抛光垫及其制造方法技术

提供能够设定任意的尺寸、并且容易进行向研磨装置的安装的抛光垫。抛光垫(1)具有多个垫片(3a～3f)、多个接合部、以及多个槽部(2)。垫片(3a～3f)分别具有将抛光垫(1)分割为多个区域而成的面状，通过将它们组合，由此作为整体而构成研磨层。接合部沿垫片(3a～3f)的接合边界(B)而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。多个槽部(2)设置为在研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与接合边界(B)(接合部)在位置上对应。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】抛光垫及其制造方法
本专利技术涉及用于对被研磨物进行研磨的抛光垫及其制造方法。
技术介绍
以往，为了对由锭裁出的半导体晶圆、液晶面板的玻璃基板这样的、在制造过程中生成的中间品进行研磨，而广泛使用被称为抛光垫的片状的研磨体。近来作为被研磨物的工件不断变得大型化，作为对抛光垫的一个要求而要求确保更大的研磨面。为了满足上述那样的要求，公知有通过将抛光垫分割为多个垫片，并将它们独立地安装于研磨装置，由此使抛光垫作为整体而大径化的方法。例如，在专利文献1中，如图12所示，公开了在研磨装置10所具备的研磨板12的表面隔着间隔14而独立地装配的多个研磨垫13。研磨垫13分别具有半圆或四分之一圆的形状，通过将它们配置于研磨板12上，由此作为整体而形成一个圆盘状。另外，在研磨板12上，在相邻的研磨垫13的间隙14中注入有树脂15，该间隙14的底面被树脂15覆盖。树脂15具有不会封闭在研磨垫13的端面形成的槽17这样程度的厚度，经由该槽17，研磨液被高效地排出。另外，在专利文献2中，如图13所示，公开了将圆形的垫部40a、和环状的垫部40b组合而成的研磨装置用研磨垫40。垫部40b配置于垫部40a的周围，能够与垫部40a分离/分割开来。根据上述构成，在贴附于CMP装置的压盘(platen)上的圆盘状的研磨垫40发生磨损的情况下，能够通过仅独立地更换磨损的垫部40a、40b，从而抑制整体的消耗量。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2004-322232号公报专利文献2：日本特开2012-157936号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题然而，对按照形状而分割的多个垫片进行一边定位，一边每次地独立地安装于研磨装置的操作很繁琐，用户的操作负担很大。虽然由提供作为抛光垫的原材料的原始面料的厂商提供更大尺寸的原始面料就能够解决以上问题，但在该情况下，需要对制造设备进行改造、更换，从而该应对并不容易。本专利技术鉴于上述情况而完成，其目的是提供能够设定任意的尺寸、并且容易进行向研磨装置的安装的抛光垫。用于解决问题的手段为了解决以上问题，第一专利技术提供具有多个垫片和多个接合部的抛光垫。各个垫片具有将抛光垫分割为多个区域而成的面状。通过对这些的垫片进行组合，由此作为整体而构成研磨层。各个接合部沿多个垫片的接合边界而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。在此，在第一专利技术中，优选为上述多个垫片具有整体被平坦化的研磨面。另外，可以进一步设置多个槽部。这些槽部设置为在研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与接合边界在位置上对应。在第一专利技术中，可以设置多个第一槽部作为上述多个槽部。第一槽部分别沿纵和横中的一方的方向延伸，并且在与一方的方向的正交的另一方的方向以第一间距排列。在该情况下，优选分别沿一方的方向延伸、并且在另一方的方向相邻的接合边界的间隔是第一间距的m倍(m为整数)。在第一专利技术中，替代上述第一槽部或者与其同时采用，可以设置多个第二槽部作为上述多个槽部。第二槽部分别沿另一方的方向延伸，并且在一方的方向以第二间距排列。在该情况下，优选分别沿另一方的方向延伸、并且在一方的方向相邻的接合边界的间隔是第二间距的n倍(n为整数)。第二专利技术提供具有以下的步骤的抛光垫的制造方法。在第一步骤中，通过在多个垫片的端面涂布粘接剂，在此基础上将相邻的垫片的端面彼此沿接合边界而一体不可分地接合，由此生成接合体。该接合体作为多个垫片的组合、并且作为整体而构成研磨层。在第二步骤中，通过对接合体的表面进行研磨，而形成平坦化的研磨面。在此，在第二专利技术中，可以进一步地设置将上述接合体成形为规定的形状的第三步骤。另外，可以进一步地设置在接合体的表面形成多个槽部的第四步骤。这些槽部设置为在接合体的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与接合边界在位置上对应。在第二专利技术中，上述第四步骤可以包括形成多个第一槽部的步骤。第一槽部分别沿纵和横中的一方的方向延伸，并且在与一方的方向正交的另一方的方向以第一间距排列。在该情况下，优选第一间距是分别沿一方的方向延伸、并且在另一方的方向相邻的接合边界的间隔的1/m倍(m为整数)。在第二专利技术中，替代第一槽部的形成或者与该形成同时采用，上述第四步骤可以包括形成多个第二槽部的步骤。第二槽部分别沿另一方的方向延伸，并且在一方的方向以第二间距排列。在该情况下，优选第二间距是分别沿另一方的方向延伸、并且在一方的方向相邻的接合边界的间隔的1/n倍(n为整数)。专利技术效果根据本专利技术，通过组合多个垫片，由此能够以较高的自由度形成包括大型化的任意的尺寸的抛光垫。另外，由于作为抛光垫而整体被一体化，因此与每个垫片独立的情况比较，向研磨装置的安装很容易，从而能够实现用户的操作负担的减轻。尤其是，在使接合边界和槽部在位置上对应了的情况下，接合部相对于研磨面而自然而然地凹陷，因此在进行被研磨物的研磨时，能够有效地避免接合部的影响。附图说明图1是抛光垫的外观立体图。图2是抛光垫的俯视图。图3是抛光垫的剖视图。图4是垫片的接合步骤的说明图。图5是考虑纵横的间距后的垫片的纵横的长度的说明图。图6是接合体的成形步骤的说明图。图7是研磨步骤的说明图。图8是粘合层以及剥离片的形成步骤的说明图。图9是槽部的形成步骤的说明图。图10是以一定的横间距P1形成的多个纵槽部的俯视图。图11是以一定的纵间距P2形成的多个横槽部的俯视图。图12是现有技术的说明图。图13是现有技术的说明图。具体实施方式图1是本实施方式所涉及的抛光垫的外观立体图。该抛光垫1安装于研磨装置所具备的研磨板，用于对被研磨物(工件)的表面进行研磨。作为被研磨物，典型地假定为由锭裁出的半导体晶圆、液晶面板的玻璃基板这样的、在制造过程中生成的中间品。本实施方式所涉及的抛光垫1一般具有比能够得到的出售品大的尺寸，作为一个例子，具有直径为2m左右的圆盘状。在抛光垫1的表面(研磨面)，设置有凹陷成条纹状的多个槽部2。在本实施方式中，作为槽部2而存在纵槽部2a和横槽部2b。多个纵槽部2a分别沿纵向呈直线状延伸，在与之正交的横向以一定的横间距P1排列。另外，多个横槽部2b分别沿横向呈直线状延伸，在与之正交的纵向以一定的纵间距P2排列。此外，作为槽部2，可以是纵槽部2a以及横槽部2b的仅任一方。图2是抛光垫1的俯视图。抛光垫1是将多个垫片3a～3f以木块拼花状进行组合而成的，经由它们的接合边界B而一体不可分地接合。各个垫片3a～3f具有将抛光垫1分割为多个区域而成的面状。作为一个例子，两个垫片3a、3d具有矩形形状，配置于它们的周围的四个垫片3b、3c、3e、3f具有弓形。而且，通过将它们组合，作为整体而构成厚度均匀、并且具备研磨面共面的研磨层的圆盘状的抛光垫1。另外，垫片3a～3f的材质、弹性、厚度、配合的研磨材、弹性等相同，具有同一研磨特性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抛光垫，其特征在于，/n在抛光垫中具有：/n多个垫片，它们分别具有将所述抛光垫分割为多个区域而成的面状，通过对这些垫片进行组合，由此作为整体而构成研磨层；以及/n多个接合部，它们沿所述多个垫片的接合边界而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种抛光垫，其特征在于，
在抛光垫中具有：
多个垫片，它们分别具有将所述抛光垫分割为多个区域而成的面状，通过对这些垫片进行组合，由此作为整体而构成研磨层；以及
多个接合部，它们沿所述多个垫片的接合边界而设置，并将相邻的垫片的端面彼此一体不可分地接合。


2.根据权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，所述多个垫片具有整体被平坦化的研磨面。


3.根据权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光垫还具有多个槽部，这些槽部设置为在所述研磨层的表面凹陷成条纹状，且它们的至少一部分与所述接合边界在位置上对应。


4.根据权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，
所述多个槽部具有多个第一槽部，这些第一槽部分别沿纵和横中的一方的方向延伸，并且在与所述一方的方向正交的另一方的方向以第一间距排列，
分别沿所述一方的方向延伸、并且在所述另一方的方向相邻的所述接合边界的间隔是所述第一间距的m倍(m为整数)。


5.根据权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，
所述多个槽部具有多个第二槽部，这些第二槽部分别沿所述另一方的方向延伸，并且在所述一方的方向以第二间距排列，
分别沿所述另一方的方向延伸、并且在所述一方的方向相邻的所述接合边界的间隔是所述第二间距的n倍(n为整数)。


6.一种抛光垫的制造方法，其特征在于，
在抛光垫的制造方法中具有：
第一步骤，在该第一步骤中，通...

【专利技术属性】
技术研发人员：大石邦晴，海野达广，
申请(专利权)人：株式会社大辉，
类型：发明
国别省市：日本;JP