固定装置及退火炉制造方法及图纸

本公开提供了一种固定装置及退火炉。固定装置用于对炉子上的温度控制装置的控温热电偶进行固定，固定装置包括支撑板和连接组件，支撑板固定在炉子的外侧，连接组件的一端固定连接于支撑板的远离炉子的一侧，另一端用于固定控温热电偶，其中，连接组件能够沿控温热电偶的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶伸入炉内的深度来调节炉内的温度。本公开的固定装置将控温热电偶固定在炉子上，有效地防止了控温热电偶相对炉子晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性。

【技术实现步骤摘要】
固定装置及退火炉
本公开涉及化工
，尤其涉及一种固定装置及退火炉。
技术介绍
在晶片退火过程中，需要精确控制退火炉不同时间阶段的温度。为了调整退火炉内的温度，退火炉设有温度调节装置，温度调节装置包括控温热电偶，温度调节装置根据控温热电偶插入退火炉内的深度来控制炉子的温度。现有的退火炉设有孔，控温热电偶直接插在孔上，这种固定控温热电偶的方式不稳定，使得控温热电偶的位置容易发生变动，一旦控温热电偶的位置发生变动，则温度调节装置会根据控温热电偶的位置变动调节退火炉内的温度，从而引起退火炉温度不需要的改变，影响晶片的成型质量。
技术实现思路
鉴于
技术介绍
中存在的问题，本公开的目的在于提供一种固定装置及退火炉，当固定装置用于退火炉上时，其能够对控温热电偶进行有效地固定，提高退火炉的温度调节的稳定性和准确性。为了实现上述目的，本公开提供了一种固定装置，固定装置用于对炉子上的温度控制装置的控温热电偶进行固定，固定装置包括支撑板和连接组件，支撑板固定在炉子的外侧，连接组件的一端固定连接于支撑板的远离炉子的一侧，另一端用于固定控温热电偶，其中，连接组件能够沿控温热电偶的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶伸入炉内的深度来调节炉内的温度。在一实施例中，连接组件包括定位件和连接件，连接件的一端固定连接于支撑板，定位件固定连接于连接件的另一端并与支撑板间隔开，定位件的与连接件相反的一侧用于固定控温热电偶。在一实施例中，连接件包括第一螺栓，定位件设有与第一螺栓配合的第一螺孔，支撑板设有与第一螺栓配合的第二螺孔，第一螺栓穿过定位件的第一螺孔并将定位件固定于第一螺栓的上部，第一螺栓的下端螺纹连接于支撑板的第二螺孔。在一实施例中，连接件还包括与第一螺栓配合的第一螺母，第一螺母设置于支撑板的靠近炉子的一侧并与第一螺栓的下端螺纹连接。在一实施例中，定位件包括第一定位部和与第一定位部彼此独立的第二定位部，第一定位部固定于连接件的上部；沿与连接件垂直的方向，第二定位部固定连接于第一定位部的一端以将控温热电偶夹设在第一定位部与第二定位部之间。在一实施例中，定位件还包括第一紧固件，第一定位部设有第一接合孔，第二定位部设有与第一接合孔对应的第二接合孔，第一紧固件穿过第二接合孔并连接于第一接合孔以将第二定位部与第一定位部固定连接。在一实施例中，固定装置还包括测量件，测量件设置在连接件的一侧，测量件设有刻度以用于测量连接件上下移动的距离。在一实施例中，支撑板设有开孔，开孔用于供控温热电偶穿过。在一实施例中，支撑板形成有由支撑板的下表面向上凹入的收容空间，收容空间用于填充保温材料。本公开还提供了一种退火炉，其包括炉子、温度调节装置和上述的固定装置。本公开的有益效果如下：本公开的固定装置将控温热电偶固定在炉子上，有效地防止了控温热电偶相对炉子晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性；此外，固定装置还能够沿控温热电偶的延伸方向进行移动，使得操作者能够根据晶片退火过程中的温度变化的需求来调节控温热电偶插入炉子内的深度，进而使得温度控制装置根据控温热电偶的深度变化及时调整炉子内的温度，满足晶片退火过程中不同时间段的温度需求。附图说明图1是根据本公开的固定装置的立体示意图。图2是根据本公开的退火炉的局部剖视图。其中，附图标记说明如下：F固定装置213第二定位部1支撑板214第一紧固件11第二螺孔22连接件12收容空间221第一螺栓13开孔222第一螺母14固定部3测量件141固定孔4第二紧固件15倒U形部TC控温热电偶2连接组件TC1控温电偶丝21定位件TC2超温报警电偶丝211第一螺孔A炉子212第一定位部H第三接合孔具体实施方式附图示出本公开的实施例，且将理解的是，所公开的实施例仅仅是本公开的示例，本公开可以以各种形式实施，因此，本文公开的具体细节不应被解释为限制，而是仅作为权利要求的基础且作为表示性的基础用于教导本领域普通技术人员以各种方式实施本公开。如图1和图2所示，根据本公开的退火炉包括炉子A、温度控制装置和固定装置F。温度控制装置包括控温热电偶TC和与控温热电偶TC通信连接的控制器(未示出)，控制器能够根据控温热电偶TC插入炉子A内的深度对应地调整炉子A内的温度，从而将退火炉内的温度调节至所需的温度，满足晶片退火过程中不同时间段的温度要求。在一实施例中，如图1所示，控温热电偶TC的内部设置有两根电偶丝，即，控温电偶丝TC1和超温报警电偶丝TC2，控温电偶丝TC1和超温报警电偶丝TC2通信连接于控制器，控温电偶丝TC1用于感应控温热电偶TC插入炉子A内的深度，从而控制器通过控温电偶丝TC1来调节退火炉所需达到的温度。超温报警电偶丝TC2用于监控炉子A内的温度以防止炉子A内的温度超过预先设定的最大值。如图1和图2所示，固定装置F用于对炉子A上的温度控制装置的控温热电偶TC进行固定。固定装置F包括支撑板1和连接组件2。支撑板1固定在炉子A的外侧。连接组件2的一端固定连接于支撑板1的远离炉子A的一侧，另一端用于固定控温热电偶TC，其中，连接组件2能够沿控温热电偶TC的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶TC伸入炉内的深度来调节炉内的温度。本公开的固定装置F将控温热电偶TC固定在炉子A上，有效地防止了控温热电偶TC相对炉子A晃动，提高了温度调节装置调节退火炉的温度的稳定性和准确性；此外，固定装置F还能够沿控温热电偶TC的延伸方向进行移动，使得操作者能够根据晶片退火过程中的温度变化的需求来调节控温热电偶TC插入炉子A内的深度，进而使得温度控制装置根据控温热电偶TC的深度变化及时调整炉子A内的温度，满足晶片退火过程中不同时间段的温度需求。如图2所示，支撑板1设有第二螺孔11，第二螺孔11用于与下文所述的第一螺栓221配合连接。在一实施例中，支撑板1形成有由支撑板1的下表面向上凹入的收容空间12，收容空间12用于填充保温材料，保温材料的设置能够对控温热电偶TC的处于收容空间12区域内的部分起到保温的作用，降低控温热电偶TC与炉内温度的温差，提高温度调节装置对退火炉调节温度的准确度。保温材料可以为保温棉。支撑板1还设有沿控温热电偶TC延伸的方向贯通的开孔13，开孔13供控温热电偶TC穿过。在一实施例中，支撑板1包括固定部14和倒U形部15，固定部14连接于倒U形部15的两侧，固定部14设有固定孔141，退火炉A上设有与固定孔141对应的第三接合孔H，固定装置F还包括第二紧固件4，第二紧固件4穿过固定部14的固定孔141并螺纹连接于第三接合孔H以将支撑板1固定于炉子A上。需要说明的是，支撑板1不限于设置成图1所示的形状，还可以设置成其它符合要求的形状，例如Z形，只要能够将连接组件2进行固定即可。连接组件2包括定位件21和连接件22。定位件21包括第一定位本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种固定装置(F)，其特征在于，固定装置(F)用于对炉子(A)上的温度控制装置的控温热电偶(TC)进行固定，/n固定装置(F)包括支撑板(1)和连接组件(2)，/n支撑板(1)固定在炉子(A)的外侧，/n连接组件(2)的一端固定连接于支撑板(1)的远离炉子(A)的一侧，另一端用于固定控温热电偶(TC)，/n其中，连接组件(2)能够沿控温热电偶(TC)的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶(TC)伸入炉内的深度来调节炉内的温度。/n

【技术特征摘要】
1.一种固定装置(F)，其特征在于，固定装置(F)用于对炉子(A)上的温度控制装置的控温热电偶(TC)进行固定，
固定装置(F)包括支撑板(1)和连接组件(2)，
支撑板(1)固定在炉子(A)的外侧，
连接组件(2)的一端固定连接于支撑板(1)的远离炉子(A)的一侧，另一端用于固定控温热电偶(TC)，
其中，连接组件(2)能够沿控温热电偶(TC)的延伸方向移动以使温度控制装置根据控温热电偶(TC)伸入炉内的深度来调节炉内的温度。


2.根据权利要求1所述的固定装置(F)，其特征在于，连接组件(2)包括定位件(21)和连接件(22)，
连接件(22)的一端固定连接于支撑板(1)，
定位件(21)固定连接于连接件(22)的另一端并与支撑板(1)间隔开，定位件(21)的与连接件(22)相反的一侧用于固定控温热电偶(TC)。


3.根据权利要求2所述的固定装置(F)，其特征在于，
连接件(22)包括第一螺栓(221)，
定位件(21)设有与第一螺栓(221)配合的第一螺孔(211)，
支撑板(1)设有与第一螺栓(221)配合的第二螺孔(11)，
第一螺栓(221)穿过定位件(21)的第一螺孔(211)并将定位件(21)固定于第一螺栓(221)的上部，第一螺栓(221)的下端螺纹连接于支撑板(1)的第二螺孔(11)。


4.根据权利要求3所述的固定装置(F)，其特征在于，连接件(22)还包括与第一螺栓(221)配合的第一螺母(222)，第一螺母(222)设置于支撑板(1)的靠近炉子(A)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐勇，吴春龙，吴晓桂，刘火阳，
申请(专利权)人：广东先导先进材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44