一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。本申请在保证不损坏不锈钢部件本身性能前提下，将其矫正在公差范围之内，使得不锈钢部件可以继续使用，且矫正准确，费用成本低。

【技术实现步骤摘要】
一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具
本技术涉及一种定向矫正治具，具体涉及一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具。
技术介绍
半导体设备光刻腔体内的不锈钢部件作用是配合芯片制造；其芯片在光刻作用时，不锈钢部件会沾染所使用的化学品，从而需要定期清洗。所述不锈钢部件很薄大概为1mm，而且直径在300mm左右，如图1所示，其从腔体固定槽中拆解、清洗、运输过程中会导致变形，无法重新安装在腔体固定槽中，进而导致半导体设备无法正常使用，如果购买新不锈钢部件，价格昂贵，费用成本高。在保证不影响使用前提下，可以对不锈钢部件进行校正，目前使用人工校正方式存在的问题是：不好掌控且无法保证外圆的每个点位都在公差范围之内，如果力度掌握不均匀可能对不锈钢部件造成破坏性损坏，无法弥补。
技术实现思路
针对现有技术存在上述问题，本申请提供一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，在保证不损坏不锈钢部件本身性能前提下，将其矫正在公差范围之内，使得不锈钢部件可以继续使用，且矫正准确，费用成本低。为实现上述目的，本申请的技术方案为：一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。进一步的，所述矫正凹槽的最大直径为待矫正不锈钢部件允许公差的最大值，所述矫正凹槽的最小直径为待矫正不锈钢部件允许公差的最小值。进一步的，张开后4个胎具最大外径略大于待矫正不锈钢部件直径，且在允许公差范围内。进一步的，所述胎具底部设有向外延伸的凸起外沿。进一步的，所述过渡块上设有至少两组孔位。本技术由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：本申请治具定向矫正不锈钢部件正圆度，满足外圈各个点位都在公差范围之内的要求，且不会对不锈钢部件本身造成影响，矫正效果明显，其检验治具与矫正治具可以多次使用，过渡块上的不同组孔位与滑动导轨四爪气缸相连，可以调节胎具的最外圈尺寸，从而能够矫正不同尺寸部件，节省矫正费用。附图说明本技术共有附图5幅：图1为不锈钢部件侧视图；图2为检验治具俯视图；图3为不锈钢部件与检验治具装配图；图4为矫正治具部分结构俯视图；图5为不锈钢部件与矫正治具装配图；图中序号说明：1、检验治具；2、矫正凹槽；3、不锈钢部件；4、胎具；5、滑动导轨四爪气缸；6、过渡块；7、凸起外沿；8、插槽。具体实施方式本技术的实施例是在以本技术技术方案为前提下进行实施的，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本技术的保护范围不限于下述实施例。实施例1如图1-5所示，本实施例提供一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽，所述矫正凹槽的宽度为不锈钢部件允许形变的公差，通过观察部件在不接受外力的情况，能否能放入矫正凹槽为标准，检验产品的形变是否超出允许公差范围内；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。为了使矫正治具能够适应多个尺寸的不锈钢部件，所述过渡块上设有至少两组孔位。上述治具具体使用方法为：第一步是不锈钢部件检测，检测形变是否在允许公差范围之内，如图3所示，将不锈钢部件放置在检测治具上，如果可以放入矫正凹槽中，说明不锈钢部件的尺寸在允许公差范围之内，不需要矫正；如果在不需要外力的情况下，放不进矫正凹槽中，说明不锈钢部件的尺寸不在允许公差范围之内，需要矫正。第二步是把不锈钢部件放在矫正治具上，胎具底部设有向外延伸的凸起外沿，因此可随意放置不锈钢部件，不会掉落或者因放置位置不正导致矫正效果。打开三位四通手动气阀后，压缩空气进入滑动导轨四爪气缸，使四爪向外张开，带动胎具同时向四个方向张开，张开后4个胎具最大外径略大于待矫正不锈钢部件直径，且在允许公差范围内，通过胎具的支撑来完成不锈钢部件的形变矫正，可以保证矫正效果且不会损坏部件，所述胎具可以根据需要定制尺寸。实验验证，张开后不锈钢部件在胎具上放置24小时效果为最佳。矫正时间到达后，逆时针旋转三位四通手动气阀，该阀现在相当于真空阀作用，气体倒流，滑动导轨四爪气缸受力，向反方向运动，带动胎具缩小，完成矫正动作。本申请治具可以做到方便、可控、有效、不反弹。以上所述，仅为本技术创造较佳的具体实施方式，但本技术创造的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术创造披露的技术范围内，根据本技术创造的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术创造的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，其特征在于，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，其特征在于，包括检验治具、矫正治具，所述检验治具为圆环形结构，该圆环形结构顶部开有矫正凹槽；所述矫正治具包括滑动导轨四爪气缸、胎具和三位四通手动气阀，所述胎具内侧开有插槽，所述插槽内固定连接有过渡块，所述过渡块还与滑动导轨四爪气缸相连，所述滑动导轨四爪气缸通过三位四通手动气阀与压缩空气罐相连。


2.根据权利要求1所述一种检测并矫正半导体设备腔体内不锈钢部件的治具，其特征在于，所述矫正凹槽的最大直径为待矫正不锈钢部件允许公差的最大值，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张胜心，贺贤汉，朱光宇，王松朋，张正伟，李泓波，
申请(专利权)人：富乐德科技发展大连有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21