一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法技术

本发明专利技术提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，支撑件与石英舟本体可拆卸连接，且支撑件可相对于加强件移动，并通过锁紧件锁紧，支撑件设于石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；加强件与石英舟本体可拆卸连接，且加强件可相对于石英舟本体移动，并通过锁紧件锁紧，加强件与支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；支撑件与加强件上均设有卡齿，且支撑件上的卡齿与加强件上的卡齿一一对应；卡齿包括连接部和支撑部，连接部与支撑部连接。本发明专利技术的有益效果是适合硅片电池扩散时使用，对石英舟进行改进，同时对硅片进行切割，采用垂直方式进行插片，满足扩散炉生产需求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法
本专利技术属于太阳能电池
，尤其是涉及一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法。
技术介绍
随着太阳能光伏发电市场对高功率太阳能光伏组件的需求激增，叠瓦、半片太阳能光伏组件已成为高功率组件的主流产品。大尺寸硅片(如M6166x166mm、M9190x190mm,M10200x200mm,M12210x210mm)可结合叠瓦、半片组件技术实现更高功率的组件生产。因大尺寸整片硅片(如M6166x166mm、M9190x190mm,M10200x200mm,M12210x210mm)已超出现有扩散炉管管径极限范围，硅片插片后，石英舟不能放入扩散炉内，不能满足扩散生产需求，且扩散炉改造成本高。
技术实现思路
鉴于上述问题，本专利技术要解决的问题是提供一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片扩散用石英舟及扩散方法，尤其适合大尺寸硅片电池扩散时使用，对石英舟进行改进，同时对硅片进行切割，采用垂直方式进行插片，满足扩散炉生产需求。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，其中，支撑件与石英舟本体可拆卸连接，且支撑件可相对于加强件移动，并通过锁紧件锁紧，支撑件设于石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；加强件与石英舟本体可拆卸连接，且加强件可相对于石英舟本体移动，并通过锁紧件锁紧，加强件与支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；支撑件与加强件上均设有卡齿，且支撑件上的卡齿与加强件上的卡齿一一对应；以及，卡齿包括连接部和支撑部，连接部与支撑部连接。进一步的，加强件的数量为多个，多个加强件沿着石英舟本体的长度方向依次设置，且加强件可相对于石英舟本体移动，相邻加强件相对面均设有卡齿，便于对不同尺寸硅片进行扩散。进一步的，加强件包括连接杆，连接杆的两端分别与石英舟本体滑动连接，锁紧件与连接件一端连接，便于将加强件锁紧在石英舟本体上。进一步的，相邻加强件之间至少设有一个支撑件，支撑件的一端与锁紧件连接，便于将支撑件锁紧在石英舟本体上。进一步的，加强件与支撑件均与石英舟本体的长度方向垂直设置。进一步的，连接部包括卡柱和卡柱支撑部，卡柱支撑部对称设于卡柱的两侧。进一步的，卡柱支撑部凸出卡柱的侧壁。进一步的，相邻卡齿之间的距离为2.18-2.58mm。一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散方法，包括以下步骤，S1：对制绒后的硅片进行切割，将制绒后的硅片一分为二，形成半片硅片；S2：采用垂直方式进行切半片硅片的装载；S3：进行扩散：S30：稳定半片硅片表面温度，减少硅片中心与边缘的温度差；S31：制备氧化层，进行半片硅片表面氧化；S32：低温恒定源扩散，进行半片硅片表面沉积磷源；S33：高温推进，便于形成PN结；S34：高温通源，进行扩散补源；S35：二步推结，形成磷硅玻璃层；S36：降温出炉。进一步的，步骤S30中，进行扩散炉的升温，并通入氮气，并进行温度保持，其中，扩散炉温度升温至扩散温度，扩散温度为760-780℃，氮气的流量为16-20slm，温度保持时间为5-8min。由于采用上述技术方案，使得石英舟结构简单，使用方便，能够根据硅片不同的尺寸进行调节，满足不同尺寸的硅片的插片；同时，具有加强件，将石英舟分隔成多个空间，便于采用竖直方式进行硅片插片，使得现有扩散炉能够满足大尺寸硅片扩散生产需求；无需对现有太阳能生产扩散炉管进行改造，仅需对石英舟进行改造，改造成本低；扩散产能未有大幅损失，生产的电池片制程不受影响。附图说明图1是现有技术中硅片插片方式示意图；图2是图1的侧视结构示意图；图3是本专利技术的一实施例的垂直方式插片示意图；图4是图3的侧视结构示意图；图5是本专利技术的一实施例的石英舟结构示意图；图6是本专利技术的一实施例的卡齿的结构示意图。图中：1、扩散炉炉管2、石英舟3、硅片4、加强件5、卡齿6、石英舟本体7、支撑件具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步的说明。图3示出了本专利技术的一实施例的结构示意图，具体示出了本实施例的结构，本实施例涉及一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟及扩散方法，用于大尺寸硅片进行扩散时使用，该石英舟具有多个可以相对石英舟本体移动的加强件，使得硅片在扩散时，能够采用垂直方式进行插片，将切割后的硅片插入石英舟内进行扩散，便于大尺寸硅片进行扩散，不需要对现有的扩散炉进行改造，降低生产成本，且使得产能增加。一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，如图3-6所示，包括石英舟本体6、支撑件7、加强件4和锁紧件，其中，支撑件7与石英舟本体6可拆卸连接，且支撑件7可相对于石英舟本体6移动，并通过锁紧件锁紧，支撑件7设于石英舟本体6底部，便于对硅片3进行支撑；加强件4与石英舟本体6可拆卸连接，且加强件4可相对于石英舟本体6移动，并通过锁紧件锁紧，加强件4与支撑件7平行设置，便于硅片3插片时进行定位；支撑件7与加强件4上均设有卡齿5，且支撑件7上的卡齿5与加强件4上的卡齿5一一对应；以及，卡齿5包括连接部和支撑部，连接部与支撑部连接。在进行硅片3的装载时，根据硅片3的尺寸进行相邻加强件4之间的距离调节，便于硅片3放置在相邻加强件4之间，同时，根据相邻加强件4之间的距离进行支撑件7的调节，使得支撑件7位于相邻加强件4之间，便于硅片3装载在石英舟上，且通过加强件4进行定位、支撑，防止硅片3在石英舟上晃动，造成硅片3损坏，便于硅片3进行扩散。具体地，上述石英舟本体6为支撑骨架，便于加强件4和支撑件7的安装。该石英舟本体6包括第一端板、第二端板、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆，第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆的两端均与第一端板和第二端板连接，且第一连接杆与第二连接杆平行设置，第三连接杆与第四连接杆平行设置，同时，第一连接杆与第二连接杆位于同一平面上，第三连接杆和第四连接杆位于同一平面上，第一连接杆与第二连接杆所在的平面位于第三连接杆与第四连接杆所在的平面，且两个平面平行设置，使得第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆构成一个容纳空间，便于硅片3的放置，第一连接杆与第二连接杆之间的距离可以和第三连接杆与第四连接杆之间的距离相同，或者，第一连接杆与第二连接杆之间的距离可以大于第三连接杆与第四连接杆之间的距离，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。同时，第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆与第四连接杆的长度根据实际扩散炉炉管的长度进行选择，这里不做具体要求。上述的加强件4的数量为多个，多个加强件4沿着石英舟本体6的长度方向依次设置，且加强件4可相对于石英舟本体6移动，相邻加强件4相对面均设有卡齿5，便于对不同尺寸硅片3进行扩散本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，其中，/n所述支撑件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述支撑件可相对于所述加强件移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述支撑件设于所述石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；/n所述加强件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述加强件可相对于所述石英舟本体移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述加强件与所述支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；/n所述支撑件与所述加强件上均设有卡齿，且所述支撑件上的卡齿与所述加强件上的卡齿一一对应；以及，/n所述卡齿包括连接部和支撑部，所述连接部与所述支撑部连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：包括石英舟本体、支撑件、加强件和锁紧件，其中，
所述支撑件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述支撑件可相对于所述加强件移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述支撑件设于所述石英舟本体底部，便于对硅片进行支撑；
所述加强件与所述石英舟本体可拆卸连接，且所述加强件可相对于所述石英舟本体移动，并通过所述锁紧件锁紧，所述加强件与所述支撑件平行设置，便于对硅片插片时进行定位；
所述支撑件与所述加强件上均设有卡齿，且所述支撑件上的卡齿与所述加强件上的卡齿一一对应；以及，
所述卡齿包括连接部和支撑部，所述连接部与所述支撑部连接。


2.根据权利要求1所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述加强件的数量为多个，多个所述加强件沿着所述石英舟本体的长度方向依次设置，且所述加强件可相对于所述石英舟本体移动，相邻所述加强件相对面均设有所述卡齿，便于对不同尺寸硅片进行扩散。


3.根据权利要求2所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：所述加强件包括连接杆，所述连接杆的两端分别与所述石英舟本体滑动连接，所述锁紧件与所述连接件一端连接，便于将所述加强件锁紧在所述石英舟本体上。


4.根据权利要求2或3所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用石英舟，其特征在于：相邻所述加强件之间至少设有一个支撑件，所述支撑件的一端与所述锁紧件连接，便于将所述支撑件锁紧在所述石英舟本体上。


5.根据权利要求4所述的用于叠瓦、半片大尺寸硅片电池扩散用...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏，何秋霞，马擎天，
申请(专利权)人：环晟光伏江苏有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32