一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质，所述半导体测试装置包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。本发明专利技术提供的半导体测试装置中的站点控制模块和测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接，数据总线用于控制指令的传输，串行接口线用于测试数据的传输，从而将控制测试流程和测试数据回传流程分离，使得测试控制和测试数据传输可以异步执行，缩短了测试的时间，提高了测试效率。提高了测试效率。提高了测试效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质


[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质。

技术介绍

[0002]通常，在进行半导体器件测量过程中，控制端和测试端之间要进行控制指令和测试数据的传输。然而，常用的半导体测试装置的数据传输结构单一，使得其控制指令和测试数据无法异步执行。由此使得半导体器件的测试效率很低。

技术实现思路

[0003]本专利技术实施例期望提供一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质。
[0004]本专利技术的技术方案是这样实现的：
[0005]本专利技术实施例第一方面提供一种半导体测试装置，所述装置包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块和所述测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；
[0006]所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；
[0007]所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。
[0008]可选地，每个所述测试模块包括一老化板和至少一个最终测试板；
[0009]在每个所述测试模块中：所述最终测试板用于接收所述站点控制模块发送的所述控制指令，并基于所述控制指令控制所述老化板进行老化测试；所述老化板用于对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据发送至所述最终测试板；所述最终测试板还用于将所述测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。
[0010]可选地，所述站点控制模块包括多路串行接口线，所述多路串行接口线中的每一路串行接口线均与一最终测试板连接。
[0011]可选地，每个所述测试模块还包括NAND闪存接口单元；在每个所述测试模块中，所述老化板和所述最终测试板之间通过所述NAND闪存接口单元进行数据传输。
[0012]可选地，所述站点控制模块包括FPGA芯片，所述FPGA芯片用于提供多个串行接口，所述多个串行接口中的每个串行接口均与串行接口线连接。
[0013]可选地，所述站点控制模块包括ARM处理器，所述ARM处理器用以生成控制老化测试的控制指令。
[0014]本专利技术实施例第二方面提供一种数据处理方法，应用于测试端，所述方法包括：
[0015]通过数据总线接收控制端发送的控制指令；
[0016]基于所述控制指令，对半导体器件进行老化测试；
[0017]获取测试数据，并将所述测试数据通过串行接口线发送至所述控制端。
[0018]可选地，所述测试数据发送至所述控制端所需的时间不超过单次老化测试所需的
时间。
[0019]本专利技术实施例第三方面提供一种数据处理方法，应用于控制端，所述方法包括：
[0020]通过数据总线向控制端发送控制指令；
[0021]通过串行接口线接收测试端发送的测试数据。
[0022]可选地，控制端接收所述测试数据所需的时间不超过所述控制指令的发送时间间隔。
[0023]本专利技术实施例第四方面提供一种终端设备，所述设备包括存储器和处理器，其中，所述存储器中存储有指令；
[0024]所述处理器用于运行所述存储器中存储的指令，所述指令被处理器运行时，实现上述第二方面的任一项所述方法的步骤或上述第三方面的任一项所述方法的步骤。
[0025]本专利技术实施例第五方面提供一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时，实现上述第二方面的任一项所述方法的步骤或上述第三方面的任一项所述方法的步骤。
[0026]本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置、数据处理方法、设备及存储介质，该半导体测试装置包括站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块和所述测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。本专利技术提供的半导体测试装置中的站点控制模块和测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接，数据总线用于控制指令的传输，串行接口线用于测试数据的传输，从而将控制测试流程和测试数据回传流程分离，使得测试控制和测试数据传输可以异步执行，缩短了测试的时间，提高了测试效率。
附图说明
[0027]图1为本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置的结构示意图a；
[0028]图2为本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置的结构示意图b；
[0029]图3为本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置的结构示意图c；
[0030]图4为本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置的传输时间示意图；
[0031]图5为本专利技术实施例提供的一种数据处理方法的流程示意图X；
[0032]图6为本专利技术实施例提供的一种数据处理方法的流程示意图Y；
[0033]图7为本专利技术实施例提供的一种终端设备的结构示意图。
具体实施方式
[0034]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0035]当前，在进行半导体器件测量过程中，控制端和测试端之间要进行控制指令和测试数据的传输。然而，常用的半导体测试装置的数据传输结构单一，使得其控制指令和测试
数据无法异步执行。由此使得半导体器件的测试效率很低。基于此，提出本专利技术以下各实施例。
[0036]请参阅图1，图1为本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置的结构示意图a。本专利技术实施例提供的一种半导体测试装置包括：
[0037]站点控制模块(SITE Board)和至少一个测试模块；其中，站点控制模块和测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；
[0038]站点控制模块用于通过数据总线向测试模块发送控制指令；
[0039]测试模块用于根据控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至站点控制模块。
[0040]老化测试是指模拟产品在现实使用条件中涉及到的各种因素对产品产生老化的情况进行相应条件加强实验的过程。本实施例提供的一种半导体测试装置可应用于老化测试过程中。
[0041]在本实施例中，所述半导体器件可以为半导体存储芯片，例如三维NAND芯片，三维相变存储芯片等。
[0042]在本实施例中，站点控制模块通过数据总线向测试模块发送控制指令。测试模块在接收到控制指令后，开始对待测设备或者元器件进行老化测试。在此过程中生成的测试数据，例如日志文件，则暂存在测试模块的存储单元中。待本轮测试完成后，站点控制模块可以通过数据总线向测试模块发送新一轮的控制指令，开始新一轮的老化测试，而本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体测试装置，其特征在于，包括：站点控制模块和至少一个测试模块；其中，所述站点控制模块和所述测试模块之间通过数据总线和串行接口线连接；所述站点控制模块用于通过数据总线向所述测试模块发送控制指令；所述测试模块用于根据所述控制指令对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，每个所述测试模块包括：老化板和至少一个最终测试板；在每个所述测试模块中：所述最终测试板用于接收所述站点控制模块发送的所述控制指令，并基于所述控制指令控制所述老化板进行老化测试；所述老化板用于对半导体器件进行老化测试，并将测试得到的测试数据发送至所述最终测试板；所述最终测试板还用于将所述测试数据通过串行接口线发送至所述站点控制模块。3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，所述站点控制模块包括：多路串行接口线，所述多路串行接口线中的每一路串行接口线均与一最终测试板连接。4.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于，每个所述测试模块还包括：NAND闪存接口单元；在每个所述测试模块中，所述老化板和所述最终测试板之间通过所述NAND闪存接口单元进行数据传输。5.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述站点控制模块包括：FPGA芯片，所述FPGA芯片用于提供多个串行接口，所述多个串行接口中的每个串行接口均与串行接口线连接。6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭聪，李康，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：