一种用于太阳能电池的刻蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置，属于太阳能电池的技术领域。包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述第四区域设有热风机。本实用新型专利技术合理的利用了空间，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上，减小了设备的占地面积。

【技术实现步骤摘要】
一种用于太阳能电池的刻蚀装置
本技术涉及太阳能电池的
，具体涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置。
技术介绍
太阳能电池又称为太阳能光伏，是一种通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。刻蚀作为太阳电池生产中的第三道工序，其主要作用是去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电。现有的刻蚀设备设有多个处理工段，如刻蚀段、水洗段、酸洗段、碱洗段等。这些工段各自独立，一字排开，会占用较大的面积，这不利于扩大生产规模。
技术实现思路
针对现有技术中太阳能电池刻蚀装置占地面积大的问题，本技术提供一种用于太阳能电池的刻蚀装置，以解决上述问题。一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆和与伸缩杆连接的花篮；所述伸缩装置沿滑轨在装置本体的内部运动；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述液体槽Ⅱ设有夹层；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述旋转轴固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周方向上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述液体槽Ⅲ设有夹层；所述第四区域设有热风机；所述第一区域设有入口，第四区域设有出口。优选的，所述旋转装置、伸缩装置和热风机通过计算机控制运行。优选的，所述夹层中通入冷水。优选的，所述第一区域、第二区域、第三区域和第四区域上方设有引风装置。优选的，所述液体槽Ⅱ中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液。优选的，所述液体槽Ⅲ中装有氢氧化钠水溶液。优选的，所述液体槽Ⅰ为五个，其中一个槽装有氢氟酸，一个槽装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，其余三个槽装有水。本技术的工作原理为：从前一步传送来的硅片由入口进入装置本体，放置于花篮上，经外部计算机控制移动至第二区域，当硅片位于液体槽Ⅰ上方时，停止移动，此时液体槽Ⅰ内氢氟酸，控制伸缩杆向下伸出，直到硅片距离液面为1mm时停止操作，靠液体的张力接触硅片进行除PSG操作；待去除完成后，控制伸缩杆缩回，提起硅片，然后移动至第一区域液体槽Ⅱ的上方，重复前一步操作，进行刻蚀；待刻蚀完成后，提起硅片，再次移动至第二区域，此时通过转动旋转装置，调整液体槽Ⅰ内液体，将装有水的液体槽转动至硅片下方，将刻蚀后的硅片进行水洗。后续的酸洗、碱洗按照上述的方法操作。洗涤完成后，将硅片移动至第四区域，利用热风机将将硅片吹干，然后通过出口将硅片转移出刻蚀机。本技术的有益效果为：本技术合理的利用了空间，将可常温操作的酸洗、碱洗步骤的液体槽放置于旋转装置上，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上。这样在后期扩大生产规模时，减小了因占地面积而导致的不利因素。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的正面结构示意图；图2是本技术的花篮结构示意图。图中，1-第一区域，2-第二区域，3-第三区域，4-第四区域，5-液体槽Ⅰ，6-液体槽Ⅱ，7-液体槽Ⅲ，8-夹层，9-伸缩杆，10-花篮，11-滑轨，12-挡板，13-旋转轴，14-连接杆，15-热风机，16-进口，17-出口。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。实施例1一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板12，将装置本体内部依次分隔成第一区域1、第二区域2、第三区域3和第四区域4；所述第一区域1、第二区域2、第三区域3和第四区域4上方设有引风装置；所述装置本体的上部设有滑轨11；所述滑轨11下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆9和与伸缩杆9连接的花篮10；所述伸缩装置可沿滑轨11在装置本体的内部运动；所述第一区域1设有液体槽Ⅱ6；所述液体槽Ⅱ6中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液；所述液体槽Ⅱ6设有夹层8；所述夹层8中通入冷水；所述第二区域2设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴13和五个固定于旋转轴13上的连接杆14；所述旋转轴13固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆14均匀分布在旋转轴13的圆周方向上；所述连接杆14的另一端连接有液体槽Ⅰ5，其中一个槽装有氢氟酸，一个槽装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，其余三个槽装有水；所述第三区域3设有液体槽Ⅲ7；所述液体槽Ⅲ7中装有氢氧化钠水溶液；所述液体槽Ⅲ7设有夹层8；所述第四区域4设有热风机15；所述第一区域1设有入口16，第四区域4设有出口17；所述旋转装置、伸缩装置和热风机15通过计算机控制运行。尽管通过参考附图并结合优选实施例的方式对本技术进行了详细描述，但本技术并不限于此。在不脱离本技术的精神和实质的前提下，本领域普通技术人员可以对本技术的实施例进行各种等效的修改或替换，而这些修改或替换都应在本技术的涵盖范围内/任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应以权利要求所述的保护范围为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽，其特征在于，所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆和与伸缩杆连接的花篮；所述伸缩装置沿滑轨在装置本体的内部运动；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述液体槽Ⅱ设有夹层；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述旋转轴固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周方向上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述液体槽Ⅲ设有夹层；所述第四区域设有热风机；所述第一区域设有入口，第四区域设有出口。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽，其特征在于，所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆和与伸缩杆连接的花篮；所述伸缩装置沿滑轨在装置本体的内部运动；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述液体槽Ⅱ设有夹层；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述旋转轴固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周方向上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述液体槽Ⅲ设有夹层；所述第四区域设有热风机；所述第一区域设有入口，第四区域设有出口。...

【专利技术属性】
技术研发人员：仲伟佳，杨晓君，任现坤，宋超，张洪岩，郭瑞静，姜川，曹振，葛永见，陈冲，韩其家，
申请(专利权)人：山东力诺太阳能电力股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37