一种干法刻蚀机及其使用方法技术

本发明专利技术涉及干法刻蚀技术领域，具体为一种干法刻蚀机及其使用方法。包括：密封通道，所述密封通道顶部的右侧贯穿设置有连续供料装置，所述密封通道的左侧设置有表面清洗设备，所述密封通道的传送带顶部等距离固定连接有传送装置，所述传送装置的顶部等距离固定连接有放置机构，所述传送装置内壁的前后两侧均等距离固定连接有传送轴，所述传送轴与所述传送装置的底部搭接，所述密封通道顶部开设有方形口。制程气体装置产生的气体通过输送管被输送至电浆隔离板多个内腔内，两个电浆隔离板相对面出气，使得两个电浆隔离板之间的气体形成电浆团，这样能够增加失电子的数量，进而增加了刻蚀的质量和效率。蚀的质量和效率。蚀的质量和效率。

【技术实现步骤摘要】
一种干法刻蚀机及其使用方法


[0001]本专利技术涉及干法刻蚀
，特别涉及一种干法刻蚀机及其使用方法。

技术介绍

[0002]干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点：一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的；另一方面，还可以利用电场对等离子体进行引导和加速，使其具备一定能量，当其轰击被刻蚀物的表面时，会将被刻蚀物材料的原子击出，从而达到利用物理上的能量转移来实现刻蚀的目的。因此，干法刻蚀是晶圆片表面物理和化学两种过程平衡的结果。
[0003]现有的干法刻蚀机在加工刻蚀板时，通过旋转上料平台进行供料，刻蚀板需要人工进行放置，这样当刻蚀完成后，需要人工连续的进行上料，非常的复杂，而且在完成刻蚀之后，需要对刻蚀板表面进行清洗处理，传统的单设有清洗水槽，这样清洗需要人工参与，机械化程度差，重要的是连续性差，每个环节离不开人工参与，导致加工效率低下。
[0004]专利技术人针对上述的现状，以解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]为了达到上述目的，本专利技术采用的主要技术方案包括：一种干法刻蚀机，包括：密封通道，所述密封通道顶部的右侧贯穿设置有连续供料装置，所述密封通道的左侧设置有表面清洗设备，所述密封通道的传送带顶部等距离固定连接有传送装置，所述传送装置的顶部等距离固定连接有放置机构，所述传送装置内壁的前后两侧均等距离固定连接有传送轴，所述传送轴与所述传送装置的底部搭接，所述密封通道顶部开设有方形口，所述方形口内套设有射频装置，所述射频装置内壁的前侧固定连接有制程气体装置，制程气体装置底部设置有基板。
[0006]优选的，所述密封通道包括中空方形套，所述中空方形套顶部右侧固定连接有安装板，所述安装板的顶部开设有下落口，所述下落口内壁的左右两侧均开设有活动槽和U形槽一，所述活动槽和U形槽一内腔连通，所述活动槽通过回位弹簧弹性连接有活动杆，所述活动杆的外侧固定连接有L形杆，所述活动杆的内侧固定连接有限位块。
[0007]优选的，所述传送装置包括板式传送带，所述板式传送带的前后两侧均固定连接有齿条，所述板式传送带顶部前侧设置有联动条。
[0008]优选的，所述连续供料装置包括放置箱，所述放置箱内壁前侧设置U形槽二，所述U形槽二横向槽内壁的前侧固定连接有两个合板，两个所述合板的相对一侧通过限位板固定连接，所述限位板的一侧穿插有滑杆，所述滑杆的一端固定连接有连接架，所述滑杆的另一端固定连接有导位块，所述连接架与所述限位板的相对一侧均固定连接有两个压缩弹簧，两个所述压缩弹簧的相对一侧通过弹性片固定连接所述弹性片内壁的两侧均通过挤压弹簧固定连接，所述连接架的一侧通过连接块与所述U形块固定连接，所述U形块内壁上下两
侧开设的滑槽内活动连接有一个轴杆，所述轴杆上套接有滚轴，所述U形块的一侧穿插有U形架，所述U形架位于所述U形块的一端固定连接有弧形块，所述弧形块通过调节弹簧与所述U形块内壁的一侧固定连接，所述放置箱中部设置有放料腔，所述放料腔内腔的左右两侧均通过铰杆铰接有卡紧条，所述卡紧条位于所述滚轴的一侧固定连接有橡胶板，位于最下方的滚轴与所述橡胶板的一侧搭接，其他所述滚轴与所述橡胶板预留间距，所述放置箱内且位于所述U形槽二内壁的底部穿插有竖杆，所述竖杆上套设有多个椭圆块，所述竖杆底部开设有斜槽，最下方所述椭圆块的两侧位于两个L形杆的下方，且L形杆位于所述椭圆块处开设有与所述椭圆块两端适配的弧形槽，位于所述L形杆上的椭圆块位于两个导位块的下方并相互接触，其他所述导位块的一侧与所述椭圆块内凸起处接触。
[0009]在刻蚀准备时，将刻蚀板从放料腔的上方放入，刻蚀板堆叠进入放料腔内，最下方的刻蚀板位于两个限位块的倾斜面上且被限位块的倾斜面限制住，限位块在放料腔内的最下方刻蚀板被下方的两个滚轴夹紧，夹紧的刻蚀板受到挤压被限制住，使得其他的刻蚀板堆叠在放料腔内，在进行放料操作时，联动条的底部与斜槽接触，斜槽能够带动竖杆向上移动，与此同时，竖杆上的最下方的椭圆块首先且L形杆上的弧形槽接触，接触弧形槽的椭圆块能够向两侧挤压两个L形杆，限制在限位块刻蚀板掉落在放置装置内，与此同时，竖杆继续上升，此时U形槽二内除了最下方的椭圆块至外，其他的椭圆块同时与相邻的两个导位块脱离搭接，这样在压缩弹簧、弹性片和挤压弹簧的弹性作用下，两个导向块朝向相对方向移动，并与椭圆块脱离接触，连接架上的滚轴与橡胶板接触，此时，所有位于放料腔内刻蚀板被夹紧，当联动条的最顶部到达斜槽内时，此时竖杆上升，最下方的椭圆块与最下方的两个导向块接触，导向块相背方向移动，与此同时，两个L形杆恢复至原来的位置，此时最下方的两个滚轴与橡胶板下方脱离接触，此时下方的刻蚀板进入限位块上，并被限位块限制住，完成上述系列操作后，竖杆在顶部设置的弹簧的弹性下向下移动，此时刻蚀板进一步移动至原先的位置。
[0010]优选的，所述表面清洗设备包括设备箱体，所述设备箱体内壁的顶部通过伸缩带固定连接有的底端固定连接有清洗头，所述设备箱体内壁的顶部固定连接有抽真空装置，所述清洗头的顶部固定连接有四个弹性杆，八个前后侧的弹性杆上均固定连接有横板，所述横板底部的中部固定连接有往复式丝杆，所述往复式丝杆上套设有限位套，所述中空方形套内壁的前后两侧均设置有齿轮，所述齿条与齿轮啮合，所述齿轮上套设有滚珠套，所述往复式丝杆套设在滚珠套内，所述清洗头底部内腔通过两个微调弹簧弹性连接有微调块，所述微调块的底部内嵌有伺服电机，所述伺服电机的底端套设有固定盘，所述固定盘的底部搭接有清洗板，所述清洗板与所述伺服电机的输出端固定连接，所述清洗板的底部开设有多个滑动槽，所述滑动槽内壁开设有圆孔，所述滑动槽内壁的顶部贯穿有顶杆，所述顶杆的顶部固定连接有通气斜板，所述固定盘的底部等距离开设有多个弧形斜槽，所述顶杆底部固定连接有闭合板，所述闭合板与所述清洗板底部均设置有海绵，所述通气斜板通过顶出弹簧与所述清洗板的卡槽内壁底部弹性连接，所述弧形斜槽内设置有抽吸孔所述清洗头的四周还设置有纠偏杆（35），所述抽吸孔与抽真空装置通过软管连通。
[0011]当刻蚀的产品完成加工后，产品被传送装置传送至表面清洗设备处时，由于表面清洗设备上的齿轮与传送装置上的的齿条接触时，齿轮能转动，此时两个往复式丝杆在滚珠套的带动下，向下移动，清洗头移动至向其下方移动的放置机构的顶部，并缓慢的进入放
置机构内部的刻蚀板上，纠偏杆（35）首先与放置机构的倾斜面接触，并调节微调块，微调块挤压微调弹簧，这样清洗板能够稳定的与刻蚀板顶部贴合，伺服电机启动，伺服电机带动清洗板缓慢的转动，海绵能够对产品的表面进行清洗，而转动时，当通气斜板与弧形斜槽对位时，在顶出弹簧的弹性下，闭合板向上移动，此时闭合板进入滑动槽的大腔内，在抽真空装置通过抽吸空，此时滑动腔内产生负压，滑动腔与产品之间的间隙能够将上方产生的反应液进行抽吸，这样清洗的效果更佳，而且更加的快速。
[0012]优选的，所述放本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种干法刻蚀机，其特征在于，包括：密封通道（1），所述密封通道（1）顶部的右侧贯穿设置有连续供料装置（2），所述密封通道（1）的左侧设置有表面清洗设备（3），所述密封通道（1）的传送带顶部等距离固定连接有传送装置（4），所述传送装置（4）的顶部等距离固定连接有放置机构（5），所述传送装置（4）内壁的前后两侧均等距离固定连接有传送轴（6），所述传送轴（6）与所述传送装置（4）的底部搭接，所述密封通道（1）顶部开设有方形口，所述方形口内套设有射频装置（9），所述射频装置（9）内壁的前侧固定连接有制程气体装置（8），制程气体装置（8）底部设置有基板（7）。2.根据权利要求1所述的一种干法刻蚀机，其特征在于：所述密封通道（1）包括中空方形套（11），所述中空方形套（11）顶部右侧固定连接有安装板（15），所述安装板（15）的顶部开设有下落口，所述下落口内壁的左右两侧均开设有活动槽（17）和U形槽一（16），所述活动槽（17）和U形槽一（16）内腔连通，所述活动槽（17）通过回位弹簧（12）弹性连接有活动杆（18），所述活动杆（18）的外侧固定连接有L形杆（13），所述活动杆（18）的内侧固定连接有限位块（14）。3.根据权利要求2所述的一种干法刻蚀机，其特征在于：所述传送装置（4）包括板式传送带（41），所述板式传送带（41）的前后两侧均固定连接有齿条（42），所述板式传送带（41）顶部前侧设置有联动条（43）。4.根据权利要求3所述的一种干法刻蚀机，其特征在于：所述连续供料装置（2）包括放置箱（21），所述放置箱（21）内壁前侧设置U形槽二（22），所述U形槽二（22）横向槽内壁的前侧固定连接有两个合板（23），两个所述合板（23）的相对一侧通过限位板（24）固定连接，所述限位板（24）的一侧穿插有滑杆（25），所述滑杆（25）的一端固定连接有连接架（27），所述滑杆（25）的另一端固定连接有导位块（26），所述连接架（27）与所述限位板（24）的相对一侧均固定连接有两个压缩弹簧（28），两个所述压缩弹簧（210）的相对一侧通过弹性片（28）固定连接所述弹性片（28）内壁的两侧均通过挤压弹簧（29）固定连接，所述连接架（27）的一侧通过连接块（211）与所述U形块（212）固定连接，所述U形块（212）内壁上下两侧开设的滑槽（217）内活动连接有一个轴杆（218），所述轴杆（218）上套接有滚轴（219），所述U形块（212）的一侧穿插有U形架（220），所述U形架（220）位于所述U形块（212）的一端固定连接有弧形块（221），所述弧形块（221）通过调节弹簧（222）与所述U形块（212）内壁的一侧固定连接，所述放置箱（21）中部设置有放料腔（215），所述放料腔（215）内腔的左右两侧均通过铰杆（214）铰接有卡紧条（213），所述卡紧条（213）位于所述滚轴（219）的一侧固定连接有橡胶板（216），位于最下方的滚轴（219）与所述橡胶板（216）的一侧搭接，其他所述滚轴（219）与所述橡胶板（216）预留间距，所述放置箱（21）内且位于所述U形槽二（22）内壁的底部穿插有竖杆（223），所述竖杆（223）上套设有多个椭圆块（224），所述竖杆（223）底部开设有斜槽（225），最下方所述椭圆块（224）的两侧位于两个L形杆（13）的下方，且L形杆（13）位于所述椭圆块（224）处开设有与所述椭圆块（224）两端适配的弧形槽，位于所述L形杆（13）上的椭圆块（224）位于两个导位块（26）的下方并相互接触，其他所述导位块（26）的一侧与所述椭圆块（224）内凸起处接触。5.根据权利要求4所述的一种干法刻蚀机，其特征在于：所述表面清洗设备（3）包括设备箱体（31），所述设备箱体（31）内壁的顶部通过伸缩带（32）固定连接有的底端固定连接有清洗头（311），所述设备箱体（31）内壁的顶部固定连接有抽真空装置（33），所述清洗头
（311）的顶部固定连接有四个弹性杆，八个前后侧的弹性杆上均固定连接有横板（34），所述横板（34）底部的中部固定连接有往复式丝杆，所述往复式丝杆上套设有限位套（37），所述中空方形套（11）内壁的前后两侧均设置有齿轮（36），所述齿条（42）与齿轮（36）啮合，所述齿轮（36）上套设有滚珠套，所述往复式丝杆套设在滚珠套内，所述清洗头（311）底部内腔通过两个微调弹簧（39）弹性连接有微调块（38），所述微调块（38）的底部内嵌有伺服电机（310），所述伺服电机（310）的底端套设有固定盘（312），所述固定盘（312）的底部搭接有清洗板（313），所述清洗板（313）与所述伺服电机（310）的输出端固定连接，所述清洗板（313）的底部开设有多个滑动槽，所述滑动槽内壁开设有圆孔，所述滑动槽内壁的顶部贯穿有顶杆（318），所述顶杆（318）的顶部固定连接有通气斜板（316），所述固定盘（312）的底部等距离开设有多个弧形斜槽（320），所述顶杆（318）底部固定连接有闭合板（315），所述闭合板（315）与所述清洗板（313）底部均设置有海绵，所述通气斜板（316）通过顶出弹簧（317）与所述清洗板（313）的卡槽（319）内壁底部弹性连接，所述弧形斜槽（320）内设置有抽吸孔（314）所述清洗头（311）的四周还设置有纠偏杆（35），所述抽吸孔（314）与抽真空装置（33）通过软管连通。6.根据权利要求5所述的一种干法刻蚀机，其特征在于：所述放置装置（5）包括安装盘（51），所述安装盘（51）的顶部套接有敞口喇叭环（52），所述敞口喇叭环（52）的表面等距离开设有多个弧形转槽（53），所述弧形转槽（53）内活动连接有弧形传送轴（54），弧形传送轴（54）表面设置有软硅胶，所述弧形传送轴（54）的外端套设有传动齿轮（55），所述安装盘（51）内转动连接有锥形齿盘（56），所述锥形齿盘（56）位于所述的正下方，所述锥形齿盘（56）与多个传动齿轮（55）啮合，所述安装盘（51）右侧通过载板（58）固定连接有驱动电机（59），所述驱动电机（59）的输出端固定连接有驱动轮（510），所述驱动轮（510）通过传送带（511）与所述锥形齿盘（56）侧壁开设的皮带槽（57）传动连接，所述安装盘（51）内壁的底部固定连接有环形套（512），所述环形套（512）内套接有放置平台（513），所述环形套（512）的内腔等距离设置有三个弹性条（514），所述弹性条（514）上开设有限位滑口（516），所述限位滑口（516）内穿插有定位杆（515），所述定位杆（515）固定连接在所述环形套（512）内壁的底部，所述环形套（512）内壁通过两个回压弹簧（518）固定连接有弧形条（517），所述弧形条（517）固定连接在所述弹性条...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵帅，
申请(专利权)人：邵帅，
类型：发明
国别省市：