感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件技术

一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)聚合性单体、(C)光聚合引发剂、和(D)紫外线吸收剂。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件
本专利技术涉及感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件。
技术介绍
以往，半导体元件的表面保护膜和层间绝缘膜使用兼具优异的耐热性和电特性、机械特性等的聚酰亚胺、聚苯并唑。近年来，使用对于这些树脂本身赋予了感光特性的感光性树脂组合物，如果使用该感光性树脂组合物，则能够简化图案固化物的制造工序，能够缩短复杂的制造工序(例如，参照专利文献1)。另外，近年来，支撑计算机的高性能化的晶体管的微细化已接近比例法则的极限，为了进一步高性能化、高速化，将半导体元件进行三维层叠的层叠器件结构受到关注。在层叠器件结构中，多芯片扇出型晶圆级封装(Multi-dieFanoutWaferLevelPackaging)为将多个芯片一并密封在一个封装中而制造的封装，与以往提出的扇出型晶圆级封装(将一个芯片密封在一个封装中而制造)相比，能够期待低成本化、高性能化，因此备受关注。在多芯片扇出型晶圆级封装的制作中，从保护高性能的芯片、保护耐热性低的密封材，并提高成品率的观点考虑，强烈要求低温固化性(例如，参照专利文献2～4)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-265520号公报专利文献2：国际公开第2008/111470号专利文献3：日本特开2016-199662号公报专利文献4：国际公开第2015/052885号<br>
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供即使为小于或等于200℃的低温固化，也能够形成分辨率和纵横比优异的固化物的感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件。对电子设备具有小型化和高集成化的要求。因此，本专利技术人等发现：将图案化后的树脂膜加热固化所形成的图案固化膜的高分辨率化成为问题。本专利技术人等鉴于上述问题而反复进行了研究，结果发现：通过在感光性树脂组合物中使用特定成分的组合，能够形成分辨率优异的图案固化膜的固化物，从而完成了本专利技术。根据本专利技术，可提供以下的感光性树脂组合物等。1.一种感光性树脂组合物，其含有：(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、(B)聚合性单体、(C)光聚合引发剂、和(D)紫外线吸收剂。2.根据1所述的感光性树脂组合物，上述(A)成分为具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体。[化1](式(1)中，X1为具有1个以上芳香族基团的4价基团，-COOR1基与-CONH-基彼此处于邻位，-COOR2基与-CO-基彼此处于邻位。Y1为具有1个以上芳香族基团的2价基团，R1和R2各自独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团、或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R1和R2的至少一方为上述式(2)所表示的基团。)[化2](式(2)中，R3～R5各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。)3.根据1或2所述的感光性树脂组合物，上述(B)成分包含：具有包含聚合性不饱和双键的基团的聚合性单体。4.根据3所述的感光性树脂组合物，上述包含聚合性不饱和双键的基团大于或等于2个。5.根据1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，上述聚合性单体具有脂肪族环状骨架。6.根据1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，上述(B)成分包含下述式(3)所表示的聚合性单体。[化3](式(3)中，R6和R7各自独立地为碳原子数1～4的脂肪族烃基或下述式(4)所表示的基团。n1为0或1，n2为0～2的整数，n1+n2大于或等于1。n1个R6和n2个R7中的至少一者为下述式(4)所表示的基团。)[化4](式(4)中，R9～R11各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，l为0～10的整数。)7.根据6所述的感光性树脂组合物，n1+n2为2或3。8.根据1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，上述(B)成分包含下述式(5)所表示的聚合性单体。[化5]9.根据1～8所述的感光性树脂组合物，上述(D)成分在10mg/L的浓度下在365nm时的吸光度大于或等于0.1。10.根据1～9所述的感光性树脂组合物，上述(D)成分为选自由苯并三唑系化合物、二苯甲酮系化合物、偶氮苯系化合物和多酚系化合物组成的组中的一种以上。11.根据1～10所述的感光性树脂组合物，上述(D)成分为选自由2-(2H-苯并三唑-2-基)-4-(1,1,3,3-四甲基丁基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-4,6-双(1-甲基-1-苯基乙基)苯酚、2-(2H-苯并三唑-2-基)-对甲酚、2,2′,4,4′-四羟基二苯甲酮、2,2′-二羟基-4,4′-二甲氧基二苯甲酮、4-[乙基(2-羟基乙基)氨基]-4′-硝基偶氮苯、(1E,6E)-1,7-双(4-羟基-3-甲氧基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮、和1,7-双(4-羟基苯基)-1,6-庚二烯-3,5-二酮组成的组中的一种以上。12.根据1～11中任一项所述的感光性树脂组合物，其进一步包含(I)热聚合引发剂。13.一种图案固化物的制造方法，其包含下述工序：将1～12中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板上，进行干燥而形成感光性树脂膜的工序；将上述感光性树脂膜进行图案曝光，获得树脂膜的工序；使用有机溶剂将上述图案曝光后的树脂膜进行显影，获得图案树脂膜的工序；以及对上述图案树脂膜进行加热处理的工序。14.根据13所述的图案固化物的制造方法，上述加热处理的温度小于或等于200℃。15.一种固化物，其是将1～12中任一项所述的感光性树脂组合物固化而成的。16.根据15所述的固化物，其为图案固化物。17.一种层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜，其是使用15或16所述的固化物制作的。18.一种电子部件，其包含17所述的层间绝缘膜、覆盖涂层或表面保护膜。根据本专利技术，能够提供一种即使为小于或等于200℃的低温固化，也能够形成分辨率和纵横比优异的固化物的感光性树脂组合物、图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件。附图说明图1是本专利技术的一个实施方式涉及的电子部件的制造工序图。具体实施方式以下，详细说明本专利技术的感光性树脂组合物、使用其的图案固化物的制造方法、固化物、层间绝缘膜、覆盖涂层、表面保护膜及电子部件的实施方式。另外，本专利技术不受以下实施方式的限定。在本说明书中，所谓“A或B”，只要包含A和B中的任一者即可，也可以两者均包含在内。另外，关于本说明书中“工序”一词，不仅包含独立的工序，即使在与其他工序不能明确区分的情况下，只要能够实现该工序的期望的作用，则也包含在本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种感光性树脂组合物，其含有：/n(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、/n(B)聚合性单体、/n(C)光聚合引发剂、和/n(D)紫外线吸收剂。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181003 JP 2018-1887031.一种感光性树脂组合物，其含有：
(A)具有聚合性不饱和键的聚酰亚胺前体、
(B)聚合性单体、
(C)光聚合引发剂、和
(D)紫外线吸收剂。


2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为具有下述式(1)所表示的结构单元的聚酰亚胺前体，
[化29]



式(1)中，X1为具有1个以上芳香族基团的4价基团，-COOR1基与-CONH-基彼此处于邻位，-COOR2基与-CO-基彼此处于邻位，Y1为具有1个以上芳香族基团的2价基团，R1和R2各自独立地为氢原子、下述式(2)所表示的基团、或碳原子数1～4的脂肪族烃基，R1和R2的至少一方为所述式(2)所表示的基团，
[化30]



式(2)中，R3～R5各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，m为1～10的整数。


3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含：具有包含聚合性不饱和双键的基团的聚合性单体。


4.根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，所述包含聚合性不饱和双键的基团大于或等于2个。


5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述聚合性单体具有脂肪族环状骨架。


6.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(3)所表示的聚合性单体，
[化31]



式(3)中，R6和R7各自独立地为碳原子数1～4的脂肪族烃基或下述式(4)所表示的基团，n1为0或1，n2为0～2的整数，n1+n2大于或等于1，n1个R6和n2个R7中的至少一者为下述式(4)所表示的基团，
[化32]



式(4)中，R9～R11各自独立地为氢原子或碳原子数1～3的脂肪族烃基，l为0～10的整数。


7.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物，n1+n2为2或3。


8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(B)成分包含下述式(5)所表...

【专利技术属性】
技术研发人员：四柳扩子，松川大作，山崎范幸，
申请(专利权)人：艾曲迪微系统股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP