取样装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种取样装置，包括一密封的盒体结构，盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，取样区包括用于取放样品瓶的密封门，进液区内设置有取样泵和进液管路，进液管路的供液端穿过隔板上的通孔插入多个样品瓶的首端样品瓶，进液管路的取样端伸出于盒体结构外部；进液管路包括具有取样端的第一支路和具有供液端的第二支路，取样泵设置于第一支路和第二支路之间，第一支路上设置有第一阀门，第二支路上设置有第二阀门；取样装置还包括控制结构，用于控制第一阀门、第二阀门以及取样泵的工作状态以进行取样。

【技术实现步骤摘要】
取样装置
本技术涉及溶液取样装置
，尤其涉及一种取样装置。
技术介绍
在半导体生产过程中,对电路的集成度有了越来越高的要求，意味着其线宽越来越小，集成的元件越多，降低了功耗。所以这就要求作为衬底的单晶硅片需要严格控制硅片表面金属污染物的含量。表面金属离子的污染可能导致半导体器件存在不同程度的缺陷，如Na,K,Ca,Mg,Ba等碱金属污染可导致元件击穿电压的降低；Fe,Cr,Ni,Cu,Mn,Pb等过渡金属或重金属污染可使元件的寿命缩短，或者使元件工作时的暗电流增大，最终使整个器件完全失效。目前在硅片生产过程中，拉晶，成型，抛光，清洗为主要的生产工艺流程，其中清洗是硅片生产中必不可少的环节。SPM清洗液可以将硅片表面的金属氧化物溶于清洗液中，并能去除有机沾污；DHF清洗液可以将硅片表面的自然氧化膜去掉，同时抑制它的形成；SC1清洗液及SC2清洗液可以去除附着在硅片表面的颗粒、金属等沾污，同时使硅片表面钝化。因此，需要用到大量的超纯水及化学品(HF，HCL，NH4OH，H2O2等)，这些清洗液的金属杂质含量的多少直接影响到产品的质量，因此需要受到严格的管控。然而对清洗液中金属杂质的含量进行管控需要受到各种因素的影响，例如：(1)在取样过程中，取样环境的洁净程度；(2)人员取样及测试过程中对样品的污染；(3)样品瓶是否专瓶专用，样品瓶的清洁度；(4)分析设备的精密度、稳定性及使用的测试方法等。这些因素都会对测试结果的准确性造成影响，无法客观的评价溶液中金属杂质的真实水平。
技术实现思路
>为了解决上述技术问题，本技术提供一种取样装置，解决取样时取样环境不能与外界隔离，以及通过人工取样造成的取样结果不准确的问题。为了达到上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：一种取样装置，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，所述取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，所述取样区包括用于取放所述样品瓶的密封门，所述进液区内设置有取样泵和进液管路，所述进液管路的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶的首端样品瓶，所述进液管路的取样端伸出于所述盒体结构外部；所述进液管路包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵的工作状态以进行取样。可选的，所述取样区内还包括废液回收管路，所述废液回收管路的一端插入多个所述样品瓶中的末端样品瓶，所述废液回收管路的另一端伸出所述取样区与外部的废液回收桶连通；所述废液回收管路上设置有第三阀门；所述控制结构还用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵的工作状态，在取样前持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行清洗。可选的，还包括六通阀，所述第二支路包括位于所述六通阀的第一开口和所述取样泵之间的第一子支路，以及位于所述六通阀的第二开口和所述首端样品瓶之间的第二子支路，所述废液回收管路包括位于所述末端样品瓶和所述六通阀的第三开口之间的第三支路，以及位于所述六通阀的第四开口和所述废液回收桶之间的第四支路；还包括调节部，用于控制所述六通阀在第一状态和第二状态之间切换；其中，在所述第一状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第一路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第二路径连通，在所述第二状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第三路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第四路径连通。可选的，还包括位于所述进液区的过滤器，所述过滤器位于所述第一子支路。可选的，还包括用于提供对所述取样区进行清洁的惰性气体的惰性气体提供结构，所述惰性气体提供结构包括气体管路，所述气体管路的一端穿过所述进液区、所述隔板进入所述取样区、以对所述取样区提供惰性气体；所述取样区设置有排气口，所述排气口处设置有过滤部。可选的，所述气体管路上设置有用于控制所述气体管路的通断的第四阀门。可选的，所述取样区的第一侧壁上设置有观察窗。可选的，所述第一侧壁上设置有两个通孔，所述取样区内部设置有密封连接于每个所述通孔处的手套，所述手套的内部通过所述通孔与外界连通。可选的，所述取样端包括可拆卸连接于所述进液管路的进液口的取样结构，所述取样结构包括喇叭状弹性部和套设于所述弹性部外部的刚性部，所述刚性部沿其周向设置有多个豁口，该豁口将所述刚性部划分为间隔设置的至少两部分，所述刚性部的外表面设置有外螺纹，所述刚性部外套设有锁紧螺母，所述锁紧螺母转动、以向靠近或远离所述进液管路的进液口的方向移动，以缩小或扩大所述弹性部的开口大小。可选的，所述取样装置还包括用于固定所述样品瓶的夹持固定结构，所述夹持固定结构包括与多个所述样品瓶一一对应的夹持组件，每个所述夹持组件包括相对设置的两个夹持部，每个所述夹持部呈弯曲状，一个所述夹持部朝向另一个所述夹持部的一侧有弹性层。可选的，所述夹持部通过伸缩杆连接于所述取样区的侧壁上。可选的，所述进液区的侧壁上设置有维修口。本技术的有益效果是：所述盒体结构是密封设置，取样区与外界隔离，避免外界环境对取样区的污染，且在控制结构的控制下对多个样品瓶自动进行取样，避免了由于人工操作带来的污染，提供取样精度和取样效率。附图说明图1表示本技术实施例中取样装置结构示意图一；图2表示本技术实施例中取样装置结构示意图二；图3表示本技术实施例中取样装置结构示意图三；图4表示本技术实施例中取样结构的结构示意图一；图5表示本技术实施例中取样结构的结构示意图二；图6表示本技术实施例中取样结构的结构示意图三；图7表示本技术实施例中六通阀流路示意图一；图8表示本技术实施例中六通阀流路示意图二。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。如图1-图3所示，本实施例中提供一种取样装置，包括一密封的盒体结构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种取样装置，其特征在于，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，所述取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，所述取样区包括用于取放所述样品瓶的密封门，所述进液区内设置有取样泵和进液管路，所述进液管路的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶的首端样品瓶，所述进液管路的取样端伸出于所述盒体结构外部；/n所述进液管路包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；/n所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵的工作状态以进行取样。/n

【技术特征摘要】
1.一种取样装置，其特征在于，包括一密封的盒体结构，所述盒体结构内通过隔板划分为进液区和取样区，所述取样区内设置有通过连通管依次连通的多个样品瓶，所述取样区包括用于取放所述样品瓶的密封门，所述进液区内设置有取样泵和进液管路，所述进液管路的供液端穿过所述隔板上的通孔插入多个所述样品瓶的首端样品瓶，所述进液管路的取样端伸出于所述盒体结构外部；
所述进液管路包括具有所述取样端的第一支路和具有所述供液端的第二支路，所述取样泵设置于所述第一支路和所述第二支路之间，所述第一支路上设置有第一阀门，所述第二支路上设置有第二阀门；
所述取样装置还包括控制结构，用于控制所述第一阀门、所述第二阀门以及所述取样泵的工作状态以进行取样。


2.根据权利要求1所述的取样装置，其特征在于，所述取样区内还包括废液回收管路，所述废液回收管路的一端插入多个所述样品瓶中的末端样品瓶，所述废液回收管路的另一端伸出所述取样区与外部的废液回收桶连通；
所述废液回收管路上设置有第三阀门；
所述控制结构还用于控制所述第一阀门、所述第二阀门、所述第三阀门以及所述取样泵的工作状态，在取样前持续向所述样品瓶通入取样液预设时间，以对所述样品瓶进行清洗。


3.根据权利要求2所述的取样装置，其特征在于，还包括六通阀，所述第二支路包括位于所述六通阀的第一开口和所述取样泵之间的第一子支路，以及位于所述六通阀的第二开口和所述首端样品瓶之间的第二子支路，所述废液回收管路包括位于所述末端样品瓶和所述六通阀的第三开口之间的第三支路，以及位于所述六通阀的第四开口和所述废液回收桶之间的第四支路；
还包括调节部，用于控制所述六通阀在第一状态和第二状态之间切换；
其中，在所述第一状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第一路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第二路径连通，在所述第二状态下，所述第一开口和所述第二开口之间通过第三路径连通，所述第三开口和所述第四开口之间通过第四路径连通。


4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵莉珍，
申请(专利权)人：西安奕斯伟硅片技术有限公司，西安奕斯伟材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61