并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，该系统包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。本实用新型专利技术通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。提高测量精度。提高测量精度。

【技术实现步骤摘要】
并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统


[0001]本技术涉及光学检测领域，具体而言，涉及一种用于并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统。

技术介绍

[0002]随着科技的飞速发展，制造技术的不断进步，尤其随着精密加工技术的发展，对于零件微表面形貌的测量要求朝着更高的纵、横向分辨率，更好的稳定性，以及更快的速度等方面发展，源于共聚焦测量技术的并行彩色共聚焦测量方法成为了近年来国内外专家学者关注的热点。该方法不依赖于轴向层析技术，不需垂直于光轴方向的二维横向扫描，并且不需横向扫描即可一次获取多点数据，极大地缩短了检测时间，提高了测量效率。然而，由于轴外光易受像差的影响，致使彩色共聚焦测量系统中的色散器件只针对轴上光进行色散优化，轴外光线数据不被系统采用，使得系统横向测量范围受到限制，一定程度上限制了测量效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提出一种针对并行彩色共聚焦测量系统的轴外光色散误差消除系统，能解决并行彩色共聚焦测量系统中轴外光点误差问题。
[0004]为了实现本技术目的，本技术提出一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，包括并行彩色共聚焦测量系统和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统。所述并行彩色共聚焦测量系统包括复色光源、准直透镜、色散管镜、数字微镜器件、分光模块、载物模块和彩色相机。所述彩色相机连接于所述数据处理系统。
[0005]所述复色光源朝向同线的所述准直透镜、色散管镜和数字微镜器件。
[0006]所述复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，反馈出光点阵列通过分光模块照射在载物模块，被载物模块反射后的光点阵列再次透过分光模块进入彩色相机中，通过彩色相机传输到数据处理系统。
[0007]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统的进一步改进，所述分光模块包括第一透镜组、分光镜、第二透镜组和第三透镜组；所述分光镜的上方设置水平的所述第一透镜组，分光镜的左侧设置竖直的所述第二透镜组，分光镜的右侧设置竖直的所述第三透镜组；所述第一透镜组的上方设置所述数字微镜器件；所述第二透镜组的左侧设置所述载物模块；所述第三透镜组的右侧设置所述彩色相机。
[0008]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统的进一步改进，所述载物模块平行于所述第二透镜组。
[0009]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统的进一步改进，被载物模块反射后的光点阵列透过分光模块进入彩色相机的光路中心为光轴，所述载物模块搭载被测物沿光轴方向移动。
[0010]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统的进一步改
进，所述载物模块为沿光轴方向移动的二维运动载物台。
[0011]本技术还提出一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除方法，应用于上述的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统。本方法中，所述数据处理系统获取所述并行彩色共聚焦测量系统采集到的被测物表面信息，并对获取到的被测物表面数据信息进行分析，再对轴外光色散误差进行补偿消除，以解决并行彩色共聚焦测量系统中轴外光点误差问题，得到准确的被测物表面形貌特征。
[0012]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除方法的进一步改进，所述并行彩色共聚焦测量系统采集被测物表面信息的过程为：
[0013]所述复色光源发出的单束光依次透过准直透镜和色散管镜到达数字微镜器件中，数字微镜器件将单光束调制成光点阵列，反馈出的光点阵列透过第一透镜组、经过分光镜反射、透过第二透镜组照射在载物模块上的被测物表面，被测物表面反射后的光点阵列透过第二透镜组、分光镜和第三透镜组，进入彩色相机中。
[0014]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除方法的进一步改进，所述对获取到的被测物表面数据信息进行分析，再对轴外光色散误差进行补偿消除，通过如下步骤实现：
[0015]S1，所述数据处理系统对所获取的光点阵列信息，分析每个光点对应的波长值，绘制“光点位置
‑
波长”曲面；
[0016]S2，以光轴上光点波长值为标准，计算光轴外光点相对于光轴上光点波长值偏移量，利用光点的波长值偏移量和对应的光点位置绘制“光点
‑
误差”曲面；
[0017]S3，利用步骤S2所获得的“光点
‑
误差”曲面，对测量数据进行误差补偿，获得误差补偿过后的被测物表面形貌特征。
[0018]作为本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除方法的进一步改进，步骤S1中，所述载物模块搭载被测物沿光轴方向移动，每移动一个位置，所述彩色相机接收被测物反馈的光点阵列信息，传输至所述数据处理系统，所述数据处理系统对每个位置对应获得的光点阵列信息进行分析，并通过步骤S2和步骤S3获得最佳的被测物表面形貌特征。
[0019]现有并行彩色共聚焦测量方法没有对轴外光色散误差进行分析，只针对轴上光色散进行研究。本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，通过对光轴外的光色散数据的分析补偿，可以消除由于轴外光色散引起的系统误差，解决并行彩色共聚焦系统轴外光色散优化问题，提高测量精度。
附图说明
[0020]为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0021]图1是本技术并行彩色共聚焦测量系统图。
[0022]图2是理想光学系统“光点
‑
波长”曲面图。
[0023]图3是实际测量系统轴外光同一波长的光线与轴上光同一波长的光线聚焦在不同
高度的“光点
‑
波长”曲面图。
[0024]图4是轴外光色散误差补偿前、后的示意图。
[0025]图中标记：并行彩色共聚焦测量系统100、数据处理系统200、复色光源101、准直透镜102、色散管镜103、数字微镜器件104、分光模块105、载物模块106和彩色相机107、第一透镜组105a、分光镜105b、第二透镜组105c、第三透镜组105d。
具体实施方式
[0026]在介绍本技术的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统之前，先对并行彩色共聚焦系统测量原理进行说明。
[0027]彩色共聚焦测量是以复色光作为光源，复色光发出的光束中，不同波长的光线被色散物镜汇聚在光轴方向上的不同位置，随着被测物面高度的变化，进入到光电探测器的光线波长也发生改变，利用光电探测器获取从被测物面反射回来的光点的光谱信息，从而可获得被测物表面的轴向位置信息。并行彩色共聚焦测量技术是在光路中引入一个光分束器件，将单光束分割为多光束，每一个光束即可看作一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，其特征在于：包括并行彩色共聚焦测量系统(100)和能对测量数据进行误差补偿的数据处理系统(200)；所述并行彩色共聚焦测量系统(100)包括复色光源(101)、准直透镜(102)、色散管镜(103)、数字微镜器件(104)、分光模块(105)、载物模块(106)和彩色相机(107)；所述彩色相机(107)连接于所述数据处理系统(200)；所述复色光源(101)朝向同线的所述准直透镜(102)、色散管镜(103)和数字微镜器件(104)；所述复色光源(101)发出的单束光依次透过准直透镜(102)和色散管镜(103)到达数字微镜器件(104)中，反馈出光点阵列通过分光模块(105)照射在载物模块(106)，被载物模块(106)反射后的光点阵列再次透过分光模块(105)进入彩色相机(107)中，通过彩色相机(107)传输到数据处理系统(200)。2.根据权利要求1所述的并行彩色共聚焦测量的轴外光色散误差消除系统，其特征在于：所述分光模块(105)包括第一透镜组(105a)、分光镜(105b)、第二透镜组(105c)和第三透镜组(105d)；所述分光镜(105b)的上方设置水平的所述第一透镜组(105a)，分光镜(105b)的左侧设置竖直的所述第二透镜组(105c)，分光镜(105b)的右侧设置竖直的所述第三透镜组(...

【专利技术属性】
技术研发人员：余卿，张一，肖泽帧，程方，王寅，尚文键，张雅丽，邹景武，王翀，董声超，陈涛，
申请(专利权)人：华侨大学，
类型：新型
国别省市：