一种探针卡用高温检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种探针卡用高温检测装置，涉及探针卡技术领域。本实用新型专利技术包括第一保温箱、第二保温箱和工作台，工作台顶部的一侧固定有控制器，工作台的顶部固定有第二保温箱，第二保温箱的顶部转动连接有第一保温箱。本实用新型专利技术通过光杆、第一刚性弹簧和压块，能够更好的进行固定探针卡，防止在测试时出现探针卡出现晃动，通过电热丝、控制器、固定块、U形架、横杆和第二刚性弹簧，使得电热丝能够对第一保温箱与第二保温箱的内部进行加温，使得第一保温箱与第二保温箱能够更好的固定，使得第一保温箱和第二保温箱形成的空间更加封闭，减少温度的溢出影响测量数值。

【技术实现步骤摘要】
一种探针卡用高温检测装置
本技术属于探针卡
，特别是涉及一种探针卡用高温检测装置。
技术介绍
随着半导体测试的不断发展，基于成本和质量控制及工艺优化的考虑，在晶圆探针测试阶段需引入高温测试，较之常温下的晶圆测试，引入温度变数的高温晶圆探针测试，更易出现因接触不良导致的良率不佳或探针痕迹过深导致的产品稳定性差，探针卡的针细如毛发，且针与晶圆接触的针压为微米级，一般高温探针卡只有对金属补强板加热，并采用吸收热能的方式，其本身没有加热装置，例如为了保证晶圆的良率和针痕，高温测试中需要使用探针机给予探针卡预热，预热时间大概30分钟，以达到理想状态之后并进行探针卡针位和高度的校准，探针卡一旦离开探针机，则探针卡的温度会持续下降，进而使得测量值会因为温度的变化得到改变，在现有的探针卡用高温检测装置中，不能对探针卡进行很好的固定，导致测试时会出现晃动，造成检测时探针卡与测试电子元件接触不稳，进而影响测试数值。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种探针卡用高温检测装置，以解决了现有的问题：在现有的探针卡用高温检测装置中，不能对探针卡进行很好的固定，导致测试时会出现晃动，造成检测时探针卡与测试电子元件接触不稳，进而影响测试数值。为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：本技术为一种探针卡用高温检测装置，包括第一保温箱、第二保温箱和工作台，所述工作台顶部的一侧固定有控制器，所述工作台的顶部固定有第二保温箱，所述第二保温箱的顶部转动连接有第一保温箱；所述第一保温箱和第二保温箱的内部均固定有隔板，所述隔板与第二保温箱的内壁、隔板与第一保温箱的内壁之间设置有电热丝；所述隔板的四个端角均滑动连接有光杆，所述光杆的外侧设置有第一刚性弹簧，所述第一刚性弹簧的底部焊接有第一固定片，所述第一刚性弹簧的顶部与隔板通过焊接连接，所述光杆的底部转动连接有安装座；所述安装座的底部固定有压块，所述压块的底部设置有防滑纹；所述第一保温箱的一端固定有U形架，所述第二保温箱的一端固定有固定块，所述U形架的内部滑动连接有横杆；所述横杆的外侧设置有第二刚性弹簧，所述第二刚性弹簧与U形架通过焊接连接，所述第二刚性弹簧的一端焊接有第二固定片，所述第二固定片与横杆通过焊接连接，所述横杆的一端固定有拉块。进一步地，所述第二保温箱与第一保温箱之间通过合页进行转动连接。进一步地，所述电热丝与控制器电性连接，所述控制器的型号为SC-200。进一步地，所述光杆与安装座通过销钉进行转动连接。进一步地，所述固定块的内部且与横杆相对应的位置处还开设有通孔，所述U形架的内部开设有通槽，所述U形架与横杆之间通过通槽进行滑动连接。进一步地，所述第一保温箱的两侧固定有把手，所述第一保温箱和第二保温箱的两侧均开设有入线口。本技术具有以下有益效果：1、本技术通过光杆、第一刚性弹簧和压块，能够更好的进行固定探针卡，防止在测试时出现探针卡出现晃动。2、本技术通过电热丝、控制器、固定块、U形架、横杆和第二刚性弹簧，使得电热丝能够对第一保温箱与第二保温箱的内部进行加温，使得第一保温箱与第二保温箱能够更好的固定，使得第一保温箱和第二保温箱形成的空间更加封闭，减少温度的溢出影响测量数值。当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术整体的结构示意图；图2为本技术固定块的结构示意图；图3为本技术第一保温箱内部的结构剖视图；图4为本技术隔板的结构示意图；图5为本技术U形架内部的结构剖视图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、第一保温箱；2、第二保温箱；3、工作台；4、控制器；5、U形架；6、固定块；7、压块；8、电热丝；9、隔板；10、光杆；11、第一刚性弹簧；12、第一固定片；13、安装座；14、横杆；15、第二刚性弹簧；16、第二固定片；17、拉块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5所示，本技术为一种探针卡用高温检测装置，包括第一保温箱1、第二保温箱2和工作台3，工作台3顶部的一侧固定有控制器4，工作台3的顶部固定有第二保温箱2，第二保温箱2的顶部转动连接有第一保温箱1；具体的，第二保温箱2与第一保温箱1之间通过合页进行转动连接；第一保温箱1和第二保温箱2的内部均固定有隔板9，隔板9与第二保温箱2的内壁、隔板9与第一保温箱1的内壁之间设置有电热丝8；具体的，电热丝8与控制器4电性连接，控制器4的型号为SC-200；隔板9的四个端角均滑动连接有光杆10，光杆10的外侧设置有第一刚性弹簧11，第一刚性弹簧11的底部焊接有第一固定片12，第一刚性弹簧11的顶部与隔板9通过焊接连接，光杆10的底部转动连接有安装座13；具体的，光杆10与安装座13通过销钉进行转动连接；安装座13的底部固定有压块7，压块7的底部设置有防滑纹；第一保温箱1的一端固定有U形架5，第二保温箱2的一端固定有固定块6，U形架5的内部滑动连接有横杆14；具体的，固定块6的内部且与横杆14相对应的位置处还开设有通孔，U形架5的内部开设有通槽，U形架5与横杆14之间通过通槽进行滑动连接；横杆14的外侧设置有第二刚性弹簧15，第二刚性弹簧15与U形架5通过焊接连接，第二刚性弹簧15的一端焊接有第二固定片16，第二固定片16与横杆14通过焊接连接，横杆14的一端固定有拉块17；具体的，第一保温箱1的两侧固定有把手，第一保温箱1和第二保温箱2的两侧均开设有入线口。本实施例的一个具体应用为：将本装置与外部电源进行电性连接，将探针卡放入第二保温箱2内部压块7的顶部，然后握住把手将第二保温箱2与第一保温箱1进行闭合，此时压块7会接触探针卡的表面，然后光杆10会向隔板9的内部进行移动，因为第一刚性弹簧11的弹力特性，进而使得探针卡被固定在两个压块7之间，能够更好的进行固定探针卡，然后电热丝8的运作使得第一保温箱1和第二保温箱2内部的温度得到了上升，且控制器4能够进行控制电热丝8产生热量的温度大小，进而使得探针卡能够处于均衡的温度中，第二保温箱2与第一保温箱1闭合时，U形架5随着第一保温箱1向下进行移动，进而使得横杆14接触固定块6,通过横杆1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探针卡用高温检测装置，包括第一保温箱(1)、第二保温箱(2)和工作台(3)，其特征在于：所述工作台(3)顶部的一侧固定有控制器(4)，所述工作台(3)的顶部固定有第二保温箱(2)，所述第二保温箱(2)的顶部转动连接有第一保温箱(1)；/n所述第一保温箱(1)和第二保温箱(2)的内部均固定有隔板(9)，所述隔板(9)与第二保温箱(2)的内壁、隔板(9)与第一保温箱(1)的内壁之间设置有电热丝(8)；/n所述隔板(9)的四个端角均滑动连接有光杆(10)，所述光杆(10)的外侧设置有第一刚性弹簧(11)，所述第一刚性弹簧(11)的底部焊接有第一固定片(12)，所述第一刚性弹簧(11)的顶部与隔板(9)通过焊接连接，所述光杆(10)的底部转动连接有安装座(13)；/n所述安装座(13)的底部固定有压块(7)，所述压块(7)的底部设置有防滑纹；/n所述第一保温箱(1)的一端固定有U形架(5)，所述第二保温箱(2)的一端固定有固定块(6)，所述U形架(5)的内部滑动连接有横杆(14)；/n所述横杆(14)的外侧设置有第二刚性弹簧(15)，所述第二刚性弹簧(15)与U形架(5)通过焊接连接，所述第二刚性弹簧(15)的一端焊接有第二固定片(16)，所述第二固定片(16)与横杆(14)通过焊接连接，所述横杆(14)的一端固定有拉块(17)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种探针卡用高温检测装置，包括第一保温箱(1)、第二保温箱(2)和工作台(3)，其特征在于：所述工作台(3)顶部的一侧固定有控制器(4)，所述工作台(3)的顶部固定有第二保温箱(2)，所述第二保温箱(2)的顶部转动连接有第一保温箱(1)；
所述第一保温箱(1)和第二保温箱(2)的内部均固定有隔板(9)，所述隔板(9)与第二保温箱(2)的内壁、隔板(9)与第一保温箱(1)的内壁之间设置有电热丝(8)；
所述隔板(9)的四个端角均滑动连接有光杆(10)，所述光杆(10)的外侧设置有第一刚性弹簧(11)，所述第一刚性弹簧(11)的底部焊接有第一固定片(12)，所述第一刚性弹簧(11)的顶部与隔板(9)通过焊接连接，所述光杆(10)的底部转动连接有安装座(13)；
所述安装座(13)的底部固定有压块(7)，所述压块(7)的底部设置有防滑纹；
所述第一保温箱(1)的一端固定有U形架(5)，所述第二保温箱(2)的一端固定有固定块(6)，所述U形架(5)的内部滑动连接有横杆(14)；
所述横杆(14)的外侧设置有第二刚性弹簧(15)，所述第二刚性弹簧(15)与U形架(5)通过焊接连接，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，王锡湖，
申请(专利权)人：无锡普罗卡科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32