一种用于电子化学品的取样系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于电子化学品的取样系统，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭阀门；所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统连接；还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。本实用新型专利技术通过将生产系统和取样系统分开设置，从而不需要在工厂内设置庞大的洁净室，从而节约了土地和空间，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于电子化学品的取样系统
本技术涉及检测领域，具体涉及一种用于电子化学品的取样系统。
技术介绍
电子化学品，属于电子化工材料，是指为电子工业配套的精细化工材料，包括集成电路和分立器件用化学品，如芯片生产用光致抗蚀剂、超净高纯试剂、超净高纯气体、塑封材料等；彩电用化工材料，如彩色荧光粉、为彩管配套的水溶性抗蚀剂、高纯度无机盐、有机膜等；印刷线路板用化工材料，如干膜抗蚀剂、油墨、化学和电镀铜镀液及其添加剂、表面组装工艺用导电浆料、清洗剂、液态阻焊光致抗蚀剂、贴片胶、导电胶、焊膏、预涂焊剂、免清和水洗工艺用焊剂等；液晶显示器件用化工材料，如液晶、光致抗蚀剂、取向膜、胶粘剂、浆料、电解液、薄膜和包封材料、偏振片、抛磨材料等等。集成电路和分立器件、电容、电池、电阻、光电子器件、印制线路板、液晶显示器件、显像管、电视机、计算机、收录机、录摄像机、激光唱盘、音响、移动通讯设备、传真机等电子元器件、零部件和整机生产与组装都要用到各种高纯电子化学品。因此，电子化学品及下游元器件是电子信息产业的基础与先导，处于电子信息产业链的前端，是信息通讯、消费电子、家用电器、汽车电子、节能照明、工业控制、航空航天、军工等领域终端产品发展的基础。随着技术创新的发展，电子化学品的应用领域不断扩大，已渗透到国民经济和国防建设的各个领域。没有高质量的电子化学品就不可能制造出高性能的电子元器件。电子化学品在一定程度上决定或影响着下游及终端产业的发展与进步，对于国内产业结构升级、国民经济及国防建设具有要意义。工信部指出，"十一五"期，我国必须大力发展电子材料产业，加快产业结构调整与优化，缩小电子材料与国外先进水平的差距，提高国内自主配套能力，为电子信息产业的发展提供有力支撑。现有技术中，电子化学品的品种规格繁多，目前大体可分为半导体材料、磁性材料及中间体、电容器化学品、电池化学品、电子工业用塑料、电子工业用涂料、打印材料化学品、高纯单质、光电材料、合金材料、缓蚀材料、绝缘材料、特种气体、电子工业用橡胶、压电与声光晶体材料、液晶材料、印刷线路板材料等十几个大的门类，每一个大类又可分为若干子类，据不完全统计，产品品种在2万余种以上。如半导体材料可分为集成电路和分立器件生产工艺所用的光刻胶、封装材料、高纯化学试剂等。而本申请主要的研究对象就是呈气体、液体状态的高纯度的电子气体化学品、电子液体化学品等。例如，电子气体化学品可以是硅烷、氨气、四氟化碳、六氟乙烷、三氟甲烷、六氟化硫、八氟环丁烷、1,3-六氟丁二烯、氯化氢、氯气、甲烷、丙烯、一氧化二氮、一氧化氮、三氯化硼、溴化氢、一氧化碳、二氧化碳、氯硅烷、氖气、氪气等；电子液体化学品可以是超纯氢氟酸、超纯盐酸、超纯硫酸、超纯磷酸、超纯正硅酸乙酯、超纯氢氧化钾、超纯乙醇、超纯丙酮、超纯异丙醇、超纯丙烯酸甲酯等，也称为湿态电子化学品(电子液体化学品)。针对上述这些无论是气态还是液态的电子化学品，都需要涉及到其纯度的检查和取样。其中，取样是所有检测工作中最基础，也是最重要的部分。如果取样不规范，所取的样品不仅没有代表性，甚至还可能造成重大经济损失。现有技术中，对于生产电子化学品的生产和取样系统，是将所有的人、机、料等三要素全部系数纳入到一个相对庞大的洁净系统中集中管理和局部优化，三要素存在如下问题：(1)人的素养：需要对本单位人员进行培训，此外，针对外部施工、检修或者技术交流等人员需要进行有效管控，一旦出现管理松懈就会导致整个洁净系统重新优化导致既定的程序无法执行，造成生产宕机，因而成本较高；(2)有一些机器设备是动态的，涉及振动产生颗粒，此外，运行设备存在温度变化会导致油气或者蒸汽等，这些都会对高洁净环境造成破坏，同样会造成整个洁净系统紊乱需要重新优化，导致既定的程序无法执行，造成生产宕机；(3)物料：生产的工艺和流程以及运输方式等其外部所携带的杂质均需要进行管控，必须建立更加庞大的系统来确保物料不洁所产生的后果。由此可见，现有技术需要庞大的洁净环境维护，需要频繁的调动空气循环设备的连续运行，增加了产品生产和质量监督环节的运营成本，同时，鉴于庞大的洁净环境需要在有限的厂区内占用巨大的空间来安装循环风机等设备，造成大量的土地被侵占，现实中能使用的空间狭小，造成土地资源的严重浪费。针对上述问题，现有的解决方法是把生产场地和取样系统分开设置，例如，设置单独的分析实验室，先去生产车间用取样瓶取样，然后把取样瓶送至分析实验室进行分析。然而，这种方式产生了新的问题：因为取样瓶在运送途中必然会接触到大气环境，而大气环境中的微量金属离子(如钠离子、钾离子、钙离子、镁离子等)会黏附于取样瓶上，导致检查结果失真(这是因为，高纯电子化学品的纯度很高，微量的杂质就会产生极大的影响)。因此，开发一种适用于电子化学品的取样系统，只要现场具备5N的惰性气体或亚惰性气体(在工艺安装之时，很容易实现，所占空间很小很小)，进一步降低空间占用和成本，减小取样工具和液样被污染，显然具有积极的现实意义。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种用于电子化学品的取样系统。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种用于电子化学品的取样系统，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭控制阀门；所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统或亚惰性气体供应系统连接；还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。上文中，所述各个洁净空间的洁净度逐渐增加，且优选其内的压力也逐渐增加。所述惰性气体供应系统可以是氦气、氖气或氩气供应系统；所述亚惰性气体供应系统可以是氮气或二氧化碳供应系统。优选的，所述洁净空间包括2个，分别是第一洁净空间和第二洁净空间；其中，第一洁净空间的洁净度低于第二洁净空间的洁净度；第一洁净空间和第二洁净空间之间设有连通通道。优选的，所述第一洁净空间与5N氮气供应系统连接；所述第二洁净空间与6N氮气供应系统连接。所述5N氮气是指99.999％的氮气，所述6N氮气是指99.9999％的氮气，这对于本领域技术人员是公知的。优选的，所述各个洁净空间与惰性气体供应系统之间设有过滤器。或者，所述各个洁净空间与亚惰性气体供应系统之间设有过滤器。优选的，所述过滤器有2套，且并联设置。形成一开一备结构，当一个过滤器出现问题时，可以转用备用的过滤器。优选的，所述取样系统的底部设有滑轮。从而可以使取样系统可以移动。当然，也可以在生产系统的取样端固定设置一套本技术的取样系统。优选的，所述亚惰性气体供应系统为氮气供应系统。优选的，所述输送系统包括输送滑轨。由于上述技术方案运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：1.本技术开发了一种新的适用于电子化学品的取样系统，通过将生产系统和取样系统分开设置，从而不需要在工厂内设置庞大的洁净室，从而节约了土地和空间，降低了成本；2.本技术新的取样系统具有至少2个洁净本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于电子化学品的取样系统，其特征在于，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭控制阀门；/n所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统或亚惰性气体供应系统连接；/n还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于电子化学品的取样系统，其特征在于，包括依次连接的至少2个洁净空间，各个洁净空间均与抽真空系统连接；按照行进方向，各个洁净空间的洁净度逐渐增加；各个洁净空间之间设有连通通道，连通通道上设有启闭控制阀门；
所述各个洁净空间均与惰性气体供应系统或亚惰性气体供应系统连接；
还包括输送系统，以将取样瓶从各个洁净空间之间实现输送。


2.如权利要求1所述的用于电子化学品的取样系统，其特征在于，所述洁净空间包括2个，分别是第一洁净空间和第二洁净空间；其中，第一洁净空间的洁净度低于第二洁净空间的洁净度；第一洁净空间和第二洁净空间之间设有连通通道。


3.如权利要求2所述的用于电子化学品的取样系统，其特征在于，所述第一洁净空...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏致远，金向华，张友圣，李刚，曹文权，
申请(专利权)人：金宏气体电子材料淮安有限责任公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32