真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了真空镀膜设备的密封结构，包括第一真空室、第二真空室和密封组件，第一真空室的第一面板开设有第一通孔，第二真空室位于第一真空室一侧并与其可拆卸连接，第二真空室包括与第一面板相抵接的第二面板，第二面板开设有第二通孔；密封组件包括安装板、第一密封圈和第二密封圈，安装板开设有第三通孔，第三通孔的周缘设有环形凸台，环形凸台嵌设于第一通孔内，第一面板和第二面板均与安装板可拆卸连接，第一密封圈位于环形凸台与第二面板之间，第二密封圈位于安装板与第一面板之间。结构简单、方便拆装，可以解决更换密封连接相邻真空腔体密封圈花费大量时间、人力和物力的问题，不需要移开任何真空腔体即可进行维护。护。护。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜设备的密封结构和真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体而言，涉及一种真空镀膜设备的密封结构和具有该密封结构的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备具有生产效率高、工艺稳定等优点，被广泛应用于现代化工业生产。
[0003]通常，真空镀膜设备由多个真空腔体相连组成，相邻真空腔体通过密封圈直接密封连接，这种结构一旦其中任何一个密封圈损坏或者老化失效等原因造成真空镀膜生产线漏气，都需要移开位于该密封圈之前或者之后的所有真空腔体和其相连的其他设备才能进行维护，需要花费大量的时间、人力和物力。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种真空镀膜设备的密封结构，结构简单和方便拆装。
[0005]本技术还提出一种具有上述真空镀膜设备的密封结构的真空镀膜设备。
[0006]根据本技术的实施例的真空镀膜设备的密封结构，包括第一真空室、第二真空室和密封组件，所述第一真空室的第一面板的中间位置开设有第一通孔，所述第二真空室位于所述第一真空室一侧并与所述第一真空室可拆卸连接，所述第二真空室包括与所述第一面板相抵接的第二面板，所述第二面板的中间位置开设有第二通孔；所述密封组件包括安装板、第一密封圈和第二密封圈，所述第一面板和所述第二面板均与所述安装板可拆卸连接，所述安装板的中间位置开设有第三通孔，所述第一密封圈位于所述安装板与所述第二面板之间，所述第二密封圈位于所述安装板与所述第一面板之间。
[0007]根据本技术实施例的真空镀膜设备的密封结构，至少具有如下有益效果：通过第一密封圈和第二密封圈的共同密封，达到密封连接相邻真空腔室体的效果，当需要维护第一密封圈和/或第二密封圈时，拆除第一真空腔室内的部分零部件，保证安装板的拆装空间就可以进行维护，结构简单、方便拆装，可以解决更换密封连接相邻真空腔体密封圈花费大量时间、人力和物力的问题，不需要移开任何真空腔体即可进行维护。
[0008]根据本技术的一些实施例，所述第三通孔的周缘设有环形凸台，所述环形凸台沿所述第三通孔的轴向向外延伸，所述环形凸台嵌设于所述第一通孔内，所述第一密封圈位于所述环形凸台与所述第二面板之间。
[0009]根据本技术的一些实施例，所述环形凸台开设有第一凹槽，所述第一密封圈安装于所述第一凹槽，所述安装板于所述环形凸台的外周开设有第二凹槽，所述第二密封圈安装于所述第二凹槽。
[0010]根据本技术的一些实施例，所述环形凸台于背离所述第二面板的端面开设有第三凹槽。
[0011]根据本技术的一些实施例，所述安装板于面向和/或背离所述第二面板的端
面开设有第四凹槽，所述第四凹槽位于所述第一凹槽和所述第二凹槽之间。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述第一面板和所述第二面板均通过紧固件与所述安装板固定连接。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述第一面板在所述第一通孔的周缘开设有至少两个第一螺纹盲孔，所述第二面板在所述第二通孔的周缘开设有至少两个第二螺纹孔，所述安装板上开设有与所述第一螺纹盲孔相对应的第五通孔和与所述第二螺纹孔相对应的第四通孔。
[0014]根据本技术的一些实施例，与所述第一螺纹盲孔相配合的所述紧固件为中空结构；当所述第二螺纹孔为螺纹盲孔，与所述第二螺纹孔相配合的所述紧固件为中空结构。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述第五通孔位于所述第二凹槽的外周，所述第四通孔位于所述第一凹槽的内周。
[0016]根据本技术的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括本技术上述第一方面任一实施例的真空镀膜设备的密封结构。
[0017]根据本技术实施例的真空镀膜设备，至少具有如下有益效果：结构简单、方便拆装，可以解决更换密封连接相邻真空腔体密封圈花费大量时间、人力和物力的问题，不需要移开任何真空腔体即可进行维护。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]本技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0020]图1是本技术提供的真空镀膜设备的密封结构的结构示意图；
[0021]图2是图1所示的真空镀膜设备的密封结构的爆炸示意图；
[0022]图3是图1所示的真空镀膜设备的密封结构的部分结构剖视示意图；
[0023]图4是图1中安装板的结构示意图；
[0024]图5是图4中安装板的剖视示意图；
[0025]图6是图1中第一真空室的结构示意图。
[0026]附图标记：
[0027]真空镀膜设备的密封结构10；
[0028]安装板100，环形凸台110，第三通孔111，第一凹槽112，第三凹槽113，翼缘120，第二凹槽121，第四凹槽122，第四通孔130，第五通孔140；
[0029]第一密封圈200；
[0030]第二密封圈300；
[0031]紧固件400；
[0032]第一真空室500，第一面板510，第一通孔511，第一螺纹盲孔 512；
[0033]第二真空室600，第二面板610，第二通孔611，第二螺纹孔612。
具体实施方式
[0034]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0035]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]在本技术的描述中，如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0038]下面参考图1至图6描本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的密封结构，其特征在于，包括：第一真空室，所述第一真空室的第一面板的中间位置开设有第一通孔；第二真空室，所述第二真空室位于所述第一真空室一侧并与所述第一真空室可拆卸连接，所述第二真空室包括与所述第一面板相抵接的第二面板，所述第二面板的中间位置开设有第二通孔；密封组件，所述密封组件包括安装板、第一密封圈和第二密封圈，所述第一面板和所述第二面板均与所述安装板可拆卸连接，所述安装板的中间位置开设有第三通孔，所述第一密封圈位于所述安装板与所述第二面板之间，所述第二密封圈位于所述安装板与所述第一面板之间。2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备的密封结构，其特征在于，所述第三通孔的周缘设有环形凸台，所述环形凸台沿所述第三通孔的轴向向外延伸，所述环形凸台嵌设于所述第一通孔内，所述第一密封圈位于所述环形凸台与所述第二面板之间。3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备的密封结构，其特征在于，所述环形凸台开设有第一凹槽，所述第一密封圈安装于所述第一凹槽，所述安装板于所述环形凸台的外周开设有第二凹槽，所述第二密封圈安装于所述第二凹槽。4.根据权利要求3所述的真空镀膜设备的密封结构，其特征在于，所述环形凸台于背离...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志海，邝斌，陈金良，齐鹏飞，赖新暖，
申请(专利权)人：中山瑞科新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：