一种检测装置及成膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种检测装置及成膜设备，包括两个检测筒、发射器和接收器。两个检测筒间隔且倾斜穿设在沉积腔室的腔体壁上，两个检测筒均一端延伸至沉积腔室的腔体的内部，另一端位于腔体的外部，发射器和接收器分别设置在位于腔体外部的一端，接收器用于接收从发射器出射并经待检测工件反射的检测光线，检测筒上位于腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于检测筒在水平面上的正投影的边缘，当上方的待检测工件破碎坠落时，在重力方向上，碎渣坠落在检测筒的外壁上，并沿外壁滑落到沉积腔室底部，从而避免碎渣垂直掉入检测筒的内腔中，遮挡出射光或者反射回来的入射光，导致检测装置误判，影响检测效果。

【技术实现步骤摘要】
一种检测装置及成膜设备
本技术涉及检测装置
，具体涉及一种检测装置及成膜设备。
技术介绍
真空镀膜生产工艺中，为检测真空腔室内的工件是否到达设定位置，一般会设置检测装置。现有的常规检测装置一般为光电检测装置，通过发射端出射的检测光线经到达设定位置的工件反射，反射光线被接收端接收，从而反馈工件到位信息。现有的检测装置，发射端和接收端均设置在工件的下方，容置发射端和接收端的管腔完全暴露在工件下方，当工件(如玻璃、硅片等易碎物体)在真空镀膜生产工艺中发生破碎或者表面镀膜产生的废渣掉落时，碎渣会直接掉入管腔内，碎渣遮挡出射光或者反射回来的入射光，容易导致检测装置误判，影响检测效果。
技术实现思路
因此，本技术要解决的技术问题在于克服现有检测装置中的发射和接收端的安装内腔完全暴露在上方异物的坠落路径上，异物坠入安装内腔影响检测装置的检测效果。为此，本技术提出一种检测装置的保护结构，包括：两个检测筒，间隔且分别倾斜穿设在沉积腔室的腔体壁上；两个所述检测筒均一端延伸至所述沉积腔室的腔体的内部，另一端位于腔体的外部；发射器和接收器，分别设置在两个所述检测筒内并位于腔体外部的一端；所述接收器适于接收从所述发射器出射并经待检测工件反射的检测光线；任一所述检测筒上的位于所述腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于所述检测筒在水平面上的正投影的边缘。任一所述检测筒上的位于所述腔体内的一端的端面为平面。任一所述检测筒上的位于所述腔体内的一端的端面与重力方向的夹角为锐角。任一所述检测筒上的位于所述腔体内的一端的端面上的最低点超出所述沉积腔室中固定所述检测筒的一侧腔体壁设置。至少一个所述检测筒的下侧设置维护结构；所述维护结构具有容置腔；所述容置腔从下向上延伸并连通所述检测筒的内腔。所述维护结构包括：管主体，其管腔形成所述容置腔；所述管主体的一端连接所述检测筒；密封件，可拆卸地安装在所述管主体的另一端。所述密封件为法兰盲板。还包括：卡箍，固定在所述密封件与所述管主体的连接处。所述管主体与所述检测筒为一体结构。本技术提出一种成膜设备，包括上述所述的检测装置。本技术技术方案，具有如下优点：1.本技术提供的检测装置，包括两个检测筒、发射器和接收器。两个检测筒间隔且倾斜穿设在沉积腔室的腔体壁上，两个检测筒均一端延伸至沉积腔室的腔体的内部，另一端位于腔体的外部，发射器和接收器分别设置在检测筒位于腔体外部的一端，接收器用于接收从发射器出射并经待检测工件反射的检测光线，检测筒上位于腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于检测筒在水平面上的正投影的边缘，当上方的待检测工件破碎坠落时，或者待检测工件上的镀膜废渣掉落时，在重力方向上，碎渣坠落在检测筒的外壁上，并沿外壁滑落到沉积腔室底部，从而避免碎渣垂直掉入检测筒的内腔中，遮挡出射光或者反射回来的入射光，导致检测装置误判，影响检测效果。2.本技术提供的检测装置，至少一个所述检测筒的下侧设置维护结构，维护结构具有容置腔，容置腔从下向上延伸并连通检测筒的内腔。当碎渣飞溅进入检测筒内腔时，碎渣沿检测筒内腔的下侧内壁向下滑动，经过容置腔与检测筒内腔的交汇处时，碎渣滑落至容置腔内，不会滑落至发射器或接收器处，从而避免遮挡检测光线。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术实施例中检测装置的结构示意图一；图2为本技术实施例中端面的结构示意图一；图3为本技术实施例中端面的结构示意图二；图4为本技术实施例中检测装置的结构示意图二；图5为本技术实施例中检测装置的结构示意图三。附图标记说明：1、检测筒；11、固定座；2、沉积腔室；21、检测孔；3、发射器；4、接收器；5、检测光线；6、维护结构；61、管主体；611、容置腔；62、法兰盲板；7、待检测工件；8、卡箍。具体实施方式下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，下面所描述的本技术不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。实施例1本实施例提供一种检测装置，如图1所示，两个检测筒1通过固定座11安装在沉积腔室2的腔体壁的外侧壁面上，本实施例中，沉积腔室2为真空腔室，检测筒1整体呈管状结构，例如圆管或者方管，沉积腔室2的腔体壁上开设与检测筒1的管腔同轴设置的检测孔21，两个检测筒1分别固定在检测孔21内，两个检测筒1均一端延伸至沉积腔室2的腔体的内部，另一端位于腔体的外部，两个检测筒1的管腔中位于沉积腔室2外部的一端分别安装发射器3和接收器4，发射器3出射的检测光线5经到达设定位置的待检测工件7反射，反射光线被接收器4接收，从而反馈工件到位信息。本实施例中，待检测工件7整体呈平板状结构，待检测工件7在沉积腔室2内水平设置，两个检测筒1均设置在待检测工件7下方的沉积腔室2的底部腔壁上，如图1所示，检测筒1上位于腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于检测筒1在水平面上的正投影的边缘，当上方的待检测工件7破碎坠落时，或者待检测工件7上的镀膜废渣掉落时，在重力方向上，碎渣坠落在检测筒1的外壁上，并沿外壁滑落到沉积腔室2底部，从而避免碎渣垂直掉入检测筒1的内腔中，遮挡出射光或者反射回来的入射光，导致检测装置误判，影响检测效果。本实施例中，如图1所示，检测筒1上位于腔体内的一端的端面为平面，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：/n两个检测筒(1)，间隔且分别倾斜穿设在沉积腔室(2)的腔体壁上；两个所述检测筒(1)均一端延伸至所述沉积腔室(2)的腔体的内部，另一端位于腔体的外部；/n发射器(3)和接收器(4)，分别设置在两个所述检测筒(1)内并位于腔体外部的一端；/n所述接收器(4)适于接收从所述发射器(3)出射并经待检测工件(7)反射的检测光线(5)；/n任一所述检测筒(1)上的位于所述腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于所述检测筒(1)在水平面上的正投影的边缘。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测装置，其特征在于，包括：
两个检测筒(1)，间隔且分别倾斜穿设在沉积腔室(2)的腔体壁上；两个所述检测筒(1)均一端延伸至所述沉积腔室(2)的腔体的内部，另一端位于腔体的外部；
发射器(3)和接收器(4)，分别设置在两个所述检测筒(1)内并位于腔体外部的一端；
所述接收器(4)适于接收从所述发射器(3)出射并经待检测工件(7)反射的检测光线(5)；
任一所述检测筒(1)上的位于所述腔体内的一端，其端面的最高点在水平面上的正投影位于所述检测筒(1)在水平面上的正投影的边缘。


2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，任一所述检测筒(1)上的位于所述腔体内的一端的端面为平面。


3.根据权利要求2所述的检测装置，其特征在于，任一所述检测筒(1)上的位于所述腔体内的一端的端面与重力方向的夹角为锐角。


4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，任一所述检测筒(1)上的位于所述腔体内的一端的端面上的最低点超出所述沉积腔室(2)中固定所述检测筒(1)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：宣城睿晖宣晟企业管理中心合伙企业有限合伙，
类型：新型
国别省市：安徽;34