一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备制造技术

本发明专利技术公开了一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，涉及电子零件生产技术领域，具体为底座、喷淋机构、自锁限位机构、同步升降机构和流量控制机构，所述底座两侧设置有支架，所述定位环远离导柱一端设置有喷淋头，该一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，通过设置有喷淋机构，自锁限位机构的设置解决了设备人员在进行喷淋头安装时，因缺乏准确的导向定位导致大多是由人工用目测的方式来确保垂直的问题，自锁限位机构既能实现导柱经由定位环对喷淋头的具有明确导向的快速对接，又能快速实现旋翼与定位环的锁止，同时自锁的结构设置防止工作流程中喷淋头与主体之间的异常脱落，可控条件下的解锁流程快速简便，适用性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备
本专利技术涉及电子零件生产
，具体为一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备。
技术介绍
随着时代的发展，手机在人们日常生活的方方面面都起着非常重要的作用，而在手机的组成部件中，三轴加速度传感器被公认为是如今多数技术例如微信步数心脏的加速器，原件内部是有三个维度来决定加速度的方向，精度非常高，而功耗几乎可以不计，十分强大，这一特性决定了其需要在加工中保持绝对的加工精度，是对产品设计及加工精度的一项严峻考验。现有的三轴传感器生产设备，常见问题有：蚀刻设备喷淋管的管道畅通是确保蚀刻均匀度的必备条件之一，设备人员在进行喷淋头定位安装时，大多是用目测的方式来确保垂直，用目测的方式很费时间，且很难确保绝对垂直，影响喷淋管的喷淋效果，同时现有的喷淋管设备雾化具有水流扩散面积小的缺点，此外现有蚀刻设备无法对加工流程中产生的废弃酸液和冷却液进行处理，提升生产成本的同时造成对生产环境的污染以及对使用者操作安全造成隐患。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，包括底座、喷淋机构、自锁限位机构、同步升降机构和流量控制机构，所述底座两侧设置有支架，且支架一侧设置有控制端，所述支架顶端一侧设置有酸剂料盒，且酸剂料盒顶端连接有输送带，所述支架顶端一侧设置有冷却液料盒，且支架内侧两端设置有支撑杆，所述支撑杆顶端一侧设置有玻璃罩板，且支架一侧设置有风机，所述风机一端连接有热空气流道，且热空气流道底端开设有风口，所述支架中端设置有移动梁，且移动梁中端设置有喷淋机构，所述喷淋机构中端设置有机架，且机架一侧设置有转换阀，所述机架中端一侧设置有定位机构，且机架底端连接有导柱，所述导柱远离机架一端设置有定位环，且定位环表端开设有自锁限位机构，所述定位环远离导柱一端设置有喷淋头，且喷淋头顶端开设有腔体，所述腔体一侧设置有喷颈，且喷颈表端开设有螺旋槽，所述喷颈底端连接有喷口，且喷颈表端开设有通孔，所述通孔远离螺旋槽一侧设置有空气流道，且空气流道底端设置有锥形夹块，所述喷淋机构底端设置有同步升降机构，所述底座顶端开设有下水口，且下水口底端设置有液体流道，所述液体流道底端一侧连接有流量控制机构，且流量控制机构中端设置有导管，所述导管内腔设置有蝶阀，且蝶阀一侧设置有第一摆动板，所述第一摆动板一侧设置有合页，且第一摆动板一侧设置有轴套，所述蝶阀远离第一摆动板一侧设置有第二摆动板，且第二摆动板一侧设置有衬套，所述衬套内腔设置有连接架，且连接架底端设置有驱动凸轮，所述驱动凸轮底端固定有接触块，所述导管顶端一侧固定有车体，且车体内侧开设有滑槽，所述车体顶端设置有气动杆，且气动杆底端一侧设置有滑块，所述滑块内腔设置有固定销，所述流量控制机构底端连接有酸液回收框，且流量控制机构底端连接有冷却液回收框。可选的，所述支架和底座之间为焊接一体式结构，且支架和控制端之间通过轴承相连接，构成可旋转结构，所述玻璃罩板通过可伸缩支撑杆与支架相连接，构成可伸缩闭合结构，所述风机通过热空气流道与风口相连接，且热空气流道内腔设置有加热机构，所述热空气流道底端均匀开设有风口，且风口朝向倾斜向下指向待加工物料所处升降座方向。可选的，所述喷淋机构通过移动梁与支架相连接，构成活动连接结构，且酸剂料盒和冷却液料盒分别通过输送带与喷淋机构相连接，所述定位机构开设于机架中端，且定位机构侦测位置不受机架遮挡，所述喷淋头通过定位环和自锁限位机构与导柱相连接，构成可拆卸结构，且喷淋头通过转换阀和输送带分别与酸剂料盒和冷却液料盒相连接。可选的，所述自锁限位机构表端设置有框架，且框架顶端设置有把手，所述框架顶端设置有调节柄，且调节柄底端设置有连接件，所述连接件底端设置有螺纹毂，且螺纹毂表端设置有旋翼，所述螺纹毂底端设置有推杆，且推杆一侧设置有翼板，所述推杆底端连接有弹簧，且弹簧底端开设有复位槽。可选的，所述调节柄通过推杆与弹簧相连接，构成弹性结构，且推杆通过螺纹毂内部开设空腔与调节柄相连通，所述螺纹毂与框架为一体式结构，且旋翼与螺纹毂之间为可旋转活动连接结构，所述翼板通过弹性轴承与框架相连接，构成可旋转弹性结构，且推杆通过框架与翼板相连接，构成传动夹紧机构，所述复位槽开槽尺寸与推杆尺寸相吻合。可选的，所述腔体内壁均匀开设有螺旋槽，且螺旋槽的槽数至少为一头且旋向一致，所述喷颈内壁均匀开设有通孔，且通孔由外向里倾斜指向喷口方向，所述喷口为倒锥形的开放式设计，且喷口与锥形夹块之间开设有空气流道，所述空气流道通过通孔与喷颈相连通。可选的，所述同步升降机构底端一侧设置有动力源，且动力源顶端设置有支座，所述动力源侧面固定有固定翼，且固定翼远离动力源一侧连接有摇臂，所述摇臂远离固定翼一侧设置有连杆，且连杆顶端一侧固定有驱动销，所述驱动销顶端设置有升降座，且升降座两侧设置有压板，所述升降座侧面设置有挡板。可选的，所述支座与底座之间为一体式结构，所述动力源通过摇臂、连杆和驱动销与升降座相连接，构成传动结构，且动力源与固定翼之间为一体式结构，所述固定翼与摇臂之间通过轴承相连接，构成可旋转结构，且摇臂和连杆之间通过轴承相连接，构成可旋转结构，所述驱动销与升降座之间为一体式结构，且升降座通过底部设置有气缸与压板相连接，构成可旋转夹紧结构，所述升降座中端开设有工件槽，且工件槽尺寸与待加工单晶硅圆盘物料尺寸相吻合，所述升降座四周开设有挡板，且挡板高度小于压板内腔尺寸的同时大于升降座中端工件槽高度。可选的，所述底座均匀开设有下水口，且下水口通过液体流道和流量控制机构分别与酸液回收框和冷却液回收框相连接，所述液体流道与酸液回收框和冷却液回收框连接处均设置有导管，且导管内腔均设置有蝶阀，所述蝶阀与导管之间紧密贴合。可选的，所述第一摆动板通过轴套与第二摆动板一侧的连接架相连接，且第二摆动板通过衬套与第一摆动板一侧的合页相连接，所述气动杆通过滑块、固定销、接触块和驱动凸轮与第一摆动板顶端设置的合页相连接，构成传动结构，且滑块通过滑槽与车体相连接，构成活动连接结构，所述车体与导管为焊接一体式结构，所述滑块与固定销为焊接一体式结构。本专利技术提供了一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，具备以下有益效果：1.该一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，通过设置有喷淋机构，转换阀的设置，可以根据使用者实际需求快速的切换酸液和冷却液的供给，配合实现定位蚀刻及清洗烘干的流程要求，自锁限位机构的设置解决了设备人员在进行喷淋头安装时，因缺乏准确的导向定位导致大多是由人工用目测的方式来确保垂直的问题，用目测的方式很费时间，且很难确保绝对垂直，影响喷淋管的喷淋效果，自锁限位机构既能实现导柱经由定位环对喷淋头的具有明确导向的快速对接，又能快速实现旋翼与定位环的锁止，同时自锁的结构设置防止工作流程中喷淋头与主体之间的异常脱落，可控条件下的解锁流程快速简便，适用性更强。2.该一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，包括底座（1）、喷淋机构（13）、自锁限位机构（19）、同步升降机构（28）和流量控制机构（31），其特征在于：所述底座（1）两侧设置有支架（2），且支架（2）一侧设置有控制端（3），所述支架（2）顶端一侧设置有酸剂料盒（4），且酸剂料盒（4）顶端连接有输送带（5），所述支架（2）顶端一侧设置有冷却液料盒（6），且支架（2）内侧两端设置有支撑杆（7），所述支撑杆（7）顶端一侧设置有玻璃罩板（8），且支架（2）一侧设置有风机（9），所述风机（9）一端连接有热空气流道（10），且热空气流道（10）底端开设有风口（11），所述支架（2）中端设置有移动梁（12），且移动梁（12）中端设置有喷淋机构（13），所述喷淋机构（13）中端设置有机架（14），且机架（14）一侧设置有转换阀（15），所述机架（14）中端一侧设置有定位机构（16），且机架（14）底端连接有导柱（17），所述导柱（17）远离机架（14）一端设置有定位环（18），且定位环（18）表端开设有自锁限位机构（19），所述定位环（18）远离导柱（17）一端设置有喷淋头（20），且喷淋头（20）顶端开设有腔体（21），所述腔体（21）一侧设置有喷颈（22），且喷颈（22）表端开设有螺旋槽（23），所述喷颈（22）底端连接有喷口（24），且喷颈（22）表端开设有通孔（25），所述通孔（25）远离螺旋槽（23）一侧设置有空气流道（26），且空气流道（26）底端设置有锥形夹块（27），所述喷淋机构（13）底端设置有同步升降机构（28），所述底座（1）顶端开设有下水口（29），且下水口（29）底端设置有液体流道（30），所述液体流道（30）底端一侧连接有流量控制机构（31），且流量控制机构（31）中端设置有导管（32），所述导管（32）内腔设置有蝶阀（33），且蝶阀（33）一侧设置有第一摆动板（34），所述第一摆动板（34）一侧设置有合页（35），且第一摆动板（34）一侧设置有轴套（36），所述蝶阀（33）远离第一摆动板（34）一侧设置有第二摆动板（37），且第二摆动板（37）一侧设置有衬套（38），所述衬套（38）内腔设置有连接架（39），且连接架（39）底端设置有驱动凸轮（40），所述驱动凸轮（40）底端固定有接触块（41），所述导管（32）顶端一侧固定有车体（42），且车体（42）内侧开设有滑槽（43），所述车体（42）顶端设置有气动杆（44），且气动杆（44）底端一侧设置有滑块（45），所述滑块（45）内腔设置有固定销（46），所述流量控制机构（31）底端连接有酸液回收框（47），且流量控制机构（31）底端连接有冷却液回收框（48）。/n...

【技术特征摘要】
1.一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，包括底座（1）、喷淋机构（13）、自锁限位机构（19）、同步升降机构（28）和流量控制机构（31），其特征在于：所述底座（1）两侧设置有支架（2），且支架（2）一侧设置有控制端（3），所述支架（2）顶端一侧设置有酸剂料盒（4），且酸剂料盒（4）顶端连接有输送带（5），所述支架（2）顶端一侧设置有冷却液料盒（6），且支架（2）内侧两端设置有支撑杆（7），所述支撑杆（7）顶端一侧设置有玻璃罩板（8），且支架（2）一侧设置有风机（9），所述风机（9）一端连接有热空气流道（10），且热空气流道（10）底端开设有风口（11），所述支架（2）中端设置有移动梁（12），且移动梁（12）中端设置有喷淋机构（13），所述喷淋机构（13）中端设置有机架（14），且机架（14）一侧设置有转换阀（15），所述机架（14）中端一侧设置有定位机构（16），且机架（14）底端连接有导柱（17），所述导柱（17）远离机架（14）一端设置有定位环（18），且定位环（18）表端开设有自锁限位机构（19），所述定位环（18）远离导柱（17）一端设置有喷淋头（20），且喷淋头（20）顶端开设有腔体（21），所述腔体（21）一侧设置有喷颈（22），且喷颈（22）表端开设有螺旋槽（23），所述喷颈（22）底端连接有喷口（24），且喷颈（22）表端开设有通孔（25），所述通孔（25）远离螺旋槽（23）一侧设置有空气流道（26），且空气流道（26）底端设置有锥形夹块（27），所述喷淋机构（13）底端设置有同步升降机构（28），所述底座（1）顶端开设有下水口（29），且下水口（29）底端设置有液体流道（30），所述液体流道（30）底端一侧连接有流量控制机构（31），且流量控制机构（31）中端设置有导管（32），所述导管（32）内腔设置有蝶阀（33），且蝶阀（33）一侧设置有第一摆动板（34），所述第一摆动板（34）一侧设置有合页（35），且第一摆动板（34）一侧设置有轴套（36），所述蝶阀（33）远离第一摆动板（34）一侧设置有第二摆动板（37），且第二摆动板（37）一侧设置有衬套（38），所述衬套（38）内腔设置有连接架（39），且连接架（39）底端设置有驱动凸轮（40），所述驱动凸轮（40）底端固定有接触块（41），所述导管（32）顶端一侧固定有车体（42），且车体（42）内侧开设有滑槽（43），所述车体（42）顶端设置有气动杆（44），且气动杆（44）底端一侧设置有滑块（45），所述滑块（45）内腔设置有固定销（46），所述流量控制机构（31）底端连接有酸液回收框（47），且流量控制机构（31）底端连接有冷却液回收框（48）。


2.根据权利要求1所述的一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述支架（2）和底座（1）之间为焊接一体式结构，且支架（2）和控制端（3）之间通过轴承相连接，构成可旋转结构，所述玻璃罩板（8）通过可伸缩支撑杆（7）与支架（2）相连接，构成可伸缩闭合结构，所述风机（9）通过热空气流道（10）与风口（11）相连接，且热空气流道（10）内腔设置有加热机构，所述热空气流道（10）底端均匀开设有风口（11），且风口（11）朝向倾斜向下指向待加工物料所处升降座（2807）方向。


3.根据权利要求1所述的一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述喷淋机构（13）通过移动梁（12）与支架（2）相连接，构成活动连接结构，且酸剂料盒（4）和冷却液料盒（6）分别通过输送带（5）与喷淋机构（13）相连接，所述定位机构（16）开设于机架（14）中端，且定位机构（16）侦测位置不受机架（14）遮挡，所述喷淋头（20）通过定位环（18）和自锁限位机构（19）与导柱（17）相连接，构成可拆卸结构，且喷淋头（20）通过转换阀（15）和输送带（5）分别与酸剂料盒（4）和冷却液料盒（6）相连接。


4.根据权利要求1所述的一种具备定位蚀刻功能的三轴传感器生产设备，其特征在于：所述自锁限位机构（19）表端设置有框架（1901），且框架（1901）顶端设置有把手（1902），所述框架（1901）顶端设置有调节柄（1903），且调节柄（1903）底端设置有连接件（1904），所述连接件（1904）底端设置有螺纹毂（1905），且螺纹毂（1905）表端设置有旋翼（190...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄红梅，孙锦民，陈晨，
申请(专利权)人：东莞市史雷帝三维数控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44