基板把持机构及基板加工装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及基板把持机构及基板加工装置。提供与厚度无关而能够适当把持基板的把持机构。基板端部的把持机构具备：往复移动式的气缸，在内部具备活塞并通过压缩空气的送入和送出而使活塞移动；把持部，在固定配置的上爪部与能够围绕规定的转动中心转动地设置的下爪部之间把持基板，下爪部经由杆与活塞连结，随着压缩空气被送入气缸内而转动，从而产生从下爪部朝向上爪部的作用力，以该作用力把持基板，在将压缩空气被送入气缸内且不把持基板的状态设为初始状态时，在上爪部和下爪部中一方的把持基板的部分设置有台阶，该台阶由在初始状态下与上爪部和下爪部中的另一方抵接的第一部分及在初始状态下与上爪部和下爪部中的另一方分离的第二部分构成。

【技术实现步骤摘要】
基板把持机构及基板加工装置
本专利技术涉及把持基板的机构，特别是涉及在对玻璃基板等脆性材料基板进行分割其他的加工的装置中，把持基板端部的机构。
技术介绍
对玻璃基板等脆性材料基板(母基板)进行分割的装置广为人知，在这些装置中存在以下的装置：利用在水平面内与输送方向正交的方向上以规定的间隔配置的多个基板支承输送机构，从下方支承从外部搬入的基板，并且利用以规定的间隔配置的多个把持机构(夹紧机构)把持(夹紧)其后端部。作为基板支承输送机构，例示了输送机、带等(例如，参照专利文献1以及专利文献2)，所述输送机构成为沿着输送方向排列有多个在包含输送方向的铅垂面内旋转自如并且以上端部支承基板的多个辊(从动辊)，所述带以在输送方向上环绕的方式配置并且能够在上表面上支承基板。在利用前者来输送基板的情况下，是通过随着把持基板的多个把持机构在输送方向上移动，支承基板的辊从动旋转而实现的。在利用后者的情况下，是通过带与把持基板的多个把持机构向输送方向的移动同步地环绕而实现的。另外，作为把持机构，公知有通过压缩空气的送入和排出来切换把持的打开/关闭(ON/OFF)的机构(例如，参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4464961号公报专利文献2：日本特开2016-83822号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题在一个基板分割装置中，存在想要分割各种厚度的脆性材料基板的需求。在该情况下，要求在通过把持机构把持基板时，以与基板的厚度相应的适当的把持力来把持基板。在以过强的力把持较薄的基板的情况下，基板会变形或破损，因此不优选。另一方面，如果把持力过弱，则无法适当地把持具有厚度的基板，仍然不优选。因此，以往，例如在一张玻璃基板(单板)的分割和将两张或在此以上玻璃基板贴合而成的贴合基板的分割，都是利用一个基板分割装置来进行分割那样的情况下，根据厚度的差异的程度，在把持单板的情况和把持贴合基板的情况下，需要使把持机构中的把持力不同。作为这样厚度不同的脆性材料基板混合为分割对象的例子，存在对液晶面板用的基板进行分割。在对该基板进行分割时，有时两张玻璃基板的端面在端部对齐的情况，以及被称为端子部的、端面的位置在上下基板上不同并且在端部具有台阶的情况混合存在。在前者的情况下，端部当然成为贴合部分，但在后者的情况下，端部实际上成为单板。因此，本来在分别适当地进行把持的情况下，仍然期望调整把持力。然而，在作业效率上，每次调整把持力是非常麻烦的。特别是，在利用多个把持机构把持尺寸较大的一个基板的情况下的复杂程度更为显著。因此，在实际情况中，经常采用以下的方式：通过设定能够把持贴合部分的最低限度的把持力，将该把持力也应用于把持端子部。但在这种情况下，有时无法适当地把持贴合部分。本专利技术是鉴于上述技术问题而完成的，其目的在于，提供一种基板加工装置用的把持机构，即使不根据成为把持对象的基板的厚度而每次调整把持力，也能够适当地把持基板。用于解决技术问题的方案为了解决上述技术问题，技术方案1的专利技术是一种把持基板的端部的机构，其特征在于，具备：往复移动式的气缸，在所述气缸的内部具备活塞，通过压缩空气被送入到所述气缸和从所述气缸送出压缩空气而使所述活塞移动；以及把持部，在固定配置的上爪部与下爪部之间把持基板，所述下爪部以能够围绕规定的转动中心转动的方式而设置，所述下爪部经由杆与所述活塞连结，随着压缩空气被送入到所述气缸内，所述下爪部围绕所述转动中心转动，从而产生从所述下爪部朝向所述上爪部的作用力，利用该作用力在所述上爪部与所述下爪部之间把持所述基板，在将压缩空气被送入到所述气缸内且不把持所述基板的状态设为初始状态时，在所述上爪部和所述下爪部中的一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：第一部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方抵接；以及第二部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方分离。技术方案2的专利技术是根据技术方案1所述的基板把持机构，其特征在于，在所述第一部分与所述上爪部和所述下爪部中的另一方之间把持所述基板、以及在所述第二部分与所述上爪部和所述下爪部中的另一方之间把持所述基板根据作为把持对象的各种所述基板的厚度而选择性地执行。技术方案3的专利技术是根据技术方案1或2所述的基板把持机构，其特征在于，所述台阶的大小是基于作为把持对象的各种所述基板的厚度之差来确定的。技术方案4的专利技术是根据技术方案1至3中任一项所述的基板把持机构，其特征在于，在所述上爪部一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：第一部分，在所述初始状态下与所述下爪部抵接；以及第二部分，在所述初始状态下与所述下爪部分离。技术方案5的专利技术是根据技术方案1或3所述的基板把持机构，其特征在于，在所述下爪部一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：第一部分，在所述初始状态下与所述上爪部抵接；以及第二部分，在所述初始状态下与所述上爪部分离。技术方案6的专利技术是根据技术方案1至5中任一项所述的基板把持机构，其特征在于，所述上爪部和所述下爪部中的至少一方的与所述基板接触的部分由弹性体构成。技术方案7的专利技术是一种对基板进行规定的加工的装置，其特征在于，具备：支承条，在水平面内的第一方向上延伸，并且在所述一个方向上离散地设置有多个技术方案1至6中任一项所述的基板把持机构；一对引导部件，在水平面内沿与所述第一方向正交的第二方向引导所述支承条；以及多个基板支承输送机构，在所述一对引导部件之间的区域中，分别与所述一对引导部件平行且等间隔地设置，所述基板加工装置通过所述支承条在多个基板把持机构已把持支承于所述基板支承输送机构的所述基板的一端部的状态下沿着所述引导部件移动来输送所述基板。专利技术效果根据技术方案1至7的专利技术，通过根据基板的厚度而改变把持位置，即使在把持基板时不调整作用于上爪部与下爪部之间的作用力，也能够适当地把持厚度不同的基板。附图说明图1是把持机构100的外观立体图。图2是把持机构100的主要部分侧视图。图3是把持机构100处于初始状态时的把持部20的放大侧视图。图4是表示把持单基板W1的过程中的把持部20的动作的图。图5是表示把持单基板W1的过程中的把持部20的动作的图。图6是表示把持单基板W1的过程中的把持部20的动作的图。图7是表示把持贴合基板W2的过程中的把持部20的动作的图。图8是表示把持贴合基板W2的过程中的把持部20的动作的图。图9是表示把持贴合基板W2的过程中的把持部20的动作的图。图10是表示把持带端子部的贴合基板W3的过程中的把持部20的动作的图。图11是表示把持带端子部的贴合基板W3的过程中的把持部20的动作的图。图12是表示把持带端子部的贴合基板W3的过程中的把持部20的动作的图。图13是表示在把持部1020中把持单基板W1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板把持机构，把持基板的端部，所述基板把持机构其特征在于，具备：/n往复移动式的气缸，在所述气缸的内部具备活塞，通过压缩空气被送入到所述气缸和从所述气缸送出压缩空气而使所述活塞移动；以及/n把持部，在固定配置的上爪部与下爪部之间把持基板，所述下爪部以能够围绕规定的转动中心转动的方式而设置，/n所述下爪部经由杆与所述活塞连结，随着压缩空气被送入到所述气缸内，所述下爪部围绕所述转动中心转动，从而产生从所述下爪部朝向所述上爪部的作用力，利用该作用力在所述上爪部与所述下爪部之间把持所述基板，/n在将压缩空气被送入到所述气缸内且不把持所述基板的状态设为初始状态时，/n在所述上爪部和所述下爪部中的一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：/n第一部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方抵接；以及/n第二部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方分离。/n

【技术特征摘要】
20200123 JP 2020-0091931.一种基板把持机构，把持基板的端部，所述基板把持机构其特征在于，具备：
往复移动式的气缸，在所述气缸的内部具备活塞，通过压缩空气被送入到所述气缸和从所述气缸送出压缩空气而使所述活塞移动；以及
把持部，在固定配置的上爪部与下爪部之间把持基板，所述下爪部以能够围绕规定的转动中心转动的方式而设置，
所述下爪部经由杆与所述活塞连结，随着压缩空气被送入到所述气缸内，所述下爪部围绕所述转动中心转动，从而产生从所述下爪部朝向所述上爪部的作用力，利用该作用力在所述上爪部与所述下爪部之间把持所述基板，
在将压缩空气被送入到所述气缸内且不把持所述基板的状态设为初始状态时，
在所述上爪部和所述下爪部中的一方的把持所述基板的部分设置有台阶，所述台阶由以下部分构成：
第一部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方抵接；以及
第二部分，在所述初始状态下与所述上爪部和所述下爪部中的另一方分离。


2.根据权利要求1所述的基板把持机构，其特征在于，
在所述第一部分与所述上爪部和所述下爪部中的另一方之间把持所述基板、以及在所述第二部分与所述上爪部和所述下爪部中的另一方之间把持所述基板根据作为把持对象的各种所述基板的厚度而选择性地执行。


3.根据权利要求1或2所述的基板把持机构，其特征在于，
所述台阶的大小是基于作为把持对...

【专利技术属性】
技术研发人员：成尾徹，三浦三雄，得永直，土屋智章，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP