单晶炉除尘装置和系统制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种单晶炉除尘装置和系统，装置包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，所述过滤罐包括第一排污口；所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。本实用新型专利技术可以实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。单晶炉的生产效率获得极大提高。单晶炉的生产效率获得极大提高。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉除尘装置和系统


[0001]本技术涉及单晶制造
，特别是涉及一种单晶炉除尘装置和一种单晶炉除尘系统。

技术介绍

[0002]目前，生产单晶硅的主要方法是直拉法，在采用直拉法生产单晶硅时，整个单晶硅的生产过程都在密闭且有惰性保护气体的单晶炉内进行，由于生产过程中需要较高的温度，因此，在生产过程中会产生大量的SiO(氧化硅)等挥发物。现有技术对于这些挥发物的除尘方式是在单晶炉的后端连接一个过滤罐对挥发物进行过滤，该过滤罐安装在真空泵与单晶炉之间，通过真空泵抽出过滤罐过滤后的灰尘。
[0003]上述现有技术对单晶炉内挥发物的除尘方式还存在以下问题：真空泵抽出的灰尘会沉积在真空泵油中，导致需要频繁的在单晶炉生产完成后更换真空泵油，导致清理工作量大，且单晶炉的生产效率低。

技术实现思路

[0004]鉴于上述问题，本技术实施例的目的在于提供一种单晶炉除尘装置和相应的一种单晶炉除尘系统，以解决现有技术中的除尘方式需要频繁的在单晶炉生产完成后更换真空泵油的问题。
[0005]为了解决上述问题，本技术实施例公开了一种单晶炉除尘装置，包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，
[0006]所述过滤罐包括第一排污口；
[0007]所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。
[0008]为了解决上述问题，本技术实施例还公开了一种单晶炉除尘系统，包括至少一个单晶炉、抽真空设备以及所述的单晶炉除尘装置，所述至少一个单晶炉与所述单晶炉除尘装置中至少一个过滤罐一一对应连接，所述抽真空设备与所述单晶炉除尘装置中第一灰尘缓存结构连接。
[0009]本技术实施例包括以下优点：设置过滤罐包括第一排污口和在过滤罐外设置具有内腔的第一灰尘缓存结构，从而在外部抽真空设备对第一灰尘缓存结构和过滤罐抽真空时，通过第一灰尘缓存结构的内腔缓存过滤罐中抽出的至少部分灰尘，其中，在内腔缓存过滤罐中抽出的部分灰尘时，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，在内腔缓存过滤罐中抽出的全部灰尘时，无灰尘进入抽真空设备，实现有效减少或消除进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率或无需清理抽真空设备，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。
附图说明
[0010]图1是本技术的一种单晶炉除尘装置实施例的结构示意图；
[0011]图2是本技术的另一种单晶炉除尘装置实施例的结构示意图；
[0012]图3是本技术的一种单晶炉除尘装置实施例中过滤罐的结构示意图；
[0013]图4是本技术的另一种单晶炉除尘装置实施例具有多个过滤罐的结构示意图；
[0014]图5是本技术的一种单晶炉除尘装置实施例中过滤罐的内部结构示意图；
[0015]图6是本技术的一种单晶炉除尘系统实施例的结构示意图。
具体实施方式
[0016]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0017]参照图1，其示出了本技术的一种单晶炉除尘装置1实施例的结构示意图，该单晶炉除尘装置1可以包括过滤罐2和第一灰尘缓存结构3，其中，过滤罐2包括第一排污口21；第一灰尘缓存结构3与第一排污口21连接，第一灰尘缓存结构3可与外部抽真空设备连接，第一灰尘缓存结构3包括内腔31，在抽真空设备对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空的情况下，内腔31可缓存过滤罐2中抽出的灰尘。
[0018]具体地，抽真空设备可以为真空泵(油泵或干泵)或其它抽真空设备。其中，在内腔31缓存过滤罐2中抽出的部分灰尘时，此时，抽真空设备为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备时，其余过滤罐中抽出的灰尘可进入抽真空设备，实现有效减少进入抽真空设备的灰尘，延长了抽真空设备的工作时间，降低清理抽真空设备的频率，清理工作量有效减小，单晶炉的生产效率获得极大提高。在内腔31缓存过滤罐2中抽出的全部灰尘时，此时，无灰尘进入抽真空设备，抽真空设备可以为油泵或干泵或其它任意抽真空设备时，只需清理过滤罐2外部和抽真空设备外部的第一灰尘缓存结构3缓存的灰尘即可，无需清理抽真空设备，清理工作更简单和高效，且提高了单晶炉的生产效率。
[0019]可选地，过滤罐2的本体可以由不锈钢材料或其它金属材料形成。
[0020]具体地，如图1所示，过滤罐2还包括进气口22和出气口23，进气口22与单晶炉的尾气出口连接，在过滤罐2正常工作时，即过滤罐2对单晶炉的尾气进行过滤时，可以打开进气口22，使单晶炉与过滤罐2连通，来自单晶炉的尾气进入过滤罐2，经过滤罐2过滤后，打开过滤罐2上的出气口23，过滤后的尾气排出过滤罐2，从而实现对单晶炉内尾气的过滤。在需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，可以关闭进气口22和出气口23，打开第一排污口21，且使第一排污口21与第一灰尘缓存结构3连通，外部抽真空设备使过滤罐2中的灰尘从第一排污口21进入第一灰尘缓存结构3，第一灰尘缓存结构3缓存至少部分灰尘，此时，部分灰尘进入抽真空设备或无灰尘进入抽真空设备。可选地，进气口22可以设置在过滤罐2的侧部，且进气口22可以靠近过滤罐2的底部。可选地，进气口22和出气口23可以设置在过滤罐2相对的两侧，从而可以增大单晶炉的尾气在过滤罐2内的行程，使过滤后的灰尘更均匀的分布在过滤罐2中，便于后续对过滤罐2的清理。
[0021]可选地，在本技术的一个实施例中，如图1所示，第一灰尘缓存结构3可以包括第一壳体32，其中，内腔31设置于第一壳体32，第一壳体32可以包括第一清洁口321和第二
排污口322，第一清洁口321与第一排污口21连接，第二排污口322可与抽真空设备连接，第一清洁口321与第一排污口21之间或第二排污口322与抽真空设备之间的至少一个设置第一开关4其中，第一壳体32为密封的壳体，从而可以确保内腔31可以维持真空环境。此时，内腔31可以缓存过滤罐2中抽出的部分灰尘，其余过滤罐中抽出的灰尘进入抽真空设备，抽真空设备为油泵或其它允许灰尘进入的抽真空设备。
[0022]具体地，通过第一开关4，可以控制第一排污口21与抽真空设备之间的连通或断开连通，即在抽真空设备需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第一开关4控制第一排污口21与抽真空设备之间连通，在抽真空设备不需要对第一灰尘缓存结构3和过滤罐2抽真空时，通过第一开关4控制第一排污口21与抽真空设备之间断开连通。可选地，第一开关4可以为第一阀门或其它开关。
[0023]可选地，在本技术的另一个实施例中，如图2所示，第一灰尘缓存结构3可以包括具有内腔31的第二壳体33和第一过滤结构34，第一过滤结构34设置在内腔31中，第二壳体33设置有第二清洁口331本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉除尘装置，其特征在于，包括过滤罐和第一灰尘缓存结构，其中，所述过滤罐包括第一排污口；所述第一灰尘缓存结构与所述第一排污口连接，所述第一灰尘缓存结构可与外部抽真空设备连接，所述第一灰尘缓存结构包括内腔，在所述抽真空设备对所述第一灰尘缓存结构和所述过滤罐抽真空的情况下，所述内腔可缓存所述过滤罐中抽出的灰尘。2.根据权利要求1所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构包括第一壳体，所述内腔设置于所述第一壳体，所述第一壳体包括第一清洁口和第二排污口，所述第一清洁口与所述第一排污口连接，所述第二排污口可与所述抽真空设备连接，所述第一清洁口与所述第一排污口之间或所述第二排污口与所述抽真空设备之间的至少一个设置第一开关。3.根据权利要求2所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构包括具有所述内腔的第二壳体和第一过滤结构，所述第一过滤结构设置在所述内腔中，所述第二壳体设置有第二清洁口和第三排污口，所述第一过滤结构设置在所述第二清洁口和所述第三排污口之间，所述第二清洁口与所述第一排污口连接，所述第三排污口可与所述抽真空设备连接，所述第二清洁口与所述第一排污口之间或所述第三排污口与所述抽真空设备之间的至少一个设置第二开关。4.根据权利要求3所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述第一灰尘缓存结构还包括固定设置在所述内腔中的第一支架，所述第一支架上设置有第一通孔，所述第一过滤结构设置在所述第一支架靠近所述第三排污口的一侧，所述第一过滤结构与所述第一通孔对应设置，且所述第一过滤结构与所述第一支架连接。5.根据权利要求1所述的单晶炉除尘装置，其特征在于，所述过滤罐包括第三清洁口和可伸缩的第二过滤结构，所述第三清洁口可通入惰性气体，所述第二过滤结构设置在所述过滤罐内，且所述第二过滤结构设置在所述第三清洁口和所述第一排污口之间，在所述第三清洁口通入惰性气体的情况下，所述第二过滤结构过滤的灰尘可脱落；所述单晶炉除尘装置还包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：董升，李侨，徐战军，贺瑞环，卓珍珍，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：