一种高效环保镀膜辅助装置制造方法及图纸

技术编号:29124837 阅读:14 留言:0更新日期:2021-07-02 22:19
本实用新型专利技术公开了一种高效环保镀膜辅助装置,涉及半导体器件技术领域。本实用新型专利技术包括镀膜底座,镀膜底座中部插接连接有收集盒,且收集盒内中部放置有收集板,收集盒顶端插接连接有若干个镀膜室,且镀膜室顶端插接密封放置有镀膜盖,镀膜盖内顶端以及中部分别固定连接有活性炭和除尘器,镀膜室顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第一矩形块。本实用新型专利技术通过设置除尘器、活性炭、镀膜室、第一矩形块、收集盒和收集板,具有除尘、除有害气味,避免污染工作环境以及高效性、可拼接和可镀膜大量工件,并且上下料速度更快和方便清洁镀膜室、收集镀膜室内镀膜镀膜废料,避免污染环境的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种高效环保镀膜辅助装置
本技术属于半导体器件
,特别是涉及一种高效环保镀膜辅助装置。
技术介绍
锗片是制作半导体器件,红外光学器件的材料。主要成分为锗,锗片镀膜可以起到增强透过率和对锗片保护的作用,目前,锗片镀膜过程镀膜室有灰尘和一定气味散发出来,影响了周围工作人员的身体健康,污染环境,同时,镀膜室空间有限且上下料速度慢,影响锗片镀膜的生产效率,并且,锗片镀膜完毕后镀膜室内不方便清洁,产生的镀膜废料污染环境,局限性较大,无法满足实际使用需求,所以市面上迫切需要能改进的技术,以解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种高效环保镀膜辅助装置,通过设置除尘器、活性炭、镀膜室、第一矩形块、收集盒和收集板,解决了现有锗片镀膜过程镀膜室有灰尘和一定气味散发出来,影响了周围工作人员的身体健康,污染环境,同时,镀膜室空间有限且上下料速度慢,影响锗片镀膜的生产效率,并且,锗片完毕后镀膜室内不方便清洁,产生的镀膜废料污染环境的问题。为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:本技术为一种高效环保镀膜辅助装置,包括镀膜底座,所述镀膜底座中部插接连接有收集盒,且收集盒内中部放置有收集板,所述收集盒顶端插接连接有若干个镀膜室,且镀膜室顶端插接密封放置有镀膜盖,所述镀膜盖内顶端以及中部分别固定连接有活性炭和除尘器,所述镀膜室顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第一矩形块。进一步地,所述镀膜底座上表面中部设置有凹槽,且凹槽内电性连接有电热板,所述收集盒底端端口插接连接于电热板两端外侧,所述镀膜底座上表面两端固定连接有第一把手,由设置的镀膜底座和电热板,用于将镀膜材质加热使其蒸发,从而完成镀膜,由设置的第一把手,便于移动镀膜底座。进一步地,所述镀膜室外侧两端固定连接有提耳,且镀膜室底端设置有矩形槽,且矩形槽的尺寸大小与第一矩形块的尺寸大小相契合,由设置的镀膜室,用于对锗片工件进行镀膜,由设置的提耳,便于将镀膜室提起,由设置的矩形槽和第一矩形块尺寸大小相契合,便于将多个镀膜室拼接在一块。进一步地,所述镀膜室内底端均匀设置有第一圆孔和矩形卡口,且矩形卡口位于第一圆孔之间,由设置的矩形卡口,用于将锗片竖直的卡住,并由设置的第一圆孔,用于透过已经是蒸发状态下的镀膜物质,从而使锗片均匀镀上膜。进一步地,所述收集盒顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第二矩形块,且第二矩形块的尺寸大小与矩形槽的尺寸大小相契合,所述收集盒内侧壁两端下部固定连接有挡块,所述收集板放置于挡块顶端,且收集板正表面均匀设置有若干第二圆孔,由设置的收集盒和收集板,用于收集凝固后的镀膜废料,由设置的挡块,用于支撑收集板,并由设置的第二矩形块,便于收集盒与镀膜室拼接,由设置的第二圆孔,用于透过已经蒸发的镀膜物质,并且挡住镀膜完成后凝固的镀膜废料。进一步地,所述镀膜盖底端呈开口设置,且其端口四周设置有条形槽,且条形槽的尺寸大小与第一矩形块尺寸大小相契合,所述镀膜盖外顶端中部固定连接有第二把手,所述活性炭四边角处通过螺栓与镀膜盖内顶端螺纹连接,由设置的条形槽于第一矩形块尺寸大小相契合,用于将镀膜盖把镀膜室密封盖住,防止镀膜效果不佳,由设置的螺栓,用于固定连接活性炭,并由设置的活性炭和除尘器,分别用于吸附有害气味和灰尘。本技术具有以下有益效果:本技术通过设置除尘器和活性炭,具有除尘、除有害气味,避免污染工作环境优点,解决了现有锗片镀膜过程镀膜室有灰尘和一定气味散发出来,影响了周围工作人员的身体健康,污染环境的问题,通过蒸发镀膜的方式对锗片进行镀膜,在镀膜盖内顶端以及其中部固定连接有活性炭和除尘器,活性炭会吸附镀膜室内产生的有害气味,除尘器会将镀膜室产生的灰尘除去,并且活性炭和除尘器均是可拆卸固定连接在镀膜盖内顶端,方便隔一段时间后更换。本技术通过设置镀膜室和第一矩形块,具有高效性、可拼接和可镀膜大量工件并且上下料速度更快的优点,解决了镀膜室空间有限且上下料速度慢,影响锗片镀膜的生产效率的问题,通过在镀膜室顶端口四周固定连接有第一矩形块,并在镀膜室底部设置有与第一矩形块相契合的矩形槽,可直接将多个镀膜室拼接成一个大的镀膜室,从而达到可镀膜大量工件的效果,并且在镀膜室内底端设置的矩形卡口,可直接将锗片工件竖直的卡在矩形卡口上进行镀膜,上下料便捷、快速。本技术通过设置收集盒和收集板,具有方便清洁镀膜室和收集镀膜室内镀膜废料,避免污染环境的优点,解决了锗片完毕后镀膜室内不方便清洁,产生的镀膜废料污染环境的问题,镀膜完成后,冷却下来的镀膜废料会重新在收集盒内放置的收集板上凝固,先将各个镀膜室拆分取下进行清洁,然后将镀膜室最底端收集板上收集到的镀膜废料清理掉即可。当然,实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术结构示意图;图2为本技术镀膜室和收集盒的拼接结构示意图;图3为本技术收集盒俯视结构示意图;图4为本技术镀膜室俯视结构示意图;图5为本技术镀膜盖内部俯视结构示意图。附图中,各标号所代表的部件列表如下:1、镀膜底座;101、凹槽;2、挡块;3、第一把手;4、镀膜盖;401、条形槽;5、第二把手;6、镀膜室;601、矩形槽;602、第一圆孔;603、矩形卡口;7、提耳;8、收集板;801、第二圆孔;9、除尘器;10、电热板;11、第一矩形块;12、收集盒;13、第二矩形块;14、活性炭;15、螺栓。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。请参阅图1-5所示,本技术为一种高效环保镀膜辅助装置,包括镀膜底座1,镀膜底座1中部插接连接有收集盒12,且收集盒12内中部放置有收集板8,收集盒12顶端插接连接有若干个镀膜室6,且镀膜室6顶端插接密封放置有镀膜盖4,镀膜盖4内顶端以及中部分别固定连接有活性炭14和除尘器9,镀膜室6顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第一矩形块11,除尘器9型号为DMC,属于现有技术,通过设置除尘器9和活性炭14,由于除尘、除有害气味,避免污染工作环境优点,通过设置镀膜室6和第一矩形块11,用于镀膜室6的高效性、可拼接和可镀膜大量工件并且上下料速度更快,通过设置收集盒12和收集板8,用于方便清洁镀膜室6和收集镀膜室6内镀膜废料,避免污染环境,通过蒸发镀膜的方式对锗片进行镀膜,在镀膜盖4本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高效环保镀膜辅助装置,包括镀膜底座(1),其特征在于:所述镀膜底座(1)中部插接连接有收集盒(12),且收集盒(12)内中部放置有收集板(8),所述收集盒(12)顶端插接连接有若干个镀膜室(6),且镀膜室(6)顶端插接密封放置有镀膜盖(4),所述镀膜盖(4)内顶端以及中部分别固定连接有活性炭(14)和除尘器(9),所述镀膜室(6)顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第一矩形块(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种高效环保镀膜辅助装置,包括镀膜底座(1),其特征在于:所述镀膜底座(1)中部插接连接有收集盒(12),且收集盒(12)内中部放置有收集板(8),所述收集盒(12)顶端插接连接有若干个镀膜室(6),且镀膜室(6)顶端插接密封放置有镀膜盖(4),所述镀膜盖(4)内顶端以及中部分别固定连接有活性炭(14)和除尘器(9),所述镀膜室(6)顶端呈开口设置,且其端口四周固定连接有第一矩形块(11)。


2.根据权利要求1所述的一种高效环保镀膜辅助装置,其特征在于,所述镀膜底座(1)上表面中部设置有凹槽(101),且凹槽(101)内电性连接有电热板(10),所述收集盒(12)底端端口插接连接于电热板(10)两端外侧,所述镀膜底座(1)上表面两端固定连接有第一把手(3)。


3.根据权利要求1所述的一种高效环保镀膜辅助装置,其特征在于,所述镀膜室(6)外侧两端固定连接有提耳(7),且镀膜室(6)底端设置有矩形槽(601),且矩形槽(601)的尺寸大小与第一矩形块(11)的尺寸大小相...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔丁方彭明清缪彦美子光平廖吉伟何兴军陈知江朱家义
申请(专利权)人:云南驰宏国际锗业有限公司
类型:新型
国别省市:云南;53

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