弹性波装置制造方法及图纸

提供一种弹性波装置，能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波。本实用新型专利技术的弹性波装置具备：压电性基板，其具有高声速构件和直接或间接地设置在高声速构件上的压电体层；以及IDT电极(7)，其设置在压电性基板上。IDT电极的相对置的第一电极指(13)及第二虚设电极指(17)中的至少一方的前端的宽度比其他部分的宽度宽，相对置的第二电极指(16)及第一虚设电极指(14)中的至少一方的前端的宽度比其他部分的宽度宽。第一第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸。在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与第一第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过分别连结多个第一第二电极指的前端而形成的第一第二包络线弯曲。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
本技术涉及弹性波装置。
技术介绍
一直以来，弹性波装置被广泛用于便携电话的滤波器等。在下述的专利文献1中记载有弹性波装置的一例。在该弹性波装置中，依次层叠有高声速膜、低声速膜及压电膜，在压电膜上设置有IDT电极。这样的弹性波装置虽然能够提高Q值，但存在产生横模式纹波这样的问题。为了抑制横模式纹波，已知使IDT电极的汇流条相对于弹性波传播方向倾斜。但是，在使汇流条如上述那样倾斜的情况下，在谐振频率附近产生纹波。在专利文献1所记载的弹性波装置中，通过在IDT电极的电极指的前端设置朝弹性波传播方向突出的突出部，能够抑制在谐振频率附近产生的纹波。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2015/098756号
技术实现思路
技术要解决的课题但是，在IDT电极的电极指的前端设置有上述突出部的情况下，存在在反谐振频率附近产生纹波这样的问题。更具体而言，在反谐振频率与阻带上端之间产生纹波。需要说明的是，阻带是指通过将弹性波陷获在光栅而使弹性波的波长成为固定的区域。本技术的目的在于，提供一种能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波的弹性波装置。用于解决课题的手段本技术的弹性波装置具备：压电性基板，其具有高声速构件和直接或间接地设置在所述高声速构件上的压电体层；以及IDT电极，其设置在所述压电性基板上，在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，所述IDT电极具有：彼此相对置的第一汇流条及第二汇流条；一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；一端与所述第二汇流条连接、且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指；一端与所述第一汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第二电极指对置的多个第一虚设电极指；以及一端与所述第二汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第一电极指对置的多个第二虚设电极指，在将所述第一电极指、所述第二电极指、所述第一虚设电极指及所述第二虚设电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，相对置的所述第一电极指及所述第二虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，相对置的所述第二电极指及所述第一虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，所述第一汇流条及所述第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第一电极指的前端而形成的假想线即第一包络线弯曲，在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第一汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第二电极指的前端而形成的假想线即第二包络线弯曲。技术效果根据本技术，可提供能够抑制横模式和谐振频率附近及反谐振频率附近的纹波的弹性波装置。附图说明图1是本技术的第一实施方式的弹性波装置的正面剖视图。图2是本技术的第一实施方式中的IDT电极的放大俯视图。图3是第一比较例中的IDT电极的示意性放大俯视图。图4是第二比较例中的IDT电极的示意性放大俯视图。图5是示出本技术的第一实施方式、第一比较例及第二比较例的弹性波装置中的回波损耗的图。图6是本技术的第一实施方式的第一变形例的弹性波装置的正面剖视图。图7是示出本技术的第一实施方式及其第一变形例的弹性波装置的回波损耗的图。图8是本技术的第一实施方式的第二变形例的弹性波装置的正面剖视图。图9是本技术的第一实施方式的第三变形例中的IDT电极的示意性放大俯视图。图10是本技术的第二实施方式中的IDT电极的放大俯视图。图11是本技术的第二实施方式的第一变形例中的IDT电极的放大俯视图。图12是本技术的第二实施方式的第二变形例中的IDT电极的放大俯视图。图13是本技术的第二实施方式的第三变形例中的IDT电极的放大俯视图。图14是本技术的第三实施方式的弹性波装置的简图的俯视图。具体实施方式以下，通过参照附图对本技术的具体实施方式进行说明，使本技术变得清楚。需要说明的是，本说明书所记载的各实施方式是例示的内容，预先指出在不同的实施方式之间能够进行结构的局部置换或组合。图1是本技术的第一实施方式的弹性波装置的正面剖视图。弹性波装置1具有压电性基板2。压电性基板2是依次层叠有支承基板3、高声速膜4、低声速膜5及压电体层6的层叠体。在压电性基板2的压电体层6上设置有IDT电极7。当向IDT电极7施加交流电压时，弹性波被激励。在IDT电极7的弹性波传播方向两侧配置有反射器8及反射器9。这样，本实施方式的弹性波装置是弹性波谐振器。这里，压电体层6可以包括钽酸锂(LiTaO3)、铌酸锂(LiNbO3)等压电单晶，或者也可以包括氧化锌(ZnO)、氮化铝(AlN)、水晶(SiO2)或PZT等适当的压电陶瓷。高声速膜4是本实施方式中的高声速构件。高声速构件是所传播的体波的声速比在压电体层6传播的弹性波的声速高的构件。高声速膜4在本实施方式中包括氮化硅(SiN)。需要说明的是，高声速膜4例如也可以包括氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮氧化硅、硅(Si)、蓝宝石、钽酸锂、铌酸锂、水晶、矾土、氧化锆、堇青石、莫来石、滑石、镁橄榄石、氧化镁、DLC(类金刚石碳)膜或金刚石、以上述材料为主成分的介质、以上述材料的混合物为主成分的介质等。高声速膜4的材料是声速相对高的材料即可。低声速膜5是所传播的体波的声速比在压电体层6传播的体波的声速低的膜。低声速膜5没有特别限定，但包括由SiOx表示的氧化硅。x是任意的正值。在本实施方式中，低声速膜5包括x＝2的SiO2。需要说明的是，低声速膜5例如除了氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽之外，还可以包括向氧化硅添加了氟、碳、硼的化合物等以上述材料为主成分的介质。低声速膜5的材料是声速相对低的材料即可。支承基板3在本实施方式中包括硅。需要说明的是，支承基板3也可以包括氧化铝、钽酸锂、铌酸锂、水晶等压电体；矾土、氧化镁、氮化硅、氮化铝、碳化硅、氧化锆、堇青石、莫来石、滑石、镁橄榄石等各种陶瓷；或者金刚石、蓝宝石、玻璃等电介质；氮化镓等半导体；以及树脂等。在本实施方式中，由于具有依次层叠有高声速膜4、低声速膜5及压电体层6的构造，因此，能够有效地将弹性波陷获在压电体层6侧。这里，在本实施方式中，在作为高声速构件的高声速膜4上，隔着低声速膜5而间接地设置有压电体层6。需要说明的是，压电体层6也可以直接设置在高声速构件上。以下，对本实施方式的IDT电极7的详细结构进行说明。图2是第一实施方式中的IDT电极的放大俯视图。IDT电极7具有彼此相对置的第一汇流条12及第二汇流条15。IDT电极7具有一端与第一汇流条12连接的多个第一电极指13。此外，IDT电极7具有一端与第二汇流条15连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，其特征在于，具备：/n压电性基板，其具有高声速构件和直接或间接地设置在所述高声速构件上的压电体层；以及/nIDT电极，其设置在所述压电性基板上，/n在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，/n所述IDT电极具有：彼此相对置的第一汇流条及第二汇流条；一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；一端与所述第二汇流条连接、且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指；一端与所述第一汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第二电极指对置的多个第一虚设电极指；以及一端与所述第二汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第一电极指对置的多个第二虚设电极指，/n在将所述第一电极指、所述第二电极指、所述第一虚设电极指及所述第二虚设电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，相对置的所述第一电极指及所述第二虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，相对置的所述第二电极指及所述第一虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，/n所述第一汇流条及所述第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，/n在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第一电极指的前端而形成的第一包络线弯曲，/n在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第一汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第二电极指的前端而形成的第二包络线弯曲。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180309 JP 2018-0430381.一种弹性波装置，其特征在于，具备：
压电性基板，其具有高声速构件和直接或间接地设置在所述高声速构件上的压电体层；以及
IDT电极，其设置在所述压电性基板上，
在所述高声速构件传播的体波的声速比在所述压电体层传播的弹性波的声速高，
所述IDT电极具有：彼此相对置的第一汇流条及第二汇流条；一端与所述第一汇流条连接的多个第一电极指；一端与所述第二汇流条连接、且与所述多个第一电极指相互交替插入的多个第二电极指；一端与所述第一汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第二电极指对置的多个第一虚设电极指；以及一端与所述第二汇流条连接、且隔开间隙而与所述多个第一电极指对置的多个第二虚设电极指，
在将所述第一电极指、所述第二电极指、所述第一虚设电极指及所述第二虚设电极指的沿着弹性波传播方向的尺寸设为宽度时，相对置的所述第一电极指及所述第二虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，相对置的所述第二电极指及所述第一虚设电极指中的至少一方的前端的所述宽度比其他部分的所述宽度宽，
所述第一汇流条及所述第二汇流条相对于弹性波传播方向倾斜地延伸，
在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第二汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第一电极指的前端而形成的第一包络线弯曲，
在沿与弹性波传播方向正交的方向观察时，在与所述第一汇流条呈直线状延伸的部分重叠的区域，通过连结所述多个第二电极指的前端而形成的第二包络线弯曲。


2.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：大门克也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：新型
国别省市：日本;JP