本实用新型专利技术涉及一种晶圆载运装置，包括：一端设有开口且为中空结构的上盖；与上盖可拆卸装配的底盖，底盖上设有支撑晶圆的支撑台，支撑台上设有支撑晶圆的支撑面，支撑面为平面；底盖上且位于支撑台的外侧壁上设有与上盖套接的挡墙；挡墙凸出支撑面设置；可拆卸设置在上盖和底盖中的弹片架，弹片架包括主体部以及间隔设置在主体部的外周缘且分别凸出主体部设置以抵靠在放置于底盖上的晶圆上的多个弹性凸部；限位结构，限位结构设置在挡墙的内侧，以对弹性凸部进行限位。该晶圆载运装置可限制该弹片架转动，进而可避免与该晶圆产生摩擦而产生颗粒污染物，起到避免晶圆污染和保护晶圆的作用，可避免晶圆倾斜而导致晶圆碎裂，可便于晶圆拾取和存放。可便于晶圆拾取和存放。可便于晶圆拾取和存放。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载运装置
[0001]本技术涉及晶圆存储和运输工具，更具体地说，涉及一种晶圆载运装置。
技术介绍
[0002]目前市场上常见的晶圆载运装置多为底盖通过斜坡支撑晶圆，边缘为完整的圆环状挡墙，弹片直接抵靠在晶圆的表面上，载运装置内没有固定弹片的结构，弹片受力固定在载运装置内，晶圆在载运装置中有较大的活动空间，这样的设计存在以下缺点：
[0003]1.在打开和关闭载运装置时，需要旋转上盖，在旋转过程中，弹片可能会随着上盖一起转动，弹片下面固定的晶圆也随之转动，从而发生摩擦产生颗粒污染物，磨损严重时可能导致晶圆报废。
[0004]2.晶圆放置在斜坡上，不易放平，有时可能倾斜，弹片抵靠在晶圆上，又有较大的活动空间，晶圆中间部位悬空，在存储和运输过程中晶圆可能抵靠在晶圆靠中间的位置，而晶圆本身较薄，在存储和运输过程中受到冲击时可能碎裂。
[0005]3.晶圆不易拾取和存放。
技术实现思路
[0006]本技术要解决的技术问题在于，提供一种改进的晶圆载运装置。
[0007]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种晶圆载运装置，包括：
[0008]一端设有开口且为中空结构的上盖；
[0009]与所述上盖可拆卸装配的底盖，所述底盖上设有支撑晶圆的支撑台，所述支撑台上设有支撑所述晶圆的支撑面，所述支撑面为平面；所述底盖上且位于所述支撑台的外侧壁上设有与所述上盖套接的挡墙；所述挡墙凸出所述支撑面设置；
[0010]可拆卸设置在所述上盖和所述底盖中的弹片架，所述弹片架包括主体部以及间隔设置在所述主体部的外周缘且分别凸出所述主体部设置以抵靠在放置于所述底盖上的所述晶圆上的多个弹性凸部；
[0011]限位结构，所述限位结构设置在所述挡墙的内侧，以对所述弹性凸部进行限位。
[0012]优选地，所述限位结构包括间隔设置在所述挡墙内侧壁上的多个限位凸台；相邻设置的两个限位凸台之间形成限位卡槽；
[0013]所述限位卡槽与所述弹性凸部对应设置，以对所述弹性凸部进行限位。
[0014]优选地，所述上盖包括第一盖体以及设置在所述第一盖体中的第一容置腔；
[0015]所述底盖包括第二盖体以及设置在所述第二盖体上的第二容置腔；
[0016]所述第二容置腔形成于所述挡墙的内侧；
[0017]所述支撑台设置所述第二盖体上且位于所述第二容置腔的内侧，所述支撑台上设有与所述支撑面连接且向所述第二容置腔倾斜设置的斜坡面。
[0018]优选地，所述挡墙为多个，多个所述挡墙沿所述底盖的周向间隔设置；
[0019]相邻设置的两个挡墙之间形成缺口；所述缺口的底面与所述第二盖体的端面齐
平。
[0020]优选地，所述支撑台为多个；
[0021]多个所述支撑台沿所述底盖的周向间隔设置。
[0022]优选地，所述上盖与所述底盖上设有卡接结构；
[0023]所述卡接结构包括间隔设置在所述上盖内侧壁的多个第一卡台、以及间隔设置在所述挡墙外侧壁且与多个所述第一卡台对应设置的多个第二卡台；
[0024]相邻设置的两个所述第二卡台之间间隔形成与所述第一卡台配合的卡槽。
[0025]优选地，所述上盖的外侧壁上设有第一防滑结构。
[0026]优选地，所述底盖的外侧壁上设有第二防滑结构。
[0027]优选地，所述上盖的横截面呈圆形；
[0028]所述底盖的横截面呈圆形。
[0029]优选地，所述主体部呈圆形。
[0030]实施本技术的晶圆载运装置，具有以下有益效果：该晶圆载运装置通过在底盖的挡墙中设置限位结构进而可对弹片架的弹性凸部进行限位，从而可限制该弹片架转动，进而可避免与该晶圆产生摩擦而产生颗粒污染物，起到避免晶圆污染和保护晶圆的作用。该晶圆载运装置通过将支撑台的支撑面设置为平面，从而可避免晶圆倾斜而导致晶圆碎裂，并且可便于晶圆拾取和存放。
附图说明
[0031]下面将结合附图及实施例对本技术作进一步说明，附图中：
[0032]图1是本技术一些实施例中晶圆载运装置的结构示意图；
[0033]图2是图1所示晶圆载运装置的结构分解示意图；
[0034]图3是图1所示晶圆载运装置的剖视图；
[0035]图4是图3所示晶圆载运装置的局部结构放大示意图；
[0036]图5是图1所示晶圆载运装置上盖的结构示意图；
[0037]图6是图1所示晶圆载运装置底盖与弹片架配合结构示意图；
[0038]图7是图6所示晶圆载运装置底盖的结构示意图；
[0039]图8是图1所示晶圆载运装置弹片架的结构示意图。
具体实施方式
[0040]为了对本技术的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图详细说明本技术的具体实施方式。
[0041]图1至图2示出了本技术晶圆载运装置的一些优选实施例。该晶圆载运装置可用于存放晶圆100，便于晶圆100的运输，其可起到保护晶圆100的作用，可避免晶圆100被污染和磨损。
[0042]如图1至图4所示，在一些实施例中，该晶圆载运装置可包括上盖10、底盖20以及弹片架30。该上盖10可与该底盖20装配，可用于收容晶圆100。该弹片架30可设置于该上盖10和该底盖20中，可用于固定晶圆100，避免晶圆100晃动，从而可起到保护晶圆100的作用。
[0043]如图5所示，进一步地，在一些实施例中，该上盖10的横截面可呈圆形，该上盖10可
以为一端设有开口的中空结构。该上盖10可包括第一盖体11以及第一容置腔12。该第一盖体11可呈圆柱状，其一端可设置开口。该第一容置腔12可设置在该第一盖体11中。该上盖10可盖合该底盖20，可与该底盖20可拆卸连接。在一些实施例中，该第一盖体11的外侧壁可设置第一防滑结构111，该第一防滑结构111可以为花纹结构，也可以为包括沿第一盖体11周向间隔设置若干凸棱，通过设置该第一防滑结构111一方面能改善上盖10边缘的弯度，从而提高强度，另一方面能加大使用者手与该上盖10之间的摩擦力，便于旋转该第一盖体11，并且不易出现手滑。
[0044]如图6及图7所示，进一步地，在一些实施例中，该底盖20的横截面可呈圆形，该底盖20可与该上盖10可拆卸装配。该底盖20可包括第二盖体21以及第二容置腔22，该第二盖体21可圆柱状，该第二盖体21的横截面形状以及尺寸可与该第一盖体11的横截面形状以及尺寸相适配。该第二盖体21的外侧壁上可设置第二防滑结构211，该第二防滑结构211可以为花纹结构，该花纹结构可沿该第二盖体21的周向间隔设置。在一些实施例中，该第二防滑结构211可包括若干凸棱，该若干凸棱可沿该第一盖体11周向间隔设置。通过设置该第二防滑结构211一方面能改善底盖20边缘的弯度，从而提高强度，另一方面能加大使用者手与该底盖20之间的摩擦力，便于旋转该第二盖体21，并且不易出现本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆载运装置，其特征在于，包括：一端设有开口且为中空结构的上盖(10)；与所述上盖(10)可拆卸装配的底盖(20)，所述底盖(20)上设有支撑晶圆(100)的支撑台(23)，所述支撑台(23)上设有支撑所述晶圆(100)的支撑面(231)，所述支撑面(231)为平面；所述底盖(20)上且位于所述支撑台(23)的外侧壁上设有与所述上盖(10)套接的挡墙(24)；所述挡墙(24)凸出所述支撑面(231)设置；可拆卸设置在所述上盖(10)和所述底盖(20)中的弹片架(30)，所述弹片架(30)包括主体部(31)以及间隔设置在所述主体部(31)的外周缘且分别凸出所述主体部(31)设置以抵靠在放置于所述底盖(20)上的所述晶圆(100)上的多个弹性凸部(32)；限位结构，所述限位结构设置在所述挡墙(24)的内侧，以对所述弹性凸部(32)进行限位。2.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述限位结构包括间隔设置在所述挡墙(24)内侧壁上的多个限位凸台(241)；相邻设置的两个限位凸台(241)之间形成限位卡槽(242)；所述限位卡槽(242)与所述弹性凸部(32)对应设置，以对所述弹性凸部(32)进行限位。3.根据权利要求1所述的晶圆载运装置，其特征在于，所述上盖(10)包括第一盖体(11)以及设置在所述第一盖体(11)中的第一容置腔(12)；所述底盖(20)包括第二盖体(21)以及设置在所述第二盖体(21)上的第二容置腔(22)；所述第二容置腔(22)形成于所述挡墙(24)的内侧；所述支撑台...
【专利技术属性】
技术研发人员：邱摩西，何江波，
申请(专利权)人：义柏应用技术深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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