静电保护电路及静电保护网络制造技术

本申请提供一种静电保护电路及静电保护网络，设置于第一焊盘与第二焊盘之间，在第一焊盘与第二焊盘之间还设置内部电路，内部电路具有第一端和第二端，包括：监测单元，用于监测第一焊盘上由静电电荷引起的静电脉冲；泄放晶体管，用于在监测到静电脉冲后导通，以泄放静电电荷；储能元件，其第一端连接第一焊盘，其第二端连接内部电路的第一端，用于储存部分的静电电荷。本方案可实现既能在静电脉冲到来时及时泄放静电电荷，也能保证电路泄放能力。也能保证电路泄放能力。也能保证电路泄放能力。

【技术实现步骤摘要】
静电保护电路及静电保护网络


[0001]本申请涉及集成电路
，尤其涉及一种静电保护电路及静电保护网络。

技术介绍

[0002]静电无处不在，假如没有静电保护电路，一块芯片很快会被由于各种各样原因而引入静电所损伤，并且几乎会被一击致命。
[0003]因此，芯片中通常设有静电保护电路，静电保护电路用于及时泄放静电电荷，避免被保护电路由于承受静电电荷所带来高压而失效，甚至烧毁。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种静电保护电路及静电保护网络，旨在提供一种既能在静电脉冲到来时及时泄放静电电荷，也能保证电路泄放能力的方案。
[0005]本申请提供一种静电保护电路，设置于第一焊盘与第二焊盘之间，在第一焊盘与第二焊盘之间还设置内部电路，内部电路具有第一端和第二端，包括：
[0006]监测单元，用于监测第一焊盘上由静电电荷引起的静电脉冲；
[0007]泄放晶体管，用于在监测到静电脉冲后导通，以泄放静电电荷；
[0008]储能元件，其第一端连接第一焊盘，其第二端连接内部电路的第一端，用于储存部分的静电电荷。
[0009]可选地，储能元件包括电感。
[0010]可选地，监测单元包括：
[0011]监测电阻，其第一端接第一焊盘；
[0012]监测电容，其第一端与监测电阻的第二端连接，其第二端接第二焊盘。
[0013]可选地，还包括：
[0014]驱动单元，其输入端与监测单元的输出端连接，其输出端与泄放晶体管的控制端连接。/>[0015]可选地，监测单元包括：
[0016]监测电容，其第一端接第一焊盘；
[0017]监测电阻，其第一端与监测电容的第二端连接，其第二端接第二焊盘。
[0018]可选地，储能元件包括顶层金属线，顶层金属线的第一端与第一焊盘相连，顶层金属线的第二端与内部电路的第一端相连。
[0019]可选地，顶层金属线包括第一段、第二段、第三段；第一段与第二段连接，且第一段与第二段连接处的夹角小于180度；第二段与第三段连接，且第二段与第三段连接处的夹角小于180度。
[0020]可选地，第二段在衬底上的投影形状包括U型、V型、C型、Ω型、凹形或者凸型。
[0021]可选地，第二段构成非闭合线圈，非闭合线圈的两端分别与第一段、第三段连接。
[0022]可选地，储能元件还包括次顶层金属线和通孔，顶层金属线通过通孔与次顶层金
属线连接，顶层金属线、通孔和次顶层金属线构成环形线圈。
[0023]可选地，第一焊盘在衬底上的投影与泄放晶体管的漏极区在衬底上的投影部分重叠。
[0024]可选地，记第一焊盘在衬底上的投影为第一投影，记漏极区在衬底上的投影为第二投影，第一投影位于第二投影内。
[0025]可选地，泄放晶体管的栅极结构呈环形形状，漏极区位于栅极结构内。
[0026]可选地，环形形状包括四边形、六边形、八边形。
[0027]可选地，泄放晶体管的栅极结构相对于漏极区的中心点呈中心对称。
[0028]本申请提供一种芯片的静电保护网络，芯片包括两个第一焊盘、两个第二焊盘，分别记为第一焊盘P1、第一焊盘P2、第二焊盘P1、第二焊盘P2，第一焊盘P1与第二焊盘P1之间具有如上的静电保护电路，记为第一静电保护电路；第一焊盘P2与第二焊盘P2之间具有如上的静电保护电路，记为第二静电保护电路；第一焊盘P1与第一焊盘P2之间具有第三静电保护电路；第二焊盘P1与第二焊盘P2之间具有第四静电保护电路。
[0029]可选地，第三静电保护电路包括第一二极管；当第一焊盘P1正常工作时的电压小于第一焊盘P2正常工作时的电压时，第一二极管的正极端连接第一焊盘P1，第一二极管的负极端连接第一焊盘P2；当第一焊盘P1正常工作时的电压大于第一焊盘P2正常工作时的电压时，第一二极管的正极端连接第一焊盘P2，第一二极管的负极端连接第一焊盘P1。
[0030]可选地，第四静电保护电路包括第二二极管和第三二极管；第二二极管的正极端连接第二焊盘P1，第二二极管的负极端连接第二焊盘P2；第三二极管的正极端连接第二焊盘P2，第三二极管的负极端连接第二焊盘P1。
[0031]可选地，第一焊盘P1与第一内部电路的第一端之间具有第一储能元件；第二焊盘P1与第一内部电路的第二端之间具有第二储能元件；第一焊盘P2与第二内部电路的第一端之间具有第三储能元件；第二焊盘P2与第二内部电路的第二端之间具有第四储能元件。
[0032]本申请提供一种静电保护电路，在第一焊盘上检测到静电脉冲后，泄放晶体管及时导通，泄放部分静电电荷，同时储能元件通过存储部分静电电荷的方式，使流到内部电路的静电脉冲电流大大削弱，有效保护内部电路，使内部电路无需承受静电脉冲带来的高压，且由泄放晶体管和储能元件同时吸收静电电荷中能量，提高整个静电保护电路所能承受的最大静电电荷量，且所使用的泄放晶体管的尺寸不大，能够在静电脉冲到来时均匀导通，保证泄放晶体管的泄放能力的鲁棒性，提升整个静电保护电路的保护性能。
附图说明
[0033]此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本申请的实施例，并与说明书一起用于解释本申请的原理。
[0034]图1为本申请一实施例提供的静电保护电路的电路示意图；
[0035]图2为本申请一实施例提供的静电保护电路的电路示意图；
[0036]图3为本申请另一实施例提供的静电保护电路的电路示意图；
[0037]图4为本申请另一实施例提供的静电保护电路的电路示意图；
[0038]图5为本申请另一实施例提供的静电保护电路的电路示意图；
[0039]图6为本申请另一实施例提供的静电保护电路结构的主视图；
[0040]图7为本申请另一实施例提供的静电保护电路结构的俯视图；
[0041]图8为本申请另一实施例提供的泄放晶体管的栅极结构的俯视图；
[0042]图9a至9f为本申请另一实施例提供的储能元件的俯视图；
[0043]图10为本申请另一实施例提供的储能元件的俯视图；
[0044]图11为一种芯片的静电保护网络的示意图；
[0045]图12为图11中的ESD3的一种实施例；
[0046]图13为图11中的ESD4的一种实施例。
[0047]通过上述附图，已示出本申请明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本申请构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本申请的概念。
具体实施方式
[0048]这里将详细地对示例性实施例进行说明，其示例表示在附图中。下面的描述涉及附图时，除非另有表示，不同附图中的相同数字表示相同或相似的要素。以下示例性实施例中所描述的实施方式并不代表与本申请相一致的所有实施方式。相反，它们仅是与如所附权利要求书中所详述的、本申请的一些方面相一致的装置和方法的例子。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种静电保护电路，设置于第一焊盘与第二焊盘之间，在所述第一焊盘与第二焊盘之间还设置内部电路，所述内部电路具有第一端和第二端，其特征在于，包括：监测单元，用于监测所述第一焊盘上由静电电荷引起的静电脉冲；泄放晶体管，用于在监测到所述静电脉冲后导通，以泄放所述静电电荷；储能元件，其第一端连接所述第一焊盘，其第二端连接所述内部电路的第一端，用于储存部分的所述静电电荷。2.根据权利要求1所述的静电保护电路，其特征在于，所述储能元件包括电感。3.根据权利要求1所述的静电保护电路，其特征在于，所述监测单元包括：监测电阻，其第一端接所述第一焊盘；监测电容，其第一端与所述监测电阻的第二端连接，其第二端接所述第二焊盘。4.根据权利要求3所述的静电保护电路，其特征在于，还包括：驱动单元，其输入端与所述监测单元的输出端连接，其输出端与所述泄放晶体管的控制端连接。5.根据权利要求1所述的静电保护电路，其特征在于，所述监测单元包括：监测电容，其第一端接所述第一焊盘；监测电阻，其第一端与所述监测电容的第二端连接，其第二端接所述第二焊盘。6.根据权利要求1所述的静电保护电路，其特征在于，所述储能元件包括顶层金属线，所述顶层金属线的第一端与所述第一焊盘相连，所述顶层金属线的第二端与所述内部电路的第一端相连。7.根据权利要求6所述的静电保护电路，其特征在于，所述顶层金属线包括第一段、第二段、第三段；所述第一段与所述第二段连接，且所述第一段与所述第二段连接处的夹角小于180度；所述第二段与所述第三段连接，且所述第二段与所述第三段连接处的夹角小于180度。8.根据权利要求7所述的静电保护电路，其特征在于，所述第二段在衬底上的投影形状包括U型、V型、C型、Ω型、凹形或者凸型。9.根据权利要求7所述的静电保护电路，其特征在于，所述第二段构成非闭合线圈，所述非闭合线圈的两端分别与所述第一段、所述第三段连接。10.根据权利要求6所述的静电保护电路，其特征在于，所述储能元件还包括次顶层金属线和通孔，所述顶层金属线通过所述通孔与所述次顶层金属线连接，所述顶层金属线、所述通孔和所述次顶层金属线构成环形线圈。11.根据权利要求1所述的静电保护电路，其特征在于，所述第一焊盘在衬底上的投影与所述泄放晶体管的漏极区在所述衬底上的投影部分重叠。12.根据权利要求11所述的静电保护...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙豳，李新，应战，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：