一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法技术

本发明专利技术公开了一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法，检测装置包括光罩载台、LED背光源、安装板和图像采集机构，光罩载台上安装待检测光罩，LED背光源安装于待检测光罩正下方，安装板安装于光罩载台上方，图像采集机构安装于安装板，本发明专利技术结构简单，操作方便，能够有效的采集光罩表面图像，检测效率高。

【技术实现步骤摘要】
一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法
本专利技术涉及光罩检测
，具体为一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法。
技术介绍
光罩(英文:Reticle,Mask):在制作IC的过程中，利用光蚀刻技术，在半导体上形成图型，为将图型复制於晶圆上，必须透过光罩作用的原理，类似于冲洗照片时，利用底片将影像复制至相片上。光罩在使用完成后需要对表面质量进行检测，现有的检测装置智能化程度低，检测效率低，因此，有必要进行改进。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置,所述检测装置包括光罩载台、LED背光源、安装板和图像采集机构，所述光罩载台上安装待检测光罩，所述LED背光源安装于待检测光罩正下方，所述安装板安装于光罩载台上方，所述图像采集机构安装于安装板。优选的，所述图像采集机构包括高清广角摄像头和控制盒，所述高清广角摄像头安装于安装板下方，所述控制盒安装于安装板上端面。优选的，所述控制盒内设有控制器，所述控制器内设置中央处理器、图像采集单元、图像优化单元、数据库单元、报警单元和信号传输单元，所述图像采集单元输入端连接高清广角摄像头，所述图像采集单元输出端通过图像优化单元连接中央处理器，所述中央处理器分别连接数据库单元和报警单元，所述中央处理器通过信号传输单元连接后台监测终端。优选的，检测方法包括以下步骤：A、首先打开LED背光源，高清广角摄像头采集光罩表面图像；B、图像采集单元将采集的图像传输至图像优化单元进行优化；C、优化后的图像信号通过中央处理器处理后传输至数据库单元与预设的正常图像进行比较；D、若检测到异常图像，则立即发出报警信号；E、同时中央处理器将异常图像实时传输至后台监测终端供技术人员参考。优选的，所述步骤B中图像优化单元优化方法如下：a、获取光罩图像灰度直方图；b、设定灰度拉伸中间值，将灰度值小于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值降低第一设定值，同时将灰度值大于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值增加第一设定值；c、判断处理后的图像灰度直方图中设定目标灰度区间内是否有像素出现；d、当设定目标灰度区间内没有像素出现时，判断步骤b的处理次数是否达到第二设定值的次数，若已经达到第二设定值的次数时停止对图像灰度进行处理；e、当设定目标灰度区间内没有像素出现，并且步骤b的处理次数尚未达到第二设定值时，返回步骤b对图像灰度进行进一步处理；f、当设定目标灰度区间内有像素出现时，停止对图像灰度进行处理。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，操作方便，能够有效的采集光罩表面图像，检测效率高；其中，采用的图像优化单元优化方法通过设定灰度拉伸中间值作为灰度拉伸处理的阀值，将灰度值小于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值降低第一设定值，同时将灰度值大于灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值增加第一设定值，直至设定目标灰度区间出现像素或者达到处理次数设定值后停止处理，从而增强异常图像识别效果，同时降低污染部分的噪声，达到提高图像识别正确率的效果。附图说明图1为本专利技术结构示意图；图2为本专利技术控制原理框图；图3为本专利技术流程图；图中：光罩载台1、LED背光源2、安装板3、待检测光罩4、高清广角摄像头5、控制盒6、中央处理器7、图像采集单元8、图像优化单元9、数据库单元10、报警单元11、信号传输单元12、后台监测终端13。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。请参阅图1-3，本专利技术提供一种技术方案：一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置,所述检测装置包括光罩载台1、LED背光源2、安装板3和图像采集机构，所述光罩载台1上安装待检测光罩4，所述LED背光源2安装于待检测光罩4正下方，所述安装板3安装于光罩载台1上方，所述图像采集机构安装于安装板3。本专利技术中，图像采集机构包括高清广角摄像头5和控制盒6，所述高清广角摄像头5安装于安装板3下方，所述控制盒6安装于安装板3上端面；控制盒6内设有控制器，所述控制器内设置中央处理器7、图像采集单元8、图像优化单元9、数据库单元10、报警单元11和信号传输单元12，所述图像采集单元8输入端连接高清广角摄像头5，所述图像采集单元8输出端通过图像优化单元9连接中央处理器7，所述中央处理器7分别连接数据库单元10和报警单元11，所述中央处理器7通过信号传输单元12连接后台监测终端13。工作原理：本专利技术的检测方法包括以下步骤：A、首先打开LED背光源，高清广角摄像头采集光罩表面图像；B、图像采集单元将采集的图像传输至图像优化单元进行优化；C、优化后的图像信号通过中央处理器处理后传输至数据库单元与预设的正常图像进行比较；D、若检测到异常图像，则立即发出报警信号；E、同时中央处理器将异常图像实时传输至后台监测终端供技术人员参考。其中，步骤B中图像优化单元优化方法如下：a、获取光罩图像灰度直方图；b、设定灰度拉伸中间值，将灰度值小于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值降低第一设定值，同时将灰度值大于所述灰度拉伸中间值的全部像素的灰度值增加第一设定值；c、判断处理后的图像灰度直方图中设定目标灰度区间内是否有像素出现；d、当设定目标灰度区间内没有像素出现时，判断步骤b的处理次数是否达到第二设定值的次数，若已经达到第二设定值的次数时停止对图像灰度进行处理；e、当设定目标灰度区间内没有像素出现，并且步骤b的处理次数尚未达到第二设定值时，返回步骤b对图像灰度进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置,其特征在于：所述检测装置包括光罩载台（1）、LED背光源（2）、安装板（3）和图像采集机构，所述光罩载台（1）上安装待检测光罩（4），所述LED背光源（2）安装于待检测光罩（4）正下方，所述安装板（3）安装于光罩载台（1）上方，所述图像采集机构安装于安装板（3）。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置,其特征在于：所述检测装置包括光罩载台（1）、LED背光源（2）、安装板（3）和图像采集机构，所述光罩载台（1）上安装待检测光罩（4），所述LED背光源（2）安装于待检测光罩（4）正下方，所述安装板（3）安装于光罩载台（1）上方，所述图像采集机构安装于安装板（3）。


2.根据权利要求1所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置，其特征在于：所述图像采集机构包括高清广角摄像头（5）和控制盒（6），所述高清广角摄像头（5）安装于安装板（3）下方，所述控制盒（6）安装于安装板（3）上端面。


3.根据权利要求2所述的一种基于视觉检测检测技术的光罩表面质量检测装置，其特征在于：所述控制盒（6）内设有控制器，所述控制器内设置中央处理器（7）、图像采集单元（8）、图像优化单元（9）、数据库单元（10）、报警单元（11）和信号传输单元（12），所述图像采集单元（8）输入端连接高清广角摄像头（5），所述图像采集单元（8）输出端通过图像优化单元（9）连接中央处理器（7），所述中央处理器（7）分别连接数据库单元（10）和报警单元（11），所述中央处理器（7）通过信号传输单元（12）连接后台监测终端（13）。


4.实现权利要求1所述的一种基于视觉检测检测技术的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑永庆，张衡，陈宏渊，
申请(专利权)人：艾斯尔光电南通有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32