移载装置、光学检测设备及光学检测方法制造方法及图纸

技术编号:29289067 阅读:64 留言:0更新日期:2021-07-17 00:15
本发明专利技术公开了一种移载装置、光学检测设备及光学检测方法,移载装置包括一吸附载台及一承载装置。吸附载台包括有一载台主体,及设置在载台主体一侧的一第一抬升单元及一第二抬升单元,第一抬升单元设置有一第一吸附单元,第二抬升单元设置有一第二吸附单元,承载装置承载吸附载台并在一移动区间内移动。抬升单元彼此间错位排列以使吸附单元分别对准至相互不重叠的一第一位置及一第二位置上,分别令第二抬升单元下降且第一抬升单元上升以在第一位置上接触待测物,或令第一抬升单元下降且第二抬升单元上升从而在第二位置上接触待测物。二抬升单元上升从而在第二位置上接触待测物。二抬升单元上升从而在第二位置上接触待测物。

Transfer device, optical detection equipment and optical detection method

【技术实现步骤摘要】
移载装置、光学检测设备及光学检测方法


[0001]本专利技术涉及一种吸附移载装置、光学检测设备以及光学检测方法,特别是指一种能够吸附料片不同位置以对料片进行全面光学检测的移载装置、光学检测设备及光学检测方法。

技术介绍

[0002]随着科技日新月异,电子产品广泛应用于生活中,而为求提高电子产品及其零件的精密度,各种相关的检测设备也因应而生。于自动化工业制程中,会使用移载设备进行对象的移载作业,以将对象移载至工作平台或检测位置,从而进行各种光学检测或检测后的分类作业。
[0003]于常规技术中,作为面板、基板或其他待检测物品的设备多设置有一放置待检测物品的工作载台,以对待检测物品进行相关的光学检测。目前部分方式是通过提供气流将待检测物品悬浮及承载。
[0004]然而,使用气流承载待检测物品时,由于物品悬浮在载台的上方,必须设置接触于物品的定位结构,以将物品固定在检测位置上,但是摄像机对物品进行取像时,定位结构与物品的接触位置会让图像出现遮蔽区域,导致图像出现无法检测的区域(不检区),而必须进行二次检测。再者,使用气流承载物品进行背面检测时,因为承靠吸附面必须与物品检测面相反,因此在进行背检时容易有物品掉落风险。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的在于提供一种移载装置,包括一吸附载台以及一承载装置。吸附载台包括有一载台主体、以及一设置在载台主体侧的一第一抬升单元以及一第二抬升单元。第一抬升单元上设置有一第一吸附单元,第二抬升单元上设置有一第二吸附单元。承载装置承载吸附载台,承载装置在一移动区间内移载吸附载台。第一抬升单元与第二抬升单元彼此间错位排列,使第一吸附单元与第二吸附单元分别对准至相互不重叠的一第一位置及一第二位置上。吸附载台具有一第一抬升状态,令第二抬升单元下降且第一抬升单元上升,从而在第一位置上接触一待测物,以及一第二抬升状态,令第一抬升单元下降且第二抬升单元上升,从而在第二位置上接触待测物。
[0006]本专利技术另提供一种光学检测设备,包括一如上所述的移载装置、一图像捕获设备以及一图像处理装置。图像捕获设备设置在移载装置的一承载装置的一侧。图像捕获设备在吸附载台处于第一抬升状态时,拍摄待测物以获得一第一图像。图像捕获设备在吸附载台处于第二抬升状态时,拍摄待测物以获得一第二图像。图像处理装置于获得第一图像及第二图像后,将第一图像中第一位置以外的未遮蔽区域与第二图像中第二位置以外的未遮蔽区域结合后输出一合并图像。
[0007]本专利技术另提供一种光学检测设备,包括一第一面取像设备以及一第二面取像设备。第一面取像设备包括一如上所述的光学检测设备,用以拍摄待测物的一第一面的图像、
以及一设置在移载装置一侧的顶升平台,用以抬升移载装置。第二面取像设备包括一如上所述的光学检测设备。第二面取像设备倒置设置在顶升平台上侧,用以吸附待测物并用以拍摄待测物的一第二面的图像。
[0008]本专利技术另提供一种光学检测方法,包括以下步骤:提供一第一移载装置,用以承载一待测物;驱动第一移载装置的一第二抬升单元下降且一第一抬升单元上升,从而在一第一位置吸附待测物;驱动第一移载装置沿一前向路径移动以令待测物经过一第一图像捕获设备的一拍摄区域;通过第一图像捕获设备拍摄待测物的一第一面的一第一图像;驱动第一移载装置的第一抬升单元下降且第二抬升单元上升,从而在一第二位置吸附待测物;驱动第一移载装置沿一反向路径移动以令待测物再次经过第一图像捕获设备的拍摄区域;通过第一图像捕获设备拍摄待测物的第一面的一第二图像;以及通过一第一图像处理装置接收并合并自第一图像捕获设备所取得之待测物的第一面的第一图像与第二图像。
[0009]本专利技术的移载装置通过切换第一抬升单元以及第二抬升单元的抬升状态,让第一抬升单元或第二抬升单元接触在待测物的不同位置,从而消除待测物图像的不检区。同时通过第一抬升单元或第二抬升单元对待测物的多个位置进行吸附,增加吸附面积并且提升高速移载时的稳固性。
附图说明
[0010]图1为本专利技术双面式光学检测设备的侧面示意图。
[0011]图2为本专利技术第一移载装置的外观示意图(一)。
[0012]图3为本专利技术第一移载装置的外观示意图(二)。
[0013]图4为本专利技术第一移载装置处于第一状态的侧面示意图。
[0014]图5为本专利技术第一移载装置处于第二状态的侧面示意图。
[0015]图6-1至图6-4为本专利技术双面式光学检测设备的作动示意图(一)至(四)。
[0016]图7-1至图7-2为本专利技术双面式光学检测设备的流程示意图(一)至(二)。
[0017]附图标记说明:
[0018]100
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光学检测设备
[0019]A1
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第一面取像设备
[0020]A2
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第二面取像设备
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第一移载装置
[0022]2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第一图像捕获设备
[0023]3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第一图像处理装置
[0024]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第二移载装置
[0025]5ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第二图像捕获设备
[0026]6ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
第二图像处理装置
[0027]11
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吸附载台
[0028]12
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承载装置
[0029]111
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载台主体
[0030]112、412
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第一抬升单元
[0031]113、413
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第二抬升单元
[0032]121
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架体
[0033]122
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轨道
[0034]123
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驱动装置
[0035]1121
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支架
[0036]1122、1132
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驱动单元
[0037]1131
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支架
[0038]S1
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第一吸附单元
[0039]S2
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第二吸附单元
[0040]S11、S21
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真空吸附装置
[0041]S12、S22
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气嘴
[0042]S121、S221
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ<本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种移载装置,其特征在于,包括:一吸附载台,包括有一载台主体、以及设置在所述载台主体一侧的一第一抬升单元以及一第二抬升单元,所述第一抬升单元上设置有一第一吸附单元,所述第二抬升单元上设置有一第二吸附单元;以及一承载装置,承载所述吸附载台,所述承载装置在一移动区间内移载所述吸附载台;所述第一抬升单元与所述第二抬升单元彼此间错位排列,使所述第一吸附单元与所述第二吸附单元分别对准至相互不重叠的一第一位置及一第二位置上,所述吸附载台具有一第一抬升状态,令所述第二抬升单元下降且所述第一抬升单元上升,从而在所述第一位置上接触所述待测物,以及一第二抬升状态,令所述第一抬升单元下降且所述第二抬升单元上升,从而在所述第二位置上接触所述待测物。2.如权利要求1所述的移载装置,其特征在于:所述第一吸附单元包括一真空吸附装置以及多个设置在所述第一抬升单元上的气嘴,所述气嘴分别通过管线信道连接至所述真空吸附装置;每一气嘴的表面设置有一保护垫,所述保护垫对应于所述气嘴的位置上设置有至少一通孔;所述第二吸附单元包括一真空吸附装置以及多个设置在所述第二抬升单元上的气嘴,所述气嘴分别通过管线信道连接至所述真空吸附装置;以及每一气嘴的表面设置有一保护垫,所述保护垫对应于所述气嘴的位置上设置有至少一通孔。3.如权利要求1所述的移载装置,其特征在于:所述第一抬升单元包括一支架、以及一驱动所述支架上升或下降的驱动单元;以及所述第二抬升单元包括一支架、以及一驱动所述支架上升或下降的驱动单元。4.一种光学检测设备,其特征在于,包括:一如权利要求1-3中任一项所述的移载装置;一图像捕获设备,设置在所述移载装置的所述承载装置的一侧,所述图像捕获设备在所述吸附载台处于所述第一抬升状态时拍摄所述待测物以获得一第一图像,所述图像捕获设备在所述吸附载台处于所述第二抬升状态时拍摄所述待测物以获得一第二图像;以及一图像处理装置,所述图像处理装置于获得所述第一图像及所述第二图像后,将所述第一图像中所述第一位置以外的未遮蔽区域与所述第二图像中所述第二位置以外的未遮蔽区域结合后输出一合并图像。5.如权利要求4所述的光学检测设备,其特征在于,所述承载装置具有一第一动作状态,所述吸附载台处于所述第一抬升状态,将所述待测物朝一前向路径输送以通过所述图像捕获设备拍摄所述待测物的所述第一图像,以及一第二动作状态,所述吸附载台处于第二动作状态,将所述待测物朝一反向路径输送以通过所述图像捕获设备拍摄所述待测物的所述第二图像。6.一种光学检测设备,其特征在于,包括:一第一面取像设备,包括一如权利要求4-5中任一项所述的光学检测设备,用以拍摄所...

【专利技术属性】
技术研发人员:古振男曹凯翔高思介
申请(专利权)人:由田新技股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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