加工装置制造方法及图纸

提供加工装置，其将图像显示于显示装置，在作业者一边观察图像一边作业的情况下减轻作业者的负担。加工装置具有：卡盘工作台，其包含板状的保持部件，保持部件具有从一个面至另一个面由透明材料形成的规定的区域；加工单元，其对被加工物进行加工；第1拍摄单元，其设置于卡盘工作台的上方，取得背面侧的正像；第2拍摄单元，其设置于卡盘工作台的下方，取得正面侧的正像；显示装置，其显示第1拍摄单元所拍摄的背面侧的图像和第2拍摄单元所拍摄的正面侧的图像中的至少任意图像；和控制部，其对背面侧的正像和正面侧的正像中的任意图像进行图像处理而按照在规定的方向上翻转的状态显示于显示装置，以便使背面侧的正像和正面侧的正像的朝向一致。

【技术实现步骤摘要】
加工装置
本专利技术涉及在对在正面侧形成有规定的图案的被加工物的该正面侧进行保持的状态下对被加工物的背面侧进行加工的加工装置。
技术介绍
用于移动电话、个人计算机等电子设备的半导体器件芯片例如通过对由硅等半导体材料形成的圆盘状的晶片(被加工物)进行加工来制造。在被加工物的正面侧设定有多条分割预定线，在由多条分割预定线划分的各区域中形成有IC(IntegratedCircuit：集成电路)、LSI(LargeScaleIntegration：大规模集成电路)、MEMS(MicroElectroMechanicalSystems：微机电系统)等器件。为了从被加工物制造器件芯片，例如在通过对被加工物的背面侧进行磨削而使被加工物薄化至规定的厚度之后，沿着各分割预定线对被加工物进行切削，从而将被加工物分割成器件单位来制造器件芯片。在对被加工物进行切削的切削工序中使用切削装置，该切削装置具有在主轴的一端安装有切削刀具的切削单元和对被加工物进行吸引而保持的卡盘工作台。在通常的切削工序中，首先，使被加工物的正面侧朝上，利用卡盘工作台对被加工物的背面侧进行吸引而保持。在保持着背面侧之后，利用设置于卡盘工作台的上方的第1照相机对被加工物的正面侧进行拍摄，从而进行对准。第1照相机具有用于利用可见光对被摄体进行拍摄的CCD(Charge-CoupledDevice：电荷耦合器件)图像传感器或CMOS(ComplementaryMetal-Oxide-Semiconductor：互补金属氧化物半导体)图像传感器等拍摄元件。根据利用第1照相机对形成有对准标记等的被加工物的正面侧进行拍摄的结果而进行被加工物的位置校正等对准。在对准后，利用切削刀具沿着各分割预定线对被加工物进行切削。但是，近年来，伴随着器件的多样化，有时从被加工物的背面侧对被加工物进行切削(例如，参照专利文献1)。在该情况下，由于被加工物的正面侧朝下配置并被卡盘工作台保持，因此即使利用设置于卡盘工作台的上方的第1照相机对被加工物的背面侧进行拍摄，也无法拍摄对准标记等。因此，开发了如下的切削装置：该切削装置具有由对于可见光透明的材料形成的卡盘工作台和配置于卡盘工作台的下方的可见光用的第2照相机(例如，参照专利文献2)。如果使用第2照相机，则能够在利用卡盘工作台保持着被加工物的正面侧的状态下从卡盘工作台的下方拍摄被加工物的正面侧。因此，即使在使被加工物的背面侧朝上并利用卡盘工作台保持着被加工物的正面侧的情况下，也能够观察正面侧。专利文献1：日本特开2006-140341号公报专利文献2：日本特开2010-87141号公报但是，在将由第2照相机取得的正面侧的图像和由第1照相机取得的背面侧的图像直接显示在液晶显示器等显示装置上的情况下，正面侧的图像以与背面侧的图像相比左右或上下翻转的状态显示。其结果为，例如，正面侧的图像的左方向与背面侧的图像的右方向对应。因此，对于作业者来说，不容易掌握正面侧和背面侧的对应关系，这成为作业者的负担。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种加工装置，该加工装置将从卡盘工作台的下方拍摄被加工物而得的图像显示在显示装置上，在作业者一边观察所显示的该图像一边进行作业的情况下，能够减轻作业者的负担。根据本专利技术的一个方式，提供一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的正像；第2拍摄单元，其具有第2拍摄元件，该第2拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的正像；显示装置，其显示由该第1拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第2拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像；以及控制部，其具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，该控制部对该背面侧的正像和该正面侧的正像中的任意图像进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的正像和该正面侧的正像的朝向一致。根据本专利技术的另一方式，提供一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的正像；第3拍摄单元，其具有第3拍摄元件，该第3拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的镜像；以及显示装置，其显示由该第1拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第3拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像。优选的是，加工装置还具有控制部，该控制部具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，该控制部对该背面侧的正像和该正面侧的镜像这双方进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的正像和该正面侧的镜像的朝向一致。根据本专利技术的另一方式，提供一种加工装置，其中，该加工装置具有：卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；第4拍摄单元，其具有第4拍摄元件，该第4拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的镜像；第2拍摄单元，其具有第2拍摄元件，该第2拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第4拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的正像；以及显示装置，其显示由该第4拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第2拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像。优选的是，加工装置还具有控制部，该控制部具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，该控制部对该背面侧的镜像和该正面侧的正像这双方进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的镜像和该正面侧的正像的朝向一致。根据本专利技术的另一方式，提供一种加工装置，其中，该加工装置具有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种加工装置，其特征在于，/n该加工装置具有：/n卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；/n加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；/n第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的正像；/n第2拍摄单元，其具有第2拍摄元件，该第2拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的正像；/n显示装置，其显示由该第1拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第2拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像；以及/n控制部，其具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，该控制部对该背面侧的正像和该正面侧的正像中的任意图像进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的正像和该正面侧的正像的朝向一致。/n...

【技术特征摘要】
20200204 JP 2020-0169921.一种加工装置，其特征在于，
该加工装置具有：
卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；
加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；
第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的正像；
第2拍摄单元，其具有第2拍摄元件，该第2拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的正像；
显示装置，其显示由该第1拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第2拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像；以及
控制部，其具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，该控制部对该背面侧的正像和该正面侧的正像中的任意图像进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的正像和该正面侧的正像的朝向一致。


2.一种加工装置，其特征在于，
该加工装置具有：
卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从该一个面至该另一个面由透明材料形成的规定的区域；
加工单元，其在被加工物的正面侧被该卡盘工作台的该一个面保持并且该被加工物的背面侧向上方露出的状态下对该被加工物进行加工，其中，该被加工物在该正面侧具有规定的图案；
第1拍摄单元，其具有第1拍摄元件，该第1拍摄单元设置于该卡盘工作台的上方，取得该背面侧的正像；
第3拍摄单元，其具有第3拍摄元件，该第3拍摄单元设置于该卡盘工作台的下方，在与由该第1拍摄单元进行拍摄的区域在该被加工物的厚度方向上对应的区域中取得该正面侧的镜像；以及
显示装置，其显示由该第1拍摄单元取得的该背面侧的图像和由该第3拍摄单元取得的该正面侧的图像中的至少任意图像。


3.根据权利要求2所述的加工装置，其特征在于，
该加工装置还具有控制部，该控制部具有存储有执行图像处理的程序的存储装置和根据该程序对图像进行处理的处理器，
该控制部对该背面侧的正像和该正面侧的镜像这双方进行图像处理而按照在规定的方向上进行了翻转的状态显示在该显示装置上，以便使该背面侧的正像和该正面侧的镜像的朝向一致。


4.一种加工装置，其特征在于，
该加工装置具有：
卡盘工作台，其包含板状的保持部件，该保持部件包含一个面和位于该一个面的相反侧的另一个面，并且具有从...

【专利技术属性】
技术研发人员：小岛芳昌，久保敦嗣，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP