一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装制造技术

本实用新型专利技术属于化学气相沉积设备技术领域，公开一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装。包括圆环状卡盘、支撑件；圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔；支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱，支撑柱的两端为外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有放置槽；两个圆环状卡盘分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱的两端外螺纹柱上。本实用新型专利技术可使化学气相沉积后的圆盘基片表面涂层厚度均匀，可支撑多个圆盘基片进行化学气相沉积，提高生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装
本技术属于化学气相沉积设备
，具体涉及一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装。
技术介绍
化学气相沉积是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。目前，化学气相沉积技术可以制备各种化合物包括碳化物、氮化物、氧化物、硼化物等，在机械、电子、能源、航空航天等行业发挥着巨大的作用。生产时将待涂基片通过支撑工装的支承放置于化学气相沉积反应器内，气体反应在待涂基片的表面沉积形成涂层，所以对于涂层基片生产的质量和数量而言，合适的支撑工装设计显得尤为重要。当在圆盘基片表面涂层时，对支撑圆盘基片的工装性能要求较高，支撑圆盘基片的工装对基片表面成膜质量有很大的影响，可能会导致圆盘基片表面涂层厚度不均匀、盲区较大等问题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术的目的旨在提供一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装。为实现上述目的，本技术采取两种技术方案，具体如下：方案①：一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，包括圆环状卡盘、支撑件；圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设置有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔，固定孔内设有内螺纹；支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱，支撑柱的两端为外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有放置槽；<br>每根支撑件对应一圆环状卡盘上的固定孔并且放置槽朝内，两个圆环状卡盘分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱的两端外螺纹柱上。方案②：一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，包括圆环状卡盘、支撑件；圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设置有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔；支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱，支撑柱的两端为外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有放置槽；每根支撑件对应一圆环状卡盘上的固定孔并且放置槽朝内，两个圆环状卡盘分别通过在固定孔上下的外螺纹柱上各用一螺母固定连接在支撑柱的两端外螺纹柱上。方案①与方案②的区别在于：方案①中，固定孔内设置有内螺纹，依靠固定孔的内螺纹和支撑柱的外螺纹的螺纹连接固定两个圆环状卡盘；方案②中；固定孔内没有设置内螺纹，借助在固定孔上下的支撑柱上设置螺母固定两个圆环状卡盘。较好地，方案①与方案②中，凸块上开设的固定孔为U形开孔，通过调节支撑柱在U形开孔的位置来调节支撑柱相对卡盘的圆心位置，从而适应不同尺寸的圆盘基片。较好地，方案①与方案②中，放置槽的纵截面为中括号形。较好地，方案①与方案②中，放置槽的槽下部设置有倒角。倒角与圆盘基片之间的接触为线接触，可以减少圆盘基片与放置槽的接触面积，减小沉积盲区面积，增大沉积面积，使沉积涂层更均匀。较好地，方案①与方案②中，支撑柱下端的外螺纹柱为两段，两段之间通过一具有内螺纹的套管连接，可以通过调节支撑柱下端的两段外螺纹柱在套管内的伸入长度而实现调节整个支撑柱的长度，以调节放置槽上圆盘基片在化学气相沉积反应器内的高度位置。较好地，方案①与方案②中，圆环状卡盘采用碳-碳复合材料制成，具有较高的韧性以及强度；螺母采用等静压石墨材质制成，等静压石墨能够耐高温、耐化学腐蚀。较好地，方案①与方案②中，底座和支撑柱之间为一体成型。较好地，方案①中，固定孔上下的外螺纹柱上各用一螺母固定，用于确定圆环状卡盘的高度同时以保证支撑柱稳定，支承工装更加稳定。有益效果：本技术使用时，将圆盘基片放置在支撑柱的放置槽上，圆环状卡盘固定在支撑柱的两端外螺纹柱上，减小圆盘基片与支撑工装的接触面积，使化学气相沉积后的圆盘基片表面涂层厚度均匀；本技术可支撑多个圆盘基片进行化学气相沉积，提高生产效率，节约能源和时间，降低生产成本。附图说明图1：本技术支撑工装实施方式一的结构示意图；图2：本技术支撑工装实施方式二的结构示意图；图3：本技术支撑工装实施方式三的结构示意图；图4：本技术支撑工装实施方式四的结构示意图；图5：图4中圆环状卡盘的结构示意图；图6：支撑件的结构示意图；图7：支撑柱中光滑柱与圆盘基片相配合的结构示意图；其中，附图标记为：1-圆环状卡盘；2-支撑件，21-底座，22-支撑柱，23-套管，24-放置槽；3-螺母；4-凸块；5-圆盘基片。具体实施方式以下结合具体实施例，对本技术做进一步说明。应理解，以下实施例仅用于说明本技术而非用于限制本技术的范围。实施例1如图1、图6和图7所示，一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，包括圆环状卡盘1、支撑件2；圆环状卡盘1的数量为两个，圆环状卡盘1的圆环上均匀设置有三个固定孔，固定孔内设有内螺纹；圆环状卡盘1采用碳-碳复合材料制成；支撑件2的数量为三个，支撑件2包括圆柱形底座21，底座21顶面垂直向上一体成型有支撑柱22，支撑柱22的两端为同向的外螺纹柱、中间段为光滑柱，支撑柱22下端的外螺纹柱为两段，两段之间通过一具有内螺纹的套管23连接，光滑柱的侧面均匀开设有纵截面为中括号形的放置槽24，放置槽24的槽下部设置有倒角；每根支撑件2对应一圆环状卡盘1上的固定孔并且放置槽24朝内，两个圆环状卡盘1分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱22的两端外螺纹柱上。实施例2如图2、图6和图7所示，与实施例1的不同之处在于：固定孔上下的外螺纹柱上各用一螺母3固定，螺母3采用等静压石墨材质制成。实施例3如图3、图6和图7所示，一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，包括圆环状卡盘1、支撑件2；圆环状卡盘1的数量为两个，圆环状卡盘1的圆环均匀径向向外延伸有三个凸块4并且每个凸块4上开设一固定孔，固定孔内设有内螺纹；圆环状卡盘1采用碳-碳复合材料制成；支撑件2的数量为三个，支撑件2包括圆柱形底座21，底座21顶面垂直向上一体成型有支撑柱22，支撑柱22的两端为同向的外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有纵截面为中括号形的放置槽24，放置槽24的槽下部设置有倒角；每根支撑件2对应一圆环状卡盘1上的固定孔并且放置槽24朝内，两个圆环状卡盘1分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱22的两端外螺纹柱上。实施例4如图4、图5、图6和图7所示，与实施例3的不同之处在于：凸块4上开设的固定孔为U形开孔，并且固定孔上下的外螺纹柱上各用一螺母3固定，螺母3采用等静压石墨材质制成；其它同实施例3。实施例5与实施例1不同之处在于：底座21与支撑柱22用螺纹连接，底座21与本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，其特征在于：包括圆环状卡盘、支撑件；/n圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设置有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔，固定孔内设有内螺纹；/n支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱，支撑柱的两端为外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有放置槽；/n每根支撑件对应一圆环状卡盘上的固定孔并且放置槽朝内，两个圆环状卡盘分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱的两端外螺纹柱上。/n

【技术特征摘要】
1.一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，其特征在于：包括圆环状卡盘、支撑件；
圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设置有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔，固定孔内设有内螺纹；
支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱，支撑柱的两端为外螺纹柱、中间段为光滑柱，光滑柱的侧面均匀开设有放置槽；
每根支撑件对应一圆环状卡盘上的固定孔并且放置槽朝内，两个圆环状卡盘分别通过固定孔螺纹连接在支撑柱的两端外螺纹柱上。


2.如权利要求1所述的适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，其特征在于：固定孔上下的外螺纹柱上各用一螺母固定。


3.一种适用于化学气相沉积圆盘基片的支撑工装，其特征在于：包括圆环状卡盘、支撑件；
圆环状卡盘的数量为两个，圆环状卡盘的圆环上均匀设置有至少三个固定孔或者圆环状卡盘的圆环均匀径向向外延伸有至少三个凸块并且每个凸块上开设一固定孔；
支撑件的数量与一圆环状卡盘上的固定孔的数量对应，支撑件包括底座，底座顶面垂直向上固定连接有支撑柱...

【专利技术属性】
技术研发人员：李江涛，张东生，吴恒，姚栋嘉，刘喜宗，杨超，牛利伟，张相国，
申请(专利权)人：巩义市泛锐熠辉复合材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41