本实用新型专利技术公开了一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架、光刻机，所述支架上固定安装有电机一、电机二、滑杆、气管以及防尘网，所述支架上转动安装有两个转杆，且其中一个转杆与电机二驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆上共同套设有一个传送带，所述滑杆上转动安装有两个摇杆，两个所述摇杆上均转动安装有一个转块，且两个转块上均固定安装有毛刷一，两个所述摇杆与支架之间安装有固定机构。优点在于：通过对光刻机多面进行同时清理，提高了清理速度，通过对光刻机表面的灰尘进行吹除，有效的避免了利用擦布擦拭带来另外灰尘的问题发生，大大提高了清理效果。
【技术实现步骤摘要】
一种对极紫外光刻机表面去污的装置
本技术涉及刻光机去污
，尤其涉及一种对极紫外光刻机表面去污的装置。
技术介绍
光刻机是制造芯片的核心装备，它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上，由于光刻机长期暴露在空气中会导致刻光机表面累积大量灰尘，因此需要定期利用去污装置来对其进行灰尘清理。光刻机是一种较为精密的设备，对其表面进行清理采用人工擦拭清理方式，此种清理方式存在以下不足之处：1、擦拭效率低，2、擦拭布上留有部分灰尘导致擦拭清理效果差。因此可采用一种新型光刻机表面去污装置来解决现有技术的不足之处。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中擦拭效率低以及擦拭效果差的问题，而提出的一种对极紫外光刻机表面去污的装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架、光刻机，所述支架上固定安装有电机一、电机二、滑杆、气管以及防尘网，所述支架上转动安装有两个转杆，且其中一个转杆与电机二驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆上共同套设有一个传送带，所述滑杆上转动安装有两个摇杆，两个所述摇杆上均转动安装有一个转块，且两个转块上均固定安装有毛刷一，两个所述摇杆与支架之间安装有固定机构，所述滑杆上滑动安装有滑块，所述滑块与电机一之间安装有转动机构，所述滑块上固定安装有电推杆，所述电推杆上固定安装有毛刷二，所述气管上固定安装有多个喷头。在上述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，所述卡合机构包括套筒以及套杆，所述电机二驱动端上固定安装有套筒，靠近所述电机二一侧的转杆靠近电机二的一端上固定安装有与套筒相配合的套杆。在上述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，所述固定机构包括一个拉杆、一个卡杆以及两个弹簧，两个所述摇杆与对应的支架之间均固定安装有两个弹簧，两个所述摇杆上均固定安装有一个拉杆，且两个拉杆上均开设有齿槽，所述支架上固定安装有两个卡杆，且两个卡杆分别与对应的齿槽相配合。在上述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，所述转动机构包括齿轮一、齿轮二以及齿条，所述滑块上固定安装有齿条，所述支架上转动安装有齿轮二，且齿轮二与齿条之间相啮合，所述电机一驱动端上固定安装有齿轮一，且齿轮一与齿轮二之间相啮合。在上述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，所述支架底端固定安装有底座，且底座底部固定粘贴有橡胶垫。在上述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，所述卡杆远离支架的一侧采用塑料制成，且卡杆靠近支架的一侧采用钢材质制成。与现有的技术相比，本技术优点在于：1、通过气管以及喷头的配合使用，可对光刻机表面的灰尘进行吹除，有效的避免了利用擦布擦拭带来另外灰尘的问题发生，大大提高了清理效果，同时配合防尘网的使用，有效的降低灰尘飞扬造成周边环境污染的现象发生。2、通过毛刷一，毛刷二的配合使用，可对附着粘贴在光刻机表面的灰尘进行扫送或者扫落，进一步提高了对光刻机表面清理的清理效果，同时对光刻机多面进行清理，提高了清理速度。3、通过传送带、转杆的配合使用，可使得放置在传送带上的光刻机在支架内推移，使得对光刻机表面的清理更加具体、细致，提高了清理的清洁程度。综上所述，本技术通过对光刻机多面进行同时清理，提高了清理速度，通过对光刻机表面的灰尘进行吹除，有效的避免了利用擦布擦拭带来另外灰尘的问题发生，大大提高了清理效果。附图说明图1为本技术提出的一种对极紫外光刻机表面去污的装置的结构示意图；图2为图1中A部分放大结构示意图；图3为图1中B部分放大结构示意图。图中：1支架、2电机一、3电机二、4滑杆、5转杆、6传送带、7光刻机、8摇杆、9滑块、10转块、11毛刷一、12电推杆、13毛刷二、14齿轮一、15齿轮二、16齿条、17气管、18喷头、19弹簧、20拉杆、21卡杆、22套筒、23套杆。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。参照图1-3，一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架1、光刻机7，支架1上固定安装有电机一2、电机二3、滑杆4、气管17以及防尘网，支架1上转动安装有两个转杆5，且其中一个转杆5与电机二3驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个转杆5上共同套设有一个传送带6，滑杆4上转动安装有两个摇杆8，两个摇杆8上均转动安装有一个转块10，且两个转块10上均固定安装有毛刷一11，两个摇杆8与支架1之间安装有固定机构；上述值得注意的有以下几点：1、卡合机构包括套筒22以及套杆23，电机二3驱动端上固定安装有套筒22，靠近电机二3一侧的转杆5靠近电机二3的一端上固定安装有与套筒22相配合的套杆23，这样设置的作用是便于转杆5与电机二3之间的安装或者拆卸。2、固定机构包括一个拉杆20、一个卡杆21以及两个弹簧19，两个摇杆8与对应的支架1之间均固定安装有两个弹簧19，两个摇杆8上均固定安装有一个拉杆20，且两个拉杆20上均开设有齿槽，支架1上固定安装有两个卡杆21，且两个卡杆21分别与对应的齿槽相配合，这样设置的作用是将摇杆8进行固定，避免在清理过程中摇杆8晃动，导致清理效果不佳的问题发生。3、电机一2以及电机二3均可采用Y20-M60电机。4、支架1底端固定安装有底座，且底座底部固定粘贴有橡胶垫，这样设置的作用是避免支架1与地面的直接接触摩擦，有效的延长了支架1的使用寿命，同时橡胶垫的设置是为了减小底座与地面之间的摩擦力。5、卡杆21远离支架1的一侧采用塑料制成，且卡杆21靠近支架1的一侧采用钢材质制成，这样设置的作用是便于卡杆21与齿槽顺利卡合。6、传送带6为现有常见的连动机构，此处不做具体阐述。滑杆4上滑动安装有滑块9，滑块9与电机一2之间安装有转动机构，滑块9上固定安装有电推杆12，电推杆12上固定安装有毛刷二13，气管17上固定安装有多个喷头18；上述值得注意的有以下两点：1、转动机构包括齿轮一14、齿轮二15以及齿条16，滑块9上固定安装有齿条16，支架1上转动安装有齿轮二15，且齿轮二15与齿条16之间相啮合，电机一2驱动端上固定安装有齿轮一14，且齿轮一14与齿轮二15之间相啮合，这样设置的作用是为了使得滑块9可在滑杆4上本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架(1)、光刻机(7)，其特征在于，所述支架(1)上固定安装有电机一(2)、电机二(3)、滑杆(4)、气管(17)以及防尘网，所述支架(1)上转动安装有两个转杆(5)，且其中一个转杆(5)与电机二(3)驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆(5)上共同套设有一个传送带(6)，所述滑杆(4)上转动安装有两个摇杆(8)，两个所述摇杆(8)上均转动安装有一个转块(10)，且两个转块(10)上均固定安装有毛刷一(11)，两个所述摇杆(8)与支架(1)之间安装有固定机构，所述滑杆(4)上滑动安装有滑块(9)，所述滑块(9)与电机一(2)之间安装有转动机构，所述滑块(9)上固定安装有电推杆(12)，所述电推杆(12)上固定安装有毛刷二(13)，所述气管(17)上固定安装有多个喷头(18)。/n
【技术特征摘要】
1.一种对极紫外光刻机表面去污的装置，包括支架(1)、光刻机(7)，其特征在于，所述支架(1)上固定安装有电机一(2)、电机二(3)、滑杆(4)、气管(17)以及防尘网，所述支架(1)上转动安装有两个转杆(5)，且其中一个转杆(5)与电机二(3)驱动端之间通过卡合机构固定连接，两个所述转杆(5)上共同套设有一个传送带(6)，所述滑杆(4)上转动安装有两个摇杆(8)，两个所述摇杆(8)上均转动安装有一个转块(10)，且两个转块(10)上均固定安装有毛刷一(11)，两个所述摇杆(8)与支架(1)之间安装有固定机构，所述滑杆(4)上滑动安装有滑块(9)，所述滑块(9)与电机一(2)之间安装有转动机构，所述滑块(9)上固定安装有电推杆(12)，所述电推杆(12)上固定安装有毛刷二(13)，所述气管(17)上固定安装有多个喷头(18)。
2.根据权利要求1所述的一种对极紫外光刻机表面去污的装置，其特征在于，所述卡合机构包括套筒(22)以及套杆(23)，所述电机二(3)驱动端上固定安装有套筒(22)，靠近所述电机二(3)一侧的转杆(5)靠近电机二(3)的一端上固定安装有与套筒(22)相配合的套杆(23)。
3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：鹿国庆，任雨航，冯之琳，
申请(专利权)人：江苏海洋大学，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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