一种致冷机低温泵制造技术

本发明专利技术涉及低温抽气技术领域，且公开了一种致冷机低温泵，包括泵壳，所述泵壳的下表面固定安装有制冷机驱动装置，所述制冷机驱动装置正面的上方开设有冷却气进气口，所述制冷机驱动装置正面的下方开设有冷却气出气口，所述制冷机驱动装置的一侧固定安装有预抽口。该致冷机低温泵，通过主齿轮、传动齿轮等齿轮的配合，使得在外冷阵板凝结气体过多时，外冷阵板向下移动达到极限位置后，此时一级冷头接入内冷阵板使得内冷阵板形成新的一级冷阵，使得在外冷阵板的一级冷阵吸力消失后能够调整一级冷阵位置，使得吸力不会停止，待外冷阵板处凝结气体化开排出后，一级冷头返回以形成原一级冷阵，继而使得低温泵形成连续吸气，继而提高吸气效率。吸气效率。吸气效率。

【技术实现步骤摘要】
一种致冷机低温泵


[0001]本专利技术涉及低温抽气
，具体为一种致冷机低温泵。

技术介绍

[0002]低温抽气技术是目前获得洁净真空环境的一种快速而有效的方法。随着温度下,致冷量近10瓦的两级高可靠小型致冷机的日臻完善,致冷机低温泵得到迅速发展,已成为一种获得清洁、无油污染的真空获得设备。低温泵的工作原理是利用气体在超低温表面发生物理吸附而达到排气的效果。
[0003]首先，在气体被低温泵吸入内部时，气体中所含有的H2O和CO2等冷凝点较高的气体在经过一级冷阵后凝结在一级冷阵表面，而气体中剩下的N2、 O2等不可凝气体进入二级冷阵后被吸附剂吸附，当一级冷阵冷凝的气体量过多，则排气速度降低，在凝结气体达到极限后，这时低温泵不在具备吸气动力，继而需要将低温泵加热，放出冷凝的H2O和CO2后，重新使用，使得在低温泵使用过程中无法进行连续吸气，使得吸气效率降低。
[0004]其次，由于在致冷机对降温气体进行通入通出时，在泵内部易产生较多的热量，而一级冷阵内部需要进行吸气，由于光子的存在，使得一级冷阵的通气口易受到热负载的热辐射的影响，造成冷阵内部温度升高，继而使得吸气功率下降，继而造成吸气速度降低，使得吸气容量减小。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种致冷机低温泵，具备除凝固气体的优点，解决了以上
技术介绍
中提到的问题。
[0006]本专利技术提供如下技术方案：一种致冷机低温泵，包括泵壳，所述泵壳的下表面固定安装有制冷机驱动装置，所述制冷机驱动装置正面的上方开设有冷却气进气口，所述制冷机驱动装置正面的下方开设有冷却气出气口，所述制冷机驱动装置的一侧固定安装有预抽口，所述泵壳的顶部固定安装有百叶窗，所述百叶窗下表面的中部固定安装有二级冷阵，所述二级冷阵的内部固定安装有吸附剂，所述二级冷阵底面的中部固定安装有二级冷头，所述二级冷头内部固定套接有通气柱，所述通气柱与制冷机驱动装置固定连接，所述百叶窗的下表面固定安装有分隔板，所述分隔板的下表面固定安装有进气板，所述进气板的外部活动套接有位于泵壳内部的外冷阵板，所述外冷阵板的顶部固定连接有卡顶头，所述外冷阵板的下表面固定安装有支撑弹簧，所述二级冷阵外部的周围均匀固定安装有与分隔板相连接的套筒，所述套筒内部活动套接有连通棒，所述连通棒内部开设有流道，所述套筒内部开设有回力腔，所述回力腔内部固定安装有与连通棒连接的回复弹簧，所述连通棒的另一端固定安装有与卡顶头活动连接的推杆，所述套筒靠近分隔板一侧的下表面开设有连通口，所述二级冷阵的外部固定安装有内冷阵板，所述内冷阵板和二级冷阵之间固定安装有隔温层，所述二级冷阵与内冷阵板及外冷阵板内部均开设有注冷道。
[0007]优选的，所述进气板的上表面均匀开设有多个转轴，所述转轴上活动套接有连通
转板，所述外冷阵板的下端内表面固定安装有外冷板齿，所述进气板内部的内外侧均固定安装有主齿轮，所述主齿轮的正面固定安装有传动齿轮，所述传动齿轮的外侧固定套接有齿条，两端所述主齿轮之间均匀固定安装有转轴，所述进气板内侧的传动齿轮的另一端活动连接有一级冷头，所述一级冷头活动套接在通气柱外部，所述通气柱位于一级冷头附近的上下端开设有柱孔，所述一级冷头的下端外侧均匀开设有与主齿轮相适配的冷头卡齿，所述一级冷头外部的上下端开设有冷头孔。
[0008]优选的，所述流道为反7形状，所述外冷阵板在上方时，所述流道使二级冷阵和分隔板外侧连通，所述外冷阵板下降后，所述流道与连通口连通，所述外冷阵板下降到卡顶头顶端与推杆连接时，此时为极限位置，所述分隔板为恒温吸热材料制成。
[0009]优选的，所述进气板表面的转轴呈一条直线，所述分隔板外侧的连通转板个数比分隔板内侧多。
[0010]优选的，所述一级冷头在上移后使得上端的柱孔和冷头孔连通，继而使得内冷阵板形成冷阵。
[0011]本专利技术具备以下有益效果：
[0012]1、该致冷机低温泵，通过主齿轮、传动齿轮等齿轮的配合，使得在外冷阵板凝结气体过多时，外冷阵板向下移动达到极限位置后，此时一级冷头接入内冷阵板使得内冷阵板形成新的一级冷阵，使得在外冷阵板的一级冷阵吸力消失后能够调整一级冷阵位置，使得吸力不会停止，待外冷阵板处凝结气体化开排出后，一级冷头返回以形成原一级冷阵，继而使得低温泵形成连续吸气，继而提高吸气效率。
[0013]2、该致冷机低温泵，通过外冷阵板的上下移动，使得连通转板发生转动，继而使得连通转板开口处避开正在冷凝气体的一侧，而对准凝结后停止工作的一侧，使得在正在冷凝一侧的冷阵受到的热辐射减少，保证冷阵内部的温度处于较低水平，从而稳定吸气速度，保证吸气效率，同时增大凝结一侧冷阵的热辐射，使得通过热辐射提高凝结气体的化开速度，提高冷阵利用速度。
附图说明
[0014]图1为本专利技术正面结构示意图；
[0015]图2为本专利技术图1中A
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A截面展示图；
[0016]图3为本专利技术进气板内部连接结构示意图；
[0017]图4为本专利技术一级冷头和通气柱结构示意图；
[0018]图5为本专利技术二极冷阵结构示意图；
[0019]图6为本专利技术图1中A处放大图。
[0020]图中：1、泵壳；2、制冷机驱动装置；3、冷却气进气口；4、冷却气出气口；5、预抽口；6、通气柱；7、百叶窗；8、二极冷阵；9、二级冷头；10、吸附剂；11、外冷阵板；12、卡顶头；13、进气板；14、支撑弹簧；15、套筒；16、连通转板；17、分隔板；18、转轴；19、一级冷头；20、外冷板齿； 21、冷头卡齿；22、主齿轮；23、传动齿轮；24、齿条；25、柱孔；26、冷头孔；27、内冷阵板；28、隔温层；29、注冷道；30、连通棒；31、流道； 32、回力腔；33、回复弹簧；34、连通口；35、推杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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6，一种致冷机低温泵，包括泵壳1，泵壳1的下表面固定安装有制冷机驱动装置2，制冷机驱动装置2正面的上方开设有冷却气进气口3，制冷机驱动装置2正面的下方开设有冷却气出气口4，冷却气进气口3和冷却气出气口4，以及内部的注冷道29形成低温回路，并通过冷头形成中间装置调节冷却气体的通入方向，制冷机驱动装置2的一侧固定安装有预抽口5，预抽口5连接需抽真空设备，泵壳1的顶部固定安装有百叶窗7，百叶窗7为人字形设置，使得上方的热辐射射入减小，继而保证低温泵内部温度在较低水平，百叶窗7下表面的中部固定安装有二级冷阵8，在一级冷阵后连通二级冷阵8，而二级冷阵8的温度需要低于一级冷阵，继而提高吸气效果，二级冷阵 8的内部固定安装有吸附剂10，用以吸附出去凝结气体后的剩余气体，二级冷阵8底面的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种致冷机低温泵，包括泵壳(1)，其特征在于：所述泵壳(1)的下表面固定安装有制冷机驱动装置(2)，所述制冷机驱动装置(2)正面的上方开设有冷却气进气口(3)，所述制冷机驱动装置(2)正面的下方开设有冷却气出气口(4)，所述制冷机驱动装置(2)的一侧固定安装有预抽口(5)，所述泵壳(1)的顶部固定安装有百叶窗(7)，所述百叶窗(7)下表面的中部固定安装有二级冷阵(8)，所述二级冷阵(8)的内部固定安装有吸附剂(10)，所述二级冷阵(8)底面的中部固定安装有二级冷头(9)，所述二级冷头(9)内部固定套接有通气柱(6)，所述通气柱(6)与制冷机驱动装置(2)固定连接，所述百叶窗(7)的下表面固定安装有分隔板(17)，所述分隔板(17)的下表面固定安装有进气板(13)，所述进气板(13)的外部活动套接有位于泵壳(1)内部的外冷阵板(11)，所述外冷阵板(11)的顶部固定连接有卡顶头(12)，所述外冷阵板(11)的下表面固定安装有支撑弹簧(14)，所述二级冷阵(8)外部的周围均匀固定安装有与分隔板(17)相连接的套筒(15)，所述套筒(15)内部活动套接有连通棒(30)，所述连通棒(30)内部开设有流道(31)，所述套筒(15)内部开设有回力腔(32)，所述回力腔(32)内部固定安装有与连通棒(30)连接的回复弹簧(33)，所述连通棒(30)的另一端固定安装有与卡顶头(12)活动连接的推杆(35)，所述套筒(15)靠近分隔板(17)一侧的下表面开设有连通口(34)，所述二级冷阵(8)的外部固定安装有内冷阵板(27)，所述内冷阵板(27)和二级冷阵(8)之间固定安装有隔温层(28)，所述二级冷阵(8)与内冷阵板(27)及外冷阵板(11)内部均开设有注...

【专利技术属性】
技术研发人员：向飘，
申请(专利权)人：向飘，
类型：发明
国别省市：