一种暂存装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种暂存装置及镀膜设备，其中，暂存装置设置在传输线的两工序装置之间，包括：暂存机构和驱动机构。暂存机构包括至少两个暂存台，暂存台的承载面与传输线的传输方向平行设置，所述暂存台的承载面的承载量至少大于两工序装置中任一个的单次工艺加工量；驱动机构包括至少一个对接驱动器，对接驱动器的驱动端与每个暂存台连接，对接驱动器驱动承载面与传输线上相邻的装置连接。通过暂存台的缓存，实现慢速工艺与快速工艺的相互适配，减少了慢速工艺等待待加工件供应的问题，有效缩短整机设备的生产节拍，从而解决了相邻工序装置之间衔接问题，保证整机设备的生产节拍顺畅性。拍顺畅性。拍顺畅性。

【技术实现步骤摘要】
一种暂存装置及镀膜设备


[0001]本技术涉及传输
，具体涉及一种暂存装置及镀膜设备。

技术介绍

[0002]当今，磁控溅射已成为镀膜主流技术之一。溅射镀膜技术是用离子轰击靶材表面，靶材的原子被击出的现象称为溅射。溅射产生的原子沉积在基体表面成膜称为溅射镀膜。该技术通常是利用气体放电产生气体电离，其正离子在电场作用下高速轰击阴极靶体，击出阴极靶体原子或分子，飞向被镀基体表面沉积成薄膜。
[0003]在PVD(Physical Vapor Deposition，物理气相沉积)溅射镀膜设备中，通常包括多个工序装置，在不同的工序装置内进行不同的工艺步骤，用以对待镀膜工件根据设计镀不同的膜。但是，现有的镀膜设备中，由于在前工序装置和在后工序装置的镀膜速度和所需要的工艺时间不同，导致存在部分腔室需要等待其他腔室工艺完成才可以进行本腔室相应工艺步骤的情况，考虑生产的正常进行，不得不设置等待时间，导致出现影响整机设备的生产节拍的问题。尤其是，在前工序装置的工艺时间比在后工序装置的工艺时间短时，会严重降低生产效率。
[0004]人们一直致力于提高磁控溅射技术的效率，开拓它的应用范围，生产节拍的紧凑衔接是目前亟待解决的一个技术问题。

技术实现思路

[0005]因此，本技术所要解决的技术问题是针对现有技术中的由于镀膜设备中，由于在前工序装置和在后工序装置的镀膜速度和所需要的工艺时间不同，导致存在部分腔室需要等待其他腔室工艺完成才可以进行本腔室相应工艺步骤的情况，提供一种暂存装置及相应的镀膜设备，解决相邻工序装置之间衔接问题，避免出现影响整机设备的生产节拍的情况。
[0006]本技术提供一种暂存装置，设置在传输线的两工序装置之间，包括：
[0007]暂存机构，包括至少两个暂存台，所述暂存台的承载面与所述传输线的传输方向平行设置，所述暂存台的承载面的承载量至少大于两工序装置中任一个的单次工艺加工量；
[0008]至少一组驱动机构，所述驱动机构包括至少一个对接驱动器，所述对接驱动器的驱动端与每个所述暂存台连接，所述对接驱动器驱动所述承载面与所述传输线上相邻的装置连接。
[0009]可选地，上述的暂存装置，所述对接驱动器的驱动方向相对于所述传输方向呈夹角设置。
[0010]可选地，上述的暂存装置，所述驱动方向相对于所述传输方向呈垂直设置。
[0011]可选地，上述的暂存装置，包括至少两组驱动机构，所述驱动机构呈对称地与所述暂存台的两侧。
[0012]可选地，上述的暂存装置，还包括到位检测结构，所述到位检测结构安装在所述承载面上，用以检测所述承载面上的待加工件的到位。
[0013]可选地，上述的暂存装置，还包括压力检测结构，所述压力检测结构安装在所述驱动端上，用以检测所述驱动端的压力。
[0014]一种镀膜设备，包括：上述的暂存装置，所述暂存装置设置于相邻的工序装置之间；
[0015]传输机构，用以带动所述承载面上的待加工件沿传输方向传输。
[0016]可选地，上述的镀膜设备，所述传输机构包括：
[0017]传输滚轮，设置在所述暂存台上；
[0018]滚轮驱动器，所述滚轮驱动器与所述传输滚轮连接，且所述滚轮驱动器带动所述传输滚轮的转动。
[0019]可选地，上述的镀膜设备，所述传输机构为机械手，所述机械手具有夹持所述待加工件沿所述传输方向传输的传输状态；以及具有沿复位方向空载的复位状态；
[0020]所述传输方向为由在前工序装置向在后工序装置输送的方向；所述复位方向为由所述在后工序装置向所述在前工序装置复位的方向。
[0021]可选地，上述的镀膜设备，在相邻的工序装置中，在前工序装置完成一次镀膜的工艺时间比在后工序装置完成一次镀膜的工艺时间短，所述暂存台的承载面的承载量大于所述在前工序装置的一次镀膜加工量。
[0022]本技术提供的技术方案，具有如下优点：
[0023]1.本技术提供的暂存装置，通过暂存机构设置至少两个暂存台，暂存台的承载面用以承载待加工件，当在前工序所需要的时间较短，在后工序所需时间较长时，通过暂存结构的暂存台将在前工序中的已加工好的且多余待加工件的进行承接；同时，暂存台通过承载面与传输线的传输方向平行，从而保证承载面的延伸方向与传输方向在传输时的顺畅性，进一步节约输送时间。通过暂存台的缓存，实现将在前的快速工艺下完成的待放置板进行缓存，并且可以通过不间断地向在后工序装置提供待加工件以适配慢速工艺，以此实现慢速工艺与快速工艺的相互适配，减少了慢速工艺等待待加工件供应的问题，有效缩短整机设备的生产节拍，从而解决了相邻工序装置之间衔接问题，保证整机设备的生产节拍顺畅性；此外，对接驱动器驱动暂存台与传输线的连接，进一步保证输送对接准确性。
[0024]2.本技术提供的暂存装置，所述对接驱动器的驱动方向与所述传输方向呈夹角设置。此结构的暂存装置，通过上述对接驱动器与传输方向的设置，从而节约了平面占用空间，减少生产线的占用面积。所述驱动方向相对所述承载面呈垂直设置。进一步保证驱动时的稳定性。
[0025]3.本技术提供的暂存装置，包括至少两组驱动机构，所述驱动机构呈对称地与所述暂存台连接。呈对称设置的驱动机构驱动暂存台，保证驱动过程的平稳性。
[0026]4.本技术提供的暂存装置，还包括到位检测结构，安装在所述承载面上，所述到位检测结构用以检测所述承载面上的待加工件的到位。到位检测结构检测暂存台上存放待加工件与否，从而依据需求匹配待加工件。
[0027]5.本技术提供的暂存装置，还包括压力检测结构，安装在所述驱动端上，用以检测所述驱动端上承受的压力。从而检测驱动端所连接的所有暂存台上待加工件的个数，
并与到位检测结构配合实现对每个暂存台上的是否待加工件进行检测；此外，压力检测结构还可以检测待加工件是否完全到位并放置在暂存台上，避免未完全放置时，暂存台发生移动，造成待加工件的损坏的问题的出现。
[0028]6.本技术提供的镀膜设备，其包括：暂存装置和传输机构，所述暂存装置连接相邻的工序装置；所述传输机构用以驱动所述承载面上的待加工件沿传输方向传输。此结构的镀膜设备，通过在在前工序装置和在后工序装置之间设置暂存装置，从而将镀膜设备中的前端快速工艺和后端的慢速工艺通过暂存装置相互隔离开来，通过暂存装置的缓存，实现将快速工艺下完成的待加工件进行缓存，并且可以通过不间断地向在后工序装置提供待加工件以适配慢速工艺，以此实现慢速工艺与快速工艺的相互适配，减少了后端慢速工艺等待待加工件供应的问题，有效缩短整机设备的生产节拍。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种暂存装置，设置在传输线的两工序装置之间，其特征在于，包括：暂存机构，包括至少两个暂存台(1)，所述暂存台(1)的承载面与所述传输线的传输方向平行设置，所述暂存台(1)的承载面的承载量至少大于两工序装置中任一个的单次工艺加工量；至少一组驱动机构，所述驱动机构包括至少一个对接驱动器(21)，所述对接驱动器(21)的驱动端与每个所述暂存台(1)连接，所述对接驱动器(21)驱动所述承载面与所述传输线上相邻的装置连接。2.根据权利要求1中所述的暂存装置，其特征在于，所述对接驱动器(21)的驱动方向相对于所述传输方向呈夹角设置。3.根据权利要求2中所述的暂存装置，其特征在于，所述驱动方向相对于所述传输方向呈垂直设置。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，包括至少两组驱动机构，所述驱动机构呈对称地设置在所述暂存台(1)的两侧。5.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，还包括到位检测结构(3)，所述到位检测结构(3)安装在所述承载面上，用以检测所述承载面上的待加工件(5)的到位。6.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的暂存装置，其特征在于，还...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：