一种石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石墨舟，涉及晶硅太阳能电池制造领域。该石墨舟包括石墨舟片和卡点，石墨舟片上固定贴设有硅片，硅片的底边与石墨舟片的底边成夹角设置，卡点卡接于石墨舟上且与硅片抵接，卡点上设有转动槽，工具能够插接于转动槽内旋转以带动卡点转动，卡点设有多个，多个卡点沿硅片的周向设置，以将硅片抵接固定。本实用新型专利技术通过在卡点上设置转动槽，当卡点出现磨损时，工具插接于转动槽内旋转以带动卡点转动，以将卡点与硅片抵接的磨损点转开使用卡点未磨损面对硅片继续抵接使用，延长了卡点的使用寿命；将硅片的底边与石墨舟片的底边成夹角设置，使硅片能够依靠自身重力紧贴石墨舟片，减小硅片与石墨舟片之间的间隙，提高镀膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种石墨舟
本技术涉及晶硅太阳能电池制造领域，尤其涉及一种石墨舟。
技术介绍
石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体，在进行镀膜时，将插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备腔体内且利用PECVD工艺进行放电镀膜。镀膜结束后，取出石墨舟，将硅片从石墨舟上卸取下来。硅片通过卡点固定在石墨舟壁上，硅片的一面与石墨舟壁接触，在硅片的另外一面上沉积膜层。为了保证良好的导电性和镀膜性，硅片要贴紧石墨舟壁，而实际在沉积过程中，由于硅片与石墨舟壁之间不可避免的存在间隙，尤其是底部卡点处与硅片顶角处的缝隙较大，工艺气体会渗透到硅片的背面，进行PECVD沉积，即产生绕镀问题。同时卡点长时间使用后易出现磨损导致硅片卡接不稳固，此时需更换新卡点，既浪费材料又增加更换工序。基于此，亟需一种石墨舟，用以解决如上提到的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种石墨舟，能够减小硅片与石墨舟片之间的间隙，提高镀膜质量，同时能够节约材料。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种石墨舟，包括石墨舟片和卡点，所述石墨舟片上固定贴设有硅片，所述硅片的底边与所述石墨舟片的底边成夹角设置，所述卡点卡接于所述石墨舟上且与所述硅片抵接，所述卡点上设有转动槽，工具能够插接于所述转动槽内旋转以带动所述卡点转动，所述卡点设有多个，多个所述卡点沿所述硅片的周向设置，以将所述硅片抵接固定。可选地，所述卡点包括旋转部和抵接部，所述抵接部固定套接于所述旋转部的外周，所述抵接部与所述硅片抵接，所述转动槽设置于所述旋转部上。可选地，所述石墨舟片上设有卡接孔，所述抵接部卡接于所述卡接孔内，所述旋转部的两端伸出所述抵接部设置，且所述旋转部的两端均设有所述转动槽。可选地，所述夹角α为3°～8°。可选地，所述卡点设有三个，其中两个所述卡点分别相对抵接于所述硅片的两侧边，另一个所述卡点抵接于所述硅片的底部。可选地，位于所述硅片的侧边较低的一个所述卡点距离所述硅片同侧的底角的距离为30mm～40mm，位于所述硅片的侧边较高的一个所述卡点距离所述硅片同侧的顶角的距离为30mm～50mm，位于所述硅片底部的卡点距离所述底角的距离为35mm～60mm。可选地，所述石墨舟还包括陶瓷圈和陶瓷杆，所述石墨舟片设有多个，相邻两个所述石墨舟片通过所述陶瓷杆连接，所述陶瓷圈套接于所述陶瓷杆上且抵接于相邻两个所述石墨舟片之间。可选地，所述陶瓷圈上设有清洗孔，所述清洗孔设有至少两个，以便于清洗液的流入和流出。可选地，两个所述清洗孔分别设于所述陶瓷圈的两端。可选地，所述陶瓷圈包括上陶瓷圈和下陶瓷圈，所述上陶瓷圈设置于所述硅片的顶部，所述硅片顶部的最高点低于所述上陶瓷圈的底部，所述下陶瓷圈设置于所述硅片的底部，所述硅片底部的最低点高于所述下陶瓷圈的顶部。本技术的有益效果：1、通过在卡点上设置转动槽，当卡点出现磨损时，工具插接于转动槽内旋转以带动卡点转动，以将卡点与硅片抵接的磨损点转开使用卡点未磨损面对硅片继续抵接使用，延长了卡点的使用寿命，减少更换工序，节省材料。2、将硅片的底边与石墨舟片的底边成夹角设置，使硅片能够依靠自身重力紧贴石墨舟片，减小硅片与石墨舟片之间的间隙，提高镀膜质量。附图说明图1是本技术实施例提供的一种石墨舟的整体结构示意图；图2是本技术实施例提供的一种石墨舟中的卡点的正视结构示意图；图3是本技术实施例提供的一种石墨舟中的卡点的侧视结构示意图；图4是本技术实施例提供的一种石墨舟中的上陶瓷圈的正视结构示意图；图5是本技术实施例提供的一种石墨舟中的上陶瓷圈的侧视结构示意图。图中：10、硅片；1、石墨舟片；2、卡点；21、旋转部；211、转动槽；22、抵接部；3、陶瓷圈；31、上陶瓷圈；311、清洗孔；32、下陶瓷圈。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。本技术实施例公开了一种石墨舟，如图1-图5所示，该石墨舟包括石墨舟片1和卡点2，石墨舟片1上固定贴设有硅片10，硅片10的底边与石墨舟片1的底边成夹角设置，卡点2卡接于石墨舟上且与硅片10抵接，卡点2上设有转动槽211，工具能够插接于转动槽211内旋转以带动卡点2转动，卡点2设有多个，多个卡点2沿硅片10的周向设置，以将硅片10抵接固定。本技术通过在卡点2上设置转动槽211，当卡点2出现磨损时，工具插接于转动槽211内旋转以带动卡点2转动，以将卡点2与硅片10抵接的磨损点转开使用卡点2未磨损面对硅片10继续抵接使用，延长了卡点2的使用寿命，减少更换工序，节省材料。进一步将硅片10的底边与石墨舟片1的底边成夹角设置，使硅片10能够依靠自身重力紧贴石墨舟片1，减小硅片10与石墨舟片1之间的间隙，提高镀膜质量。可选地，石墨舟片1作为硅片10镀膜的载体，石墨舟片1上设有卡接孔以便于卡点2卡接。石墨舟片1上还设有安装孔以便于陶瓷杆插接。硅片10的底边与石墨舟片1的底边的夹角α为3°～8°，例如可以是3°、3.5°或8°等等。进一步地，如图2和图3所示，卡点2包括旋转部21和抵接部22，抵接部22固定套接于旋转部21的外周，抵接部22与硅片10抵接，转动槽211设置于旋转部21上以避免在抵接部22上开槽，保证抵接部22的性能，通过工具插接转动槽211旋转即可带动旋转部21上的抵接部22转动，以将抵接部22与硅片10抵接的磨损点转开使用抵接部22未磨损面对硅片10继续抵接使用，延长了卡点2的使用寿命，减少更本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片(1)和卡点(2)，所述石墨舟片(1)上固定贴设有硅片(10)，所述硅片(10)的底边与所述石墨舟片(1)的底边成夹角设置，所述卡点(2)卡接于所述石墨舟上且与所述硅片(10)抵接，所述卡点(2)上设有转动槽(211)，工具能够插接于所述转动槽(211)内旋转以带动所述卡点(2)转动，所述卡点(2)设有多个，多个所述卡点(2)沿所述硅片(10)的周向设置，以将所述硅片(10)抵接固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟，其特征在于，包括石墨舟片(1)和卡点(2)，所述石墨舟片(1)上固定贴设有硅片(10)，所述硅片(10)的底边与所述石墨舟片(1)的底边成夹角设置，所述卡点(2)卡接于所述石墨舟上且与所述硅片(10)抵接，所述卡点(2)上设有转动槽(211)，工具能够插接于所述转动槽(211)内旋转以带动所述卡点(2)转动，所述卡点(2)设有多个，多个所述卡点(2)沿所述硅片(10)的周向设置，以将所述硅片(10)抵接固定。


2.根据权利要求1所述的石墨舟，其特征在于，所述卡点(2)包括旋转部(21)和抵接部(22)，所述抵接部(22)固定套接于所述旋转部(21)的外周，所述抵接部(22)与所述硅片(10)抵接，所述转动槽(211)设置于所述旋转部(21)上。


3.根据权利要求2所述的石墨舟，其特征在于，所述石墨舟片(1)上设有卡接孔，所述抵接部(22)卡接于所述卡接孔内，所述旋转部(21)的两端伸出所述抵接部(22)设置，且所述旋转部(21)的两端均设有所述转动槽(211)。


4.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟，其特征在于，所述夹角α为3°～8°。


5.根据权利要求1-3任一项所述的石墨舟，其特征在于，所述卡点(2)设有三个，其中两个所述卡点(2)分别相对抵接于所述硅片(10)的两侧边，另一个所述卡点(2)抵接于所述硅片(10)的底部。

【专利技术属性】
技术研发人员：任永伟，何悦，贾松燕，任勇，
申请(专利权)人：横店集团东磁股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33