一种扩散石英舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散石英舟，包括两个支撑板和三个石英棒，三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒，底部支撑石英棒固定连接在两个支撑板之间，支撑板上设有供侧部支撑石英棒插入的横向通槽，横向通槽包括顶壁和底壁，底壁上设有若干个下夹槽，横向通槽内设有压板，压板的底部设有与下夹槽一一对应的若干个上夹槽，顶壁上设有弹簧安装孔，弹簧安装孔中安装有压缩弹簧，压缩弹簧的下端贯穿弹簧安装孔的开口并与压板固定连接，侧部支撑石英棒的端部插入横向通槽中，侧部支撑石英棒的端部夹紧于对应的上夹槽和下夹槽之间。本实用新型专利技术一种扩散石英舟，可承载不同尺寸的硅片，从而避免因硅片尺寸改变而花费额外费用采购石英舟。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散石英舟
本技术涉及一种扩散石英舟。
技术介绍
目前，太阳能作为新兴的清洁、可再生能源，已经取得越来越广泛地应用。扩散工艺是晶体硅太阳能电池的生产过程中关键工序之一，它是将P(N)型硅片上扩散N(P)型杂质形成PN结，它是硅片具有光伏效应的基础。扩散工艺需要使用一种硅片承载装置将硅片有序放在该装置上，然后再将装有硅片的承载装置放置在碳化舟上并送入扩散炉进行扩散。石英因其材料耐酸、耐高温、耐热震、热膨胀系数小等而成为了硅片扩散工艺的首选承载装置，一般把石英材质做成的硅片扩散承载装置称为石英舟。在现有技术中，常规的石英舟只能承载一种尺寸大小的硅片，当硅片规格不同时，需要更换石英舟对硅片进行承载，这样就造成了成本的提高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种扩散石英舟，其结构合理，可承载不同尺寸的硅片，从而避免因硅片尺寸改变而花费额外费用采购石英舟。为实现上述目的，本技术的技术方案是设计一种扩散石英舟，包括两个支撑板，以及连接在两个支撑板之间的三个石英棒，所述三个石英棒在两个支撑板之间形成用于容纳硅片的支架区；所述三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒，所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧，所述底部支撑石英棒固定连接在两个支撑板之间，所述支撑板上设有供侧部支撑石英棒插入的横向通槽，所述横向通槽包括顶壁和底壁，所述底壁上设有若干个下夹槽，各下夹槽呈圆弧形，所述横向通槽内设有压板，该压板的底部设有与下夹槽一一对应的若干个上夹槽，各上夹槽呈圆弧形，且各上夹槽位于对应下夹槽的正上方，所述顶壁上设有若干个弹簧安装孔，各弹簧安装孔中安装有压缩弹簧，各压缩弹簧竖直设置，且各压缩弹簧的下端贯穿弹簧安装孔的开口并与压板固定连接，所述侧部支撑石英棒的端部插入横向通槽中，且侧部支撑石英棒的端部夹紧于对应的上夹槽和下夹槽之间。优选的，所述若干个下夹槽沿横向等间距布置。优选的，所述上夹槽中设有上橡胶垫，所述下夹槽中设有下橡胶垫，所述上橡胶垫和下橡胶垫均呈圆弧形。优选的，所述底部支撑石英棒和侧部支撑石英棒上均设有硅片卡槽。本技术的优点和有益效果在于：提供一种扩散石英舟，其结构合理，可承载不同尺寸的硅片，从而避免因硅片尺寸改变而花费额外费用采购石英舟。使用时，将硅片的边沿插入三个石英棒的硅片卡槽中，以对硅片进行定位；并且，可通过调节两个侧部支撑石英棒之间的间距，实现对不同尺寸的硅片进行承载，调节时，克服压缩弹簧的弹力向上提起侧部支撑石英棒，使侧部支撑石英棒脱离下夹槽，之后沿横向移动侧部支撑石英棒，使侧部支撑石英棒落入合适位置的下夹槽中，完成后压板在压缩弹簧的弹力作用下向下移动，并将侧部支撑石英棒夹紧固定在上橡胶垫和下橡胶垫之间。附图说明图1是本技术的示意图。图2是本技术中支撑板的示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。本技术具体实施的技术方案是：如图1和图2所示，一种扩散石英舟，包括两个支撑板1，以及连接在两个支撑板1之间的三个石英棒，所述三个石英棒在两个支撑板1之间形成用于容纳硅片的支架区；所述三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒2和两个侧部支撑石英棒3，所述两个侧部支撑石英棒3分别位于底部支撑石英棒2的上方两侧，所述底部支撑石英棒2固定连接在两个支撑板1之间，所述支撑板1上设有供侧部支撑石英棒3插入的横向通槽4，所述横向通槽4包括顶壁5和底壁6，所述底壁6上设有若干个下夹槽7，各下夹槽7呈圆弧形，所述横向通槽4内设有压板8，该压板8的底部设有与下夹槽7一一对应的若干个上夹槽9，各上夹槽9呈圆弧形，且各上夹槽9位于对应下夹槽7的正上方，所述顶壁5上设有若干个弹簧安装孔，各弹簧安装孔中安装有压缩弹簧10，各压缩弹簧10竖直设置，且各压缩弹簧10的下端贯穿弹簧安装孔的开口并与压板8固定连接，所述侧部支撑石英棒3的端部插入横向通槽4中，且侧部支撑石英棒3的端部夹紧于对应的上夹槽9和下夹槽7之间。上述若干个下夹槽7沿横向等间距布置。上述上夹槽9中设有上橡胶垫11，上述下夹槽7中设有下橡胶垫12，上橡胶垫11和下橡胶垫12均呈圆弧形。上述底部支撑石英棒2和侧部支撑石英棒3上均设有硅片卡槽13。本技术的优点和有益效果在于：提供一种扩散石英舟，其结构合理，可承载不同尺寸的硅片，从而避免因硅片尺寸改变而花费额外费用采购石英舟。使用时，将硅片的边沿插入三个石英棒的硅片卡槽13中，以对硅片进行定位；并且，可通过调节两个侧部支撑石英棒3之间的间距，实现对不同尺寸的硅片进行承载，调节时，克服压缩弹簧10的弹力向上提起侧部支撑石英棒3，使侧部支撑石英棒3脱离下夹槽7，之后沿横向移动侧部支撑石英棒3，使侧部支撑石英棒3落入合适位置的下夹槽7中，完成后压板8在压缩弹簧10的弹力作用下向下移动，并将侧部支撑石英棒3夹紧固定在上橡胶垫11和下橡胶垫12之间。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散石英舟，包括两个支撑板，以及连接在两个支撑板之间的三个石英棒，所述三个石英棒在两个支撑板之间形成用于容纳硅片的支架区，其特征在于，所述三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒，所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧，所述底部支撑石英棒固定连接在两个支撑板之间，所述支撑板上设有供侧部支撑石英棒插入的横向通槽，所述横向通槽包括顶壁和底壁，所述底壁上设有若干个下夹槽，各下夹槽呈圆弧形，所述横向通槽内设有压板，该压板的底部设有与下夹槽一一对应的若干个上夹槽，各上夹槽呈圆弧形，且各上夹槽位于对应下夹槽的正上方，所述顶壁上设有若干个弹簧安装孔，各弹簧安装孔中安装有压缩弹簧，各压缩弹簧竖直设置，且各压缩弹簧的下端贯穿弹簧安装孔的开口并与压板固定连接，所述侧部支撑石英棒的端部插入横向通槽中，且侧部支撑石英棒的端部夹紧于对应的上夹槽和下夹槽之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散石英舟，包括两个支撑板，以及连接在两个支撑板之间的三个石英棒，所述三个石英棒在两个支撑板之间形成用于容纳硅片的支架区，其特征在于，所述三个石英棒分别为一个底部支撑石英棒和两个侧部支撑石英棒，所述两个侧部支撑石英棒分别位于底部支撑石英棒的上方两侧，所述底部支撑石英棒固定连接在两个支撑板之间，所述支撑板上设有供侧部支撑石英棒插入的横向通槽，所述横向通槽包括顶壁和底壁，所述底壁上设有若干个下夹槽，各下夹槽呈圆弧形，所述横向通槽内设有压板，该压板的底部设有与下夹槽一一对应的若干个上夹槽，各上夹槽呈圆弧形，且各上夹槽位于对应下夹槽的正上方，所述顶壁上设有若干个弹簧安装孔，各弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈丽萍，董梦姣，金芸，
申请(专利权)人：苏州博莱特石英有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32