。
技术介绍
晶圆切割线具有一定的高强度和韧性，作为切割机用切割线锯使用，使其对材料实现加工处理，在切割加工中具有切面光整、出材率高、噪音低、切割效率高对环境污染小等优点，在最近十几年中得到了快速发展，并且其他领域的应用也越来越广泛。现有的晶圆切割线在加工生产中，由于切割线过于细小，从而为保证其使用韧性，需要对其进行多种检测工序进行检测，从而保证其达到合格使用要求，但是在实际检测中，都是对其直线拉伸或者挤压检测，没有检测设备对其处于扭转状态下的牵引断线程度进行检测，检测数据不全面的问题，为此我们提出一种晶圆切割线用扭转断线检测装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，包括检测台，所述检测台表面固定有支架，所述支架内侧装设有扭转辊筒，所述支架一侧设置有立板，所述支架另一侧设置有支板，所述支板表面贯穿固定有套筒，所述套筒内部贯穿有拉柱，所述拉柱与立板表面均固定有连接环，所述扭转辊筒表面设置有切割线，所述切割线两端均与相对应的连接环相互连接，所述拉柱另一端连接有牵引线，所述牵引线底端固定有配重座。优选的，所述配重座内侧设置有配重砝码，所述配重砝码内侧贯穿有立柱，所述立柱固定在配重座端面。优选的，所述配重座的纵截面为工字型结构，所述立柱为六个，且六个所述的立柱位于配重座表面呈圆形阵列。优选的，所述拉柱外壁开设有限位滑孔，所述限位滑孔内部贯穿有限位柱，所述限位柱固定在套筒内部。优选的，所述检测台一端开设有凹槽，所述凹槽内侧装设有导向辊筒，所述导向辊筒表面与牵引线表面相互贴合。优选的，所述检测台底端四个拐角处均固定有支腿，所述支腿顶端侧壁固定有三角板。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）通过设计的扭转辊筒，对进行检测的切割线进行扭转处理，进而通过一端拉扯检测出断线，通过设计的套筒，对拉柱实现套设连接，保证拉柱在对切割线一端拉扯中处于水平状态，避免其影响扭转部分的拉力断点检测，通过设计的配重座和配重砝码，两者相互配合，进而对切割线的牵引拉力实现调节改变，以达到检测拉力的读取，通过设计的立柱，对放置的配重砝码进行限位，避免其从配重座上脱落。（2）通过设计的限位柱，对拉柱起到限位作用，避免其从套筒内拉出，通过设计的导向辊筒，起到导向作用，避免牵引线余检测台端面相互贴合而发生磨损，通过设计的三角板，对支腿实现加固，避免其与检测台连接处发生断裂。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中A处局部放大图；图3为本技术检测台、支架和支板的侧面组装示意图；图4为本技术配重座顶端剖面俯视图；图中：1、检测台；2、立板；3、连接环；4、切割线；5、扭转辊筒；6、支架；7、拉柱；8、套筒；9、牵引线；10、导向辊筒；11、配重座；12、配重砝码；13、立柱；14、三角板；15、限位柱；16、支板。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，包括检测台1，检测台1表面固定有支架6，支架6内侧装设有扭转辊筒5，通过设计的扭转辊筒5，对进行检测的切割线4进行扭转处理，进而通过一端拉扯检测出断线，支架6一侧设置有立板2，支架6另一侧设置有支板16，支板16表面贯穿固定有套筒8，通过设计的套筒8，对拉柱7实现套设连接，保证拉柱7在对切割线4一端拉扯中处于水平状态，避免其影响扭转部分的拉力断点检测，套筒8内部贯穿有拉柱7，拉柱7与立板2表面均固定有连接环3，扭转辊筒5表面设置有切割线4，切割线4两端均与相对应的连接环3相互连接，拉柱7另一端连接有牵引线9，牵引线9底端固定有配重座11，通过设计的配重座11和配重砝码12，两者相互配合，进而对切割线4的牵引拉力实现调节改变，以达到检测拉力的读取，配重座11内侧设置有配重砝码12，配重砝码12内侧贯穿有立柱13，通过设计的立柱13，对放置的配重砝码12进行限位，避免其从配重座11上脱落，立柱13固定在配重座11端面。本实施例中，优选的，配重座11的纵截面为工字型结构，立柱13为六个，且六个的立柱13位于配重座11表面呈圆形阵列，拉柱7外壁开设有限位滑孔，限位滑孔内部贯穿有限位柱15，通过设计的限位柱15，对拉柱7起到限位作用，避免其从套筒8内拉出，限位柱15固定在套筒8内部。本实施例中，优选的，检测台1一端开设有凹槽，凹槽内侧装设有导向辊筒10，通过设计的导向辊筒10，起到导向作用，避免牵引线9余检测台1端面相互贴合而发生磨损，导向辊筒10表面与牵引线9表面相互贴合，检测台1底端四个拐角处均固定有支腿，支腿顶端侧壁固定有三角板14，通过设计的三角板14，对支腿实现加固，避免其与检测台1连接处发生断裂。本技术的工作原理及使用流程：本技术在对晶圆切割线进行扭转断线检测时，将其待检测的晶圆切割线两端分别连接在立板2和拉柱7的连接环3上，同时保证晶圆切割线处于扭转辊筒5的顶端部位，使其达到扭转作用，然后将其配重砝码12放置在配重座11上，使其配重座11产生下坠作用，拉动拉柱7在套筒8内水平滑移，从而对切割线4进行拉扯，依次放入，直至晶圆切割线扭转处发生断线时停止放置，通过放置的配重砝码12即可检测出断线时最大承受拉力。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，包括检测台（1），其特征在于：所述检测台（1）表面固定有支架（6），所述支架（6）内侧装设有扭转辊筒（5），所述支架（6）一侧设置有立板（2），所述支架（6）另一侧设置有支板（16），所述支板（16）表面贯穿固定有套筒（8），所述套筒（8）内部贯穿有拉柱（7），所述拉柱（7）与立板（2）表面均固定有连接环（3），所述扭转辊筒（5）表面设置有切割线（4），所述切割线（4）两端均与相对应的连接环（3）相互连接，所述拉柱（7）另一端连接有牵引线（9），所述牵引线（9）底端固定有配重座（11）。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，包括检测台（1），其特征在于：所述检测台（1）表面固定有支架（6），所述支架（6）内侧装设有扭转辊筒（5），所述支架（6）一侧设置有立板（2），所述支架（6）另一侧设置有支板（16），所述支板（16）表面贯穿固定有套筒（8），所述套筒（8）内部贯穿有拉柱（7），所述拉柱（7）与立板（2）表面均固定有连接环（3），所述扭转辊筒（5）表面设置有切割线（4），所述切割线（4）两端均与相对应的连接环（3）相互连接，所述拉柱（7）另一端连接有牵引线（9），所述牵引线（9）底端固定有配重座（11）。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割线用扭转断线检测装置，其特征在于：所述配重座（11）内侧设置有配重砝码（12），所述配重砝码（12）内侧贯穿有立柱（13），所述立柱（13）固定在配重座（11）端面。


3....

【专利技术属性】
技术研发人员：杨崇秋，吉成东，周林，
申请(专利权)人：江苏茂硕新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32