一种硅片用冲洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅片用冲洗装置，包括柜体，柜体上侧连接有电机，电机的输出端连接有皮带轮一，皮带轮一通过皮带带动有皮带轮二，皮带轮二上连接有转轴，转轴的上端通过转动座一与柜体外侧壁相连接，转轴的下端通过转动座二与柜体的外侧壁相连接，转轴中间设有矩形弯折，柜体上端连接有清洗装置，清洗装置包括液压缸、支撑柱、毛刷、T型滑块和滑座，T型滑块设在液压缸的下端，滑座内设有与T型滑块相匹配的T型滑槽，T型滑块下端与滑座滑动连接。本实用新型专利技术与现有技术相比的优点在于：能一次固定住个硅片进行清洗，清洗的效率高，在硅片的上下都能够进行清洗，切清洗之后能够同时进行使用毛刷将硅片上的灰尘擦拭掉。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片用冲洗装置
本技术涉及硅片净洗设备
，具体是指一种硅片用冲洗装置。
技术介绍
随着社会的发展，电子电路和新能源的发展已经开始影响到人们的日程生活，硅片是二电子电路领域和新能源领域中应用最广泛的物品之一，在硅片的加工过程中，需要对硅片进行清洁，若清洁不干净，在硅片加工的过程中容易导致硅片的性能有所影响，现有技术中的硅片冲洗装置在硅片清洗的过程中不能使用毛刷擦去硅片上的尘埃，容易导致灰尘擦拭的效果不好，在清洗硅片时只能一个一个的进行清洗，清洗的效率差，对硅片的固定效果不好，硅片的拆卸和安装不方便。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是克服以上技术问题，提供清洗干净、操作简单和清洗效率高高的一种硅片用冲洗装置。为解决上述技术问题，本技术提供的技术方案为：包括柜体，所述柜体上侧连接有电机，所述电机的输出端连接有皮带轮一，所述皮带轮一通过皮带带动有皮带轮二，所述皮带轮二上连接有转轴，所述转轴的上端通过转动座一与柜体外侧壁相连接，所述转轴的下端通过转动座二与柜体的外侧壁相连接，所述转轴中间设有矩形弯折，所述柜体上端连接有清洗装置，所述清洗装置包括液压缸、支撑柱、毛刷、T型滑块和滑座，所述T型滑块设在液压缸的下端，所述滑座内设有与T型滑块相匹配的T型滑槽，所述T型滑块下端与滑座滑动连接，所述滑座的下侧与毛刷相连接，所述支撑柱的一端与毛刷相连接，所述支撑柱的另一端与矩形弯折转动连接，所述毛刷的下方设有固定板，所述柜体的内侧壁设有固定块，所述固定板在固定块之间滑动固定，所述固定板内设有通孔，所述通孔内固定有可拆卸的硅片，所述固定板通过转动块固定住硅片，所述固定板上设有与转动块相匹配的凹槽，所述固定板下方设有清洗装置，所述固定板上方和下方的清洗装置关于固定板相对称，所述清洗装置的下侧连接有底板，所述底板的一端连接有出水口，所述底板的下端设有蓄水室，所述蓄水室内设有潜水泵，所述潜水泵的出水端连接有水管，所述柜体的内侧壁设有水喷头，所述水喷头与水管相连接，所述柜体的外侧壁设有控制器和柜门，所述柜门上设有把手，所述电机、液压缸一、潜水泵均与控制器电性连接。作为赶紧，所述矩形弯折分为横柱和竖柱，所述横柱的长度小于转轴上端距柜体外侧壁的距离。所述转动块为扇形结构，所述凹槽为弧形结构，所述转动块在凹槽内转动。所述转动块和凹槽设在通孔的上端和下端，所述通孔的上端和下端均设有个转动块和凹槽。所述底板为倾斜设置。所述凹槽内设有弹簧，所述弹簧的一端与凹槽内部相连接，所述弹簧的另一端与转动块相连接。本技术与现有技术相比的优点在于：能一次固定住6个硅片进行清洗，清洗的效率高，在硅片的上下都能够进行清洗，切清洗之后能够同时进行使用毛刷将硅片上的灰尘擦拭掉，不仅效率高，而且清洗的效果更好，硅片的安装和拆卸都比较方便，调节转动块即可将硅片夹住或者取出，放置硅片的固定板能够在固定块处拉出或者投入，固定板放置和拉出较为简便。附图说明图1是本技术一种硅片用冲洗装置的正面内部示意图。图2是本技术一种硅片用冲洗装置的侧面结构示意图。图3是本技术一种硅片用冲洗装置的固定板上方结构示意图。图4是本技术一种硅片用冲洗装置转动块处结构示意图。图5是本技术一种硅片用冲洗装置的清洗装置结构示意图。如图所示：1、柜体，2、电机，3、皮带轮一，4、皮带，5、皮带轮二，6、转轴，7、转动座一，8、转动座二，9、矩形弯折，10、清洗装置，101、液压缸，102、支撑柱，103、T型滑块，104、滑座，105、T型滑槽，106、毛刷，11、固定板，12、固定块，13、通孔，14、硅片，15、转动块，16、凹槽，17、底板，18、出水口，19、蓄水室，20、潜水泵，21、水管，22、水喷头，23、控制器，24、弹簧，25、柜门，26、把手。具体实施方式下面结合附图对本技术做进一步的详细说明。结合附图1，包括柜体1，所述柜体1上侧连接有电机2，所述电机2的输出端连接有皮带轮一3，所述皮带轮一3通过皮带4带动有皮带轮二5，所述皮带轮二5上连接有转轴6，所述转轴6的上端通过转动座一7与柜体1外侧壁相连接，所述转轴6的下端通过转动座二8与柜体1的外侧壁相连接，所述转轴6中间设有矩形弯折9，所述柜体1上端连接有清洗装置10，所述清洗装置10包括液压缸101、支撑柱102、毛刷106、T型滑块103和滑座104，所述T型滑块103设在液压缸101的下端，所述滑座104内设有与T型滑块103相匹配的T型滑槽105，所述T型滑块103下端与滑座104滑动连接，所述滑座104的下侧与毛刷106相连接，所述支撑柱102的一端与毛刷106相连接，所述支撑柱102的另一端与矩形弯折9转动连接，所述毛刷106的下方设有固定板11，所述柜体1的内侧壁设有固定块12，所述固定板11在固定块12之间滑动固定，所述固定板11内设有通孔13，所述通孔13内固定有可拆卸的硅片14，所述固定板11通过转动块15固定住硅片14，所述固定板11上设有与转动块15相匹配的凹槽16，所述固定板11下方设有清洗装置10，所述固定板11上方和下方的清洗装置10关于固定板11相对称，所述清洗装置10的下侧连接有底板17，所述底板17的一端连接有出水口18，所述底板17的下端设有蓄水室19，所述蓄水室19内设有潜水泵20，所述潜水泵20的出水端连接有水管21，所述柜体1的内侧壁设有水喷头22，所述水喷头22与水管21相连接，所述柜体1的外侧壁设有控制器23和柜门25，所述柜门25上设有把手26，所述电机2、液压缸101一、潜水泵20均与控制器23电性连接。所述矩形弯折9分为横柱和竖柱，所述横柱的长度小于转轴6上端距柜体1外侧壁的距离，转轴6转动时使矩形弯折9旋转，拉动支撑柱102进行来回移动，进而使毛刷106来回的移动。所述转动块15为扇形结构，所述凹槽16为弧形结构，所述转动块15在凹槽16内转动，拨动转动块15能够使转动块15收在凹槽16内，确保硅片14能够放入和拿出。所述转动块15和凹槽16设在通孔13的上端和下端，所述通孔13的上端和下端均设有4个转动块15和凹槽16。所述底板17为倾斜设置，污水能从底板17底端流出。所述凹槽16内设有弹簧24，所述弹簧24的一端与凹槽16内部相连接，所述弹簧24的另一端与转动块15相连接，拨动转动块15，即使松开转动块15，转动块15也能自动转动到固定硅片14的位置本技术的工作原理：拉动把手打开柜门，拿出固定板，拨动转动块，将硅片放入到通孔内固定，将固定板插入到固定块之间，关闭柜门，通过控制液压缸收缩使毛刷远离固定板，打开潜水泵，水从水喷头处喷出水冲刷在硅片的上下两面，之后通过控制器将液压缸伸展开，毛刷贴近到硅片的表面，打开电机，转动转轴，转轴转动使支撑柱来回的移动，同时使毛刷进行来回的在硅片上移动，扫除硅片上的灰尘，之后再打开水管将硅片冲刷干净即可取出固定板，清本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片用冲洗装置，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)上侧连接有电机(2)，所述电机(2)的输出端连接有皮带轮一(3)，所述皮带轮一(3)通过皮带(4)带动有皮带轮二(5)，所述皮带轮二(5)上连接有转轴(6)，所述转轴(6)的上端通过转动座一(7)与柜体(1)外侧壁相连接，所述转轴(6)的下端通过转动座二(8)与柜体(1)的外侧壁相连接，所述转轴(6)中间设有矩形弯折(9)，所述柜体(1)上端连接有清洗装置(10)，所述清洗装置(10)包括液压缸(101)、支撑柱(102)、毛刷(106)、T型滑块(103)和滑座(104)，所述T型滑块(103)设在液压缸(101)的下端，所述滑座(104)内设有与T型滑块(103)相匹配的T型滑槽(105)，所述T型滑块(103)下端与滑座(104)滑动连接，所述滑座(104)的下侧与毛刷(106)相连接，所述支撑柱(102)的一端与毛刷(106)相连接，所述支撑柱(102)的另一端与矩形弯折(9)转动连接，所述毛刷(106)的下方设有固定板(11)，所述柜体(1)的内侧壁设有固定块(12)，所述固定板(11)在固定块(12)之间滑动固定，所述固定板(11)内设有通孔(13)，所述通孔(13)内固定有可拆卸的硅片(14)，所述固定板(11)通过转动块(15)固定住硅片(14)，所述固定板(11)上设有与转动块(15)相匹配的凹槽(16)，所述固定板(11)下方设有清洗装置(10)，所述固定板(11)上方和下方的清洗装置(10)关于固定板(11)相对称，所述清洗装置(10)的下侧连接有底板(17)，所述底板(17)的一端连接有出水口(18)，所述底板(17)的下端设有蓄水室(19)，所述蓄水室(19)内设有潜水泵(20)，所述潜水泵(20)的出水端连接有水管(21)，所述柜体(1)的内侧壁设有水喷头(22)，所述水喷头(22)与水管(21)相连接，所述柜体(1)的外侧壁设有控制器(23)和柜门(25)，所述柜门(25)上设有把手(26)，所述电机(2)、液压缸(101)一、潜水泵(20)均与控制器(23)电性连接。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片用冲洗装置，包括柜体(1)，其特征在于：所述柜体(1)上侧连接有电机(2)，所述电机(2)的输出端连接有皮带轮一(3)，所述皮带轮一(3)通过皮带(4)带动有皮带轮二(5)，所述皮带轮二(5)上连接有转轴(6)，所述转轴(6)的上端通过转动座一(7)与柜体(1)外侧壁相连接，所述转轴(6)的下端通过转动座二(8)与柜体(1)的外侧壁相连接，所述转轴(6)中间设有矩形弯折(9)，所述柜体(1)上端连接有清洗装置(10)，所述清洗装置(10)包括液压缸(101)、支撑柱(102)、毛刷(106)、T型滑块(103)和滑座(104)，所述T型滑块(103)设在液压缸(101)的下端，所述滑座(104)内设有与T型滑块(103)相匹配的T型滑槽(105)，所述T型滑块(103)下端与滑座(104)滑动连接，所述滑座(104)的下侧与毛刷(106)相连接，所述支撑柱(102)的一端与毛刷(106)相连接，所述支撑柱(102)的另一端与矩形弯折(9)转动连接，所述毛刷(106)的下方设有固定板(11)，所述柜体(1)的内侧壁设有固定块(12)，所述固定板(11)在固定块(12)之间滑动固定，所述固定板(11)内设有通孔(13)，所述通孔(13)内固定有可拆卸的硅片(14)，所述固定板(11)通过转动块(15)固定住硅片(14)，所述固定板(11)上设有与转动块(15)相匹配的凹槽(16)，所述固定板(11)下方设有清洗装置(10)，所述固定板(11)上方和下方的清洗装置(10)关于固定板(11)相对称，所述清洗装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：苏州林赛自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32