一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头制造技术

本实用新型专利技术涉及化学机械抛光技术领域，且公开了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴，抛光机输出主轴的下端连接有化学机械抛光承载头；化学机械抛光承载头的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔，化学机械抛光承载头上安装有便捷化学机械抛光保持环；便捷化学机械抛光保持环的两侧均连接有便捷拆装连接把手；便捷拆装连接把手的外表面设置有定位螺栓。该化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，通过化学机械抛光承载头和多个定位螺栓连接孔配合使用，使保持环与晶圆的距离能够达到最佳位置，防止晶圆出现过抛现象，能够有效的避免金属离子污染和保持环与晶圆发生机械碰撞，提升了设备的实用效果和安全性能。

【技术实现步骤摘要】
一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头
本技术涉及化学机械抛光
，具体为一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头。
技术介绍
化学机械抛光是一种全局平整化的超精密表面加工技术。这种抛光方法通常将基板吸合于承载头的下部,基板具有沉积层的底面抵接于旋转的拋光垫,承载头在驱动部件的带动下与抛光垫同向旋转并给予基板向下的载荷；同时，抛光液供给于抛光垫与基板之间,在化学和机械的共同作用下实现基板的材料去除。化学机械抛光过程中容易发生基板表面被金属污染物划伤和金属污染物超标的问题,这都是在芯片制造领域难以接受的。一般而言,一旦发现基板表面被金属污染物划伤或金属污染物超标，则可能需要更换全部相关耗材，从而大幅增加生产成本、降低生产效率。中国已授权技术公开(公告)号：CN211163459U中公开的一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，该化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头通过在保持环金属部的顶面、内侧面和外侧面设置有耐涂层，其可有效保护保持环的金属部，防止金属部与其他部件发生磕碰而产生金属离子污染，避免金属离子污染对化学机械抛光生产的影响；但是在实际使用过程中，通过上述对比专利的结构设计，由于保持环和承载头之间无法进行简单的可拆卸连接，导致其具有适用性不高的缺点，无法根据所需要化学机械抛光加工的加工件实际情况选择最为合适连接距离，而且当正常生产过程中发生意外情况，导致保持环无法继续进行正常的加工保护工作时，并没有备用保持环可以进行快速的更换工作，大大降低的设备的生产效率，故而提出以上一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头以解决上述问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，解决了上述
技术介绍
中提出的现有的无法调节承载头和保持环之间距离和无法进行快速更换保持环操作的问题。(二)技术方案为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴，所述抛光机输出主轴的下端连接有化学机械抛光承载头；所述化学机械抛光承载头的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔，所述化学机械抛光承载头上安装有便捷化学机械抛光保持环；所述便捷化学机械抛光保持环的两侧均连接有便捷拆装连接把手；两个所述便捷拆装连接把手一侧外表面的中部位置均设置有定位螺栓。进一步的，所述化学机械抛光承载头的上端固定连接有可控制化学机械抛光承载头转动速度的抛光机输出主轴，所述抛光机输出主轴与化学机械抛光承载头相适配。进一步的，所述便捷化学机械抛光保持环共有两个，两个所述便捷化学机械抛光保持环通过便捷拆装连接把手相连接，两个所述便捷化学机械抛光保持环对称分布在两个便捷拆装连接把手的两端。进一步的，两个所述便捷化学机械抛光保持环均包括有防磨损保护环套和保持环钣金，所述防磨损保护环套均与化学机械抛光承载头相适配，所述防磨损保护环套均连接有相适配的保持环钣金，所述便捷化学机械抛光保持环通过防磨损保护环套与化学机械抛光承载头活动连接。进一步的，所述防磨损保护环套均为环形结构，所述防磨损保护环套均由聚酰亚胺材料构成，所述防磨损保护环套均通过双层复合的形式注塑成型。进一步的，两个所述便捷拆装连接把手均包括有连接把手钣金和螺纹孔，所述螺纹孔与定位螺栓相适配，每个所述便捷拆装连接把手均通过螺纹孔活动连接有定位螺栓，所述定位螺栓通过螺纹孔与便捷拆装连接把手可拆卸连接。进一步的，多个所述定位螺栓连接孔的数量不少于十个，每五个所述定位螺栓连接孔呈线性均匀开设在化学机械抛光承载头的外表面，所述定位螺栓连接孔与定位螺栓相适配，所述便捷化学机械抛光保持环通过定位螺栓与化学机械抛光承载头可拆卸连接。(三)有益效果本技术提供了一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，具备以下有益效果：(1)、该化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，通过设置便捷化学机械抛光保持环与便捷拆装连接把手配合使用，两个便捷化学机械抛光保持环对称分布在两个便捷拆装连接把手两端，其中一个便捷化学机械抛光保持环可以作为应急备用保持环，当发生意外情况导致设备由于保持环损坏无法进行化学机械抛光作业时，能够直接通过连接把手钣金和定位螺栓进行简单快捷的便捷化学机械抛光保持环快速的更换工作，使加工件的抛光作业能够持续有效的进行，通过化学机械抛光承载头和多个定位螺栓连接孔配合使用，能够使定位螺栓螺纹连接到相适配的定位螺栓连接孔内，使保持环与晶圆的距离能够达到最佳位置，防止晶圆出现过抛现象，防磨损保护环套具有无油高速自润滑和超高耐磨效果，能够有效的避免金属离子污染和保持环与晶圆发生机械碰撞，提升了设备的实用效果和安全性能。附图说明图1为本技术化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头的整体的结构示意图；图2为本技术化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头的便捷化学机械抛光保持环的结构示意图。图中：抛光机输出主轴1，化学机械抛光承载头2，便捷化学机械抛光保持环3，防磨损保护环套301，保持环钣金302，便捷拆装连接把手4，连接把手钣金401，螺纹孔402，定位螺栓5，定位螺栓连接孔6。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴1，抛光机输出主轴1的下端连接有化学机械抛光承载头2，化学机械抛光承载头2的上端固定连接有可控制化学机械抛光承载头2转动速度的抛光机输出主轴1，抛光机输出主轴1与化学机械抛光承载头2相适配；化学机械抛光承载头2的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔6，化学机械抛光承载头2上安装有便捷化学机械抛光保持环3，两个便捷化学机械抛光保持环3均包括有防磨损保护环套301和保持环钣金302，防磨损保护环套301均与化学机械抛光承载头2相适配，防磨损保护环套301均为环形结构，防磨损保护环套301均由聚酰亚胺材料构成，防磨损保护环套301均通过双层复合的形式注塑成型，防磨损保护环套301均连接有相适配的保持环钣金302，便捷化学机械抛光保持环3通过防磨损保护环套301与化学机械抛光承载头2活动连接；便捷化学机械抛光保持环3的两侧均连接有便捷拆装连接把手4，便捷化学机械抛光保持环3共有两个，两个便捷化学机械抛光保持环3通过便捷拆装连接把手4相连接，两个便捷化学机械抛光保持环3对称分布在两个便捷拆装连接把手4的两端；两个便捷拆装连接把手4一侧外表面的中部位置均设置有定位螺栓5，两个便捷拆装连接把手4均包括有连接把手钣金401和螺纹孔402，螺纹孔402与定位螺栓5相适配，每个便捷拆装连接把手4均通过螺纹孔402活动连接有定位螺栓5，定位螺栓5通过螺纹孔402与便捷拆装连接把手4可拆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴(1)，其特征在于，所述抛光机输出主轴(1)的下端连接有化学机械抛光承载头(2)；所述化学机械抛光承载头(2)的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔(6)，所述化学机械抛光承载头(2)上安装有便捷化学机械抛光保持环(3)；所述便捷化学机械抛光保持环(3)的两侧均连接有便捷拆装连接把手(4)；两个所述便捷拆装连接把手(4)一侧外表面的中部位置均设置有定位螺栓(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，包括抛光机输出主轴(1)，其特征在于，所述抛光机输出主轴(1)的下端连接有化学机械抛光承载头(2)；所述化学机械抛光承载头(2)的侧壁上对称开设有多个定位螺栓连接孔(6)，所述化学机械抛光承载头(2)上安装有便捷化学机械抛光保持环(3)；所述便捷化学机械抛光保持环(3)的两侧均连接有便捷拆装连接把手(4)；两个所述便捷拆装连接把手(4)一侧外表面的中部位置均设置有定位螺栓(5)。


2.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，其特征在于，所述化学机械抛光承载头(2)的上端固定连接有可控制化学机械抛光承载头(2)转动速度的抛光机输出主轴(1)，所述抛光机输出主轴(1)与化学机械抛光承载头(2)相适配。


3.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，其特征在于，所述便捷化学机械抛光保持环(3)共有两个，两个所述便捷化学机械抛光保持环(3)通过便捷拆装连接把手(4)相连接，两个所述便捷化学机械抛光保持环(3)对称分布在两个便捷拆装连接把手(4)的两端。


4.根据权利要求1所述的一种化学机械抛光保持环和化学机械抛光承载头，其特征在于，两个所述便捷化学机械抛光保持环(3)均包括有防磨损保护环套(301)和保持环钣金(302)，所述防磨损保护环套...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘建业，
申请(专利权)人：江门市蓬江区泰德利机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44