本实用新型专利技术涉及蒸镀设备技术领域，具体公开了一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。蒸镀腔体内冷却结构包括至少一个冷却板，冷却板设置于坩埚与蒸镀盘之间，且冷却板周边与蒸镀腔体的侧壁连接，冷却板上开设有能使坩埚蒸发的物质蒸镀至基片上的通孔。本实用新型专利技术提供的蒸镀腔体内冷却结构在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板上，使基片周围温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。
【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置
本技术涉及蒸镀设备
，尤其涉及一种蒸镀腔内体冷却结构及蒸镀装置。
技术介绍
有机薄膜电致发光显示器件(OLED)是有机半导体材料在电场作用下发光的一项新兴技术，近年来得到了迅速发展。OLED显示器具有低能耗、环保、超薄、高色彩饱和度、面光源等优点。现如今OLED显示器件主要通过蒸发镀膜的方法制备，在大型蒸镀设备中，金属阳极是通过大型点源蒸发Ag、Mg、Al等金属沉积到基片上去，形成阳极图案。金属的熔点较高，要保持稳定的沉积速率，需要点源的加热温度较高。在真空腔体中，非接触零部件之间的热量传递主要是热辐射，以及金属原子沉积到零部件表面带来的热量。当金属点源温度较高时，辐射到真空腔体及真空腔体内零部件的温度较高，造成零件表面温度升高，材料表面吸附的气体将被释放，同时吸附在零件表面上的金属材料将再次脱附，可能沉积到基片上去，影响膜层质量。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种蒸镀腔体内冷却结构及蒸镀装置，有效冷却蒸镀腔体内的温度，提高基片蒸镀的质量。为达此目的，本技术采用以下技术方案：一种蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体内底部设有坩埚，所述蒸镀腔体内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘，所述冷却结构包括至少一个冷却板，所述冷却板设置于所述坩埚与所述蒸镀盘之间，且所述冷却板周边与所述蒸镀腔体的侧壁连接，所述冷却板上开设有能使所述坩埚蒸发的物质蒸镀至所述基片上的通孔。优选地，所述冷却板设有至少两个，且其中一个所述冷却板靠近所述坩埚设置，另一个所述冷却板靠近所述蒸镀盘设置。优选地，靠近所述蒸镀盘设置的所述冷却板上的所述通孔的孔径大于靠近所述坩埚设置的所述冷却板上的所述通孔的孔径。优选地，每个所述冷却板均设有进口和出口；多个所述冷却板串联，其中一个所述冷却板连接冷却介质供给装置；或，每个所述冷却板分别连接所述冷却介质供给装置。优选地，所述冷却板内设置有冷却管道，所述冷却管道盘绕设置于所述冷却板内。优选地，所述冷却板的两侧均可拆卸连接有内衬板。优选地，所述蒸镀腔体的内侧侧壁均可拆卸连接有内衬板。优选地，所述冷却板可拆卸设置于所述蒸镀腔体的侧壁上。优选地，所述冷却板的材质为不锈钢。一种蒸镀装置，包括蒸镀腔体、设置于所述蒸镀腔体内底部的坩埚、设置于所述蒸镀腔体内顶部用于安装基片的蒸镀盘及设置于所述蒸镀腔体内如上所述的蒸镀腔体内冷却结构。本技术的有益效果：在蒸镀腔体内设置冷却板，冷却板置于坩埚和蒸镀盘之间，坩埚的热量辐射到冷却板上，冷却板直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体侧壁上的热量，并且沉积在冷却板上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板上，使基片周围温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。附图说明图1是本技术实施例提供的蒸镀腔体内冷却结构的结构示意图。图中：100、蒸镀腔体；200、坩埚；300、蒸镀盘；1、冷却板；11、通孔；2、内衬板。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。针对现有技术中在蒸镀基片时，当金属点源温度较高时，辐射到真空腔体及真空腔体内零部件的温度较高，造成零件表面温度升高，材料表面吸附的气体将被释放，同时吸附在零件表面上的金属材料将再次脱附，可能沉积到基片上去，影响蒸镀膜层质量的问题，本实施例提供了一种蒸镀装置，且在蒸镀装置内设置蒸镀腔体内冷却结构以解决上述问题。具体地，如图1所示，该蒸镀装置包括蒸镀腔体100，蒸镀腔体100内底部设有坩埚200，蒸镀腔体100内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘300，蒸镀腔体100内设有蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体内冷却结构能有效降低蒸镀腔体100内的温度，降低辐射到基片和蒸镀腔体100侧壁上的热量，避免材料表面吸附的气体被释放，同时吸附在零件表面上的金属材料再次脱附，提高了基片蒸镀膜层的质量。在本实施例中，蒸镀腔体内冷却结构包括至少一个冷却板1，冷却板1置于坩埚200与蒸镀盘300之间，且冷却板1周边与蒸镀腔体100的侧壁连接，冷却板1上开设有能使坩埚200蒸发的物质蒸镀至基片上的通孔11。在蒸镀腔体100内设置冷却板1，冷却板1置于坩埚200和蒸镀盘300之间，坩埚200的热量辐射到冷却板1上，冷却板1直接带走热量，降低了辐射到基片和蒸镀腔体100侧壁上的热量，并且沉积在冷却板1上的蒸镀物质和杂质气体会因冷却板1温度低而不易脱附，降低了对基片镀膜的影响。此外，基片上的热量辐射传递到冷却板1上，使基片温度降低，防止基片的有机镀层被破坏。具体地，在本实施例中，冷却板1可拆卸设置于蒸镀腔体100的侧壁上。在冷却板1上沉积杂质过多会影响冷却板1的冷却效果，冷却板1可拆卸连接以便更换冷却板1。冷却板1设有至少两个，且其中一个冷却板1靠近坩埚200设置，另一个冷却板1靠近蒸镀盘300设置。基片上的热量通过辐射传递到周围，靠近蒸镀盘300设置的冷却板1使得蒸镀盘300上基片的周围温度较低，避免沉积在冷却板1上或蒸镀腔体100侧壁上的蒸镀物质和杂质气体脱附，防止基片的有机镀层被破坏。设置在坩埚200附近的冷却板1能有效降低坩埚200周边的温度，避免沉积在冷却板1上或蒸镀腔体100侧壁上的蒸镀物质和杂质气体脱附，降低对基片镀膜的影响。可以根据蒸镀腔体100的大小设置冷却板1的数量，可以设置三个、四个或者更多个，在此不作限定。进一步地，靠近蒸镀盘300设置的冷却板1上的通孔11的孔径大于靠近坩埚200设置的冷却板1上的通孔11的孔径，确保坩埚200蒸发的物质能蒸镀至基片上。具体地，靠近坩埚本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体(100)内底部设有坩埚(200)，所述蒸镀腔体(100)内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘(300)，其特征在于，所述冷却结构包括至少一个冷却板(1)，所述冷却板(1)设置于所述坩埚(200)与所述蒸镀盘(300)之间，且所述冷却板(1)周边与所述蒸镀腔体(100)的侧壁连接，所述冷却板(1)上开设有能使所述坩埚(200)蒸发的物质蒸镀至所述基片上的通孔(11)。/n
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀腔体内冷却结构，蒸镀腔体(100)内底部设有坩埚(200)，所述蒸镀腔体(100)内顶部设有用于安装基片的蒸镀盘(300)，其特征在于，所述冷却结构包括至少一个冷却板(1)，所述冷却板(1)设置于所述坩埚(200)与所述蒸镀盘(300)之间，且所述冷却板(1)周边与所述蒸镀腔体(100)的侧壁连接，所述冷却板(1)上开设有能使所述坩埚(200)蒸发的物质蒸镀至所述基片上的通孔(11)。
2.根据权利要求1所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，所述冷却板(1)设有至少两个，且其中一个所述冷却板(1)靠近所述坩埚(200)设置，另一个所述冷却板(1)靠近所述蒸镀盘(300)设置。
3.根据权利要求2所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，靠近所述蒸镀盘(300)设置的所述冷却板(1)上的所述通孔(11)的孔径大于靠近所述坩埚(200)设置的所述冷却板(1)上的所述通孔(11)的孔径。
4.根据权利要求2所述的蒸镀腔体内冷却结构，其特征在于，每个所述冷却板(1)均设有进口和出口；
多个所述冷却板(1)串联，其中一个所述冷却板(1)连接冷却...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄稳，朱宏伟，武启飞，虞强龙，陈奇，高永喜，张敬娣，廖良生，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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