化学气象沉积设备制造技术

本申请公开一种化学气象沉积设备，所公开的化学气象沉积设备包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。上述方案能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。

【技术实现步骤摘要】
化学气象沉积设备
本申请涉及半导体制造
，尤其涉及一种化学气象沉积设备。
技术介绍
晶圆的制造包含许多不同的阶段，每一阶段又包含各种不同的制程，气相沉积是其中重要的制程之一。气相沉积过程主要包含利用加热或等离子体等各种能源，通过化学反应的方式，在反应器内使实验物质之间发生化学反应或与相应的气体发生化学反应生成另一种气态化合物的技术，然后经过物理载带或者化学迁移的方式，使得这种气态化合物被输送到与反应物质源区温度不同的相应区域进行沉积，从而形成固态沉积物。相关技术中，为降低化学气象沉积设备的成本，化学气象沉积设备会采用人工取放晶圆的方式，但是，化学气象沉积设备的载片台直径已经达到成年人手臂可触及范围的极限，导致载片台的直径无法继续增大，进而导致载片台上仅能够放置较少的晶圆，致使化学气象沉积设备的产能无法继续提高。同时，由于工艺温度的逐渐提高，工作人员在手动取放载片台远端的晶圆时，需要手臂跨越载片台，此时手臂受烘烤面积较大，而载片台温度通常在300℃至400℃时，手臂受高温烘烤严重，这将严重影响工作人员的健康。
技术实现思路
本申请公开一种化学气象沉积设备，能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。为解决上述技术问题，本申请是这样实现的：本申请实施例公开一种化学气象沉积设备，包括腔室本体、承载装置和驱动机构，其中：所述腔室本体形成容纳腔，所述承载装置设置于所述容纳腔中，且所述承载装置包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构相连，所述驱动机构用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。本申请采用的技术方案能够达到以下有益效果：本申请实施例公开的化学气象沉积设备中，驱动机构驱动承载部升起后旋转，以使承载部上放置晶圆的承载面的位置发生变化，在具体地工作过程中，此种方式使得承载面上的不同位置能够转动至与工作人员的手臂靠近的位置，从而使得工作人员能够较容易地取放承载面上的不同位置的晶圆，进而使得工作人员能够在面积较大的承载装置上取放晶圆，能够防止工作人员在取放晶圆的过程中造成工作人员手臂的烫伤；与此同时，此种方式也可以使得承载面具有较大的尺寸，也就是承载面的面积较大，从而使得承载面上可以放置较多的晶圆，以提高化学气象沉积设备的产能。附图说明图1为本申请第一种实施例公开的化学气象沉积设备的示意图；图2为本申请第二种实施例公开的化学气象沉积设备的示意图；图3为本申请实施例公开的承载装置在承载晶圆时的示意图；图4为本申请第一种实施例公开的化学气象沉积设备的部分结构示意图；图5为本申请第二种实施例公开的化学气象沉积设备的部分结构示意图。附图标记说明：100-腔室本体、110-第一通孔、120-抽气孔、130-进气孔；300-承载装置、310-载片台、320-加热器、321-第二通孔、322-出线部、330-支撑部、340-电连接件；400-驱动机构、410-驱动源、420-动力输出轴；500-容纳腔；600-密封件；700-晶圆。具体实施方式为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。下面结合附图，通过具体地实施例及其应用场景对本申请各个实施例公开的技术方案进行详细地说明。请参考图1至图5，本申请实施例公开一种化学气象沉积设备，所公开的化学气象沉积设备包括腔室本体100，承载装置300和驱动机构400。其中，腔室本体100为化学气象沉积设备的外围构件，腔室本体100能够为化学气象沉积设备的其他构件提供安装位置，且腔室本体100形成容纳腔500，具体地，腔室本体100可以包括基壳和端盖，基壳和端盖相连，以形成容纳腔500。本申请实施例中，承载装置300设置于容纳腔500中，且承载装置300包括承载部和基部，基部设置于腔室本体100的底壁上，承载部可转动地设置于基部上，此种情况下，承载部与基部之间可产生相对转动。承载部与驱动机构400相连，驱动机构400用于在取放片时驱动承载部升降和旋转，承载部背离基部的表面可以为承载面，承载面可用于放置晶圆700。当然，承载部的转动轴线可以垂直于承载面。在工作人员手动放置晶圆700的过程中，可以通过驱动机构400驱动承载部先升起后旋转，以使承载面的远端位置能够转动至与工作人员的手臂靠近的位置，请再次参考图3，从而使得工作人员能够较容易地取放承载面上的不同位置的晶圆700，进而使得工作人员能够在面积较大的承载装置300上取放晶圆700。具体地，请再次参考图3，工作人员站在图3中的A点取放晶圆700，在工作人员放满手臂可触及的区域后，驱动机构400驱动承载部升起后旋转一定角度，工作人员可继续取放晶圆700，循环此过程至整个承载面上放满晶圆700为止。通过上文可知，本申请实施例公开的化学气象沉积设备中，驱动机构400驱动承载部升起后旋转，以使承载部上放置晶圆700的承载面的位置发生变化，在具体地工作过程中，此种方式使得承载面上的不同位置能够转动至与工作人员的手臂靠近的位置，从而使得工作人员能够较容易地取放承载面上的不同位置的晶圆700，进而使得工作人员能够在面积较大的承载装置300上取放晶圆700，能够防止工作人员在取放晶圆700的过程中造成工作人员手臂的烫伤；与此同时，此种方式也可以使得承载面具有较大的尺寸，也就是承载面的面积较大，从而使得承载面上可以放置较多的晶圆700，以提高化学气象沉积设备的产能。进一步地，在一种可选的方案中，如图1所示，基部可以包括加热器320和支撑部330，承载部可以包括载片台310，载片台310可以具有上文所述的承载面，以用于放置晶圆700，支撑部330可以设置于腔室本体100的底壁上，用于支撑加热器320，加热器320与支撑部330连接，载片台310可转动地设置于加热器320上，且与加热器320电连接。此种情况下，支撑部330可以支撑于腔室本体100与加热器320之间，以使加热器320的安装位置较稳定，且载片台310可以通过与加热器320电连接而接地连接。同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学气象沉积设备，其特征在于，包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：/n所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。/n

【技术特征摘要】
1.一种化学气象沉积设备，其特征在于，包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：
所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。


2.根据权利要求1所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述基部包括加热器(320)和支撑部(330)，所述承载部包括载片台(310)，所述支撑部(330)设置于所述腔室本体(100)的底壁上，用于支撑所述加热器(320)，所述加热器(320)与所述支撑部(330)连接，所述载片台(310)可转动地设置于所述加热器(320)上，且与所述加热器(320)电连接。


3.根据权利要求2所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述驱动机构(400)包括驱动源(410)和动力输出轴(420)，所述驱动源(410)与所述动力输出轴(420)的一端相连，所述驱动源(410)位于所述容纳腔(500)外，所述腔室本体(100)的底壁上开设有第一通孔(110)，所述加热器(320)上开设有第二通孔(321)，所述动力输出轴(420)的另一端依次穿过所述第一通孔(110)和所述第二通孔(321)，且与所述载片台(310)相连，所述第一通孔(110)中设置有密封件(600)，用于密封所述第一通孔(110)。


4.根据权利要求2所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述加热器(320)上设置有电连接件(340)，所述载片台(310)通过所述电连接件(340)与所述加热器(320)电连接，在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)从所述加热器(320)上升起时，所述载片台(310)与所述电连接件(340)分离；在所述驱动机构(400)驱动所述载片台(310)下降至所述加热器(320)上时，所述载片台(310)与所述电连接件(340)接触。


5.根据权利要求4所述的化学气象沉积设备，其特征在于，所述电连接件(34...

【专利技术属性】
技术研发人员：周坤玲，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11