一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，该方法为：一、将电解镍粉与铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；二、将镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内热压烧结，得到镍铬合金板坯；三、将镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理，得到溅射靶材用镍铬合金。本发明专利技术方法简单，操作方便，产品成品率高，粉末利用率高，无污染，制备过程中不会产生废料、废酸等污染物。废酸等污染物。

【技术实现步骤摘要】
一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法


[0001]本专利技术属于合金材料加工
，具体涉及一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法。

技术介绍

[0002]靶材作为溅射镀膜中的重要耗材，其质量直接关系镀膜产品的优劣。影响靶材质量的主要因素是：靶材致密度、晶粒尺寸大小及均匀性等。靶材致密度越高，放电现象越弱，性能越好。目前镍铬合金靶材主要应用于低辐射玻璃、半导体、光通讯工业等行业。

技术实现思路

[0003]本专利技术所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法。该方法简单，操作方便，产品成品率高，粉末利用率高，无污染，制备过程中不会产生废料、废酸等污染物。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案是：一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
[0005]步骤一、将费氏平均粒度为10μm～30μm的电解镍粉与费氏平均粒度为5μm～10μm的铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；
[0006]步骤二、将步骤一中所述镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内，在压力为10MPa～15MPa，温度为1100℃～1300℃的条件下热压烧结，得到镍铬合金板坯；
[0007]步骤三、将步骤二中所述镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理，得到溅射靶材用镍铬合金。
[0008]上述的一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，其特征在于，步骤一中所述电解镍粉和铬粉的质量纯度均≥99.99％。
[0009]上述的一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，其特征在于，步骤二中热压烧结的升温速率为15℃/min，保温时间为1h～5h。
[0010]上述的一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，其特征在于，步骤三中所述退火处理的温度为900℃～1000℃，时间为1h～2h。
[0011]本专利技术与现有技术相比具有以下优点：
[0012]本专利技术方法简单，操作方便，产品成品率高，粉末利用率高，无污染，制备过程中不会产生废料、废酸等污染物。
[0013]下面通过实施例，对本专利技术技术方案做进一步的详细说明。
具体实施方式
[0014]实施例1
[0015]本实施例的溅射靶材用镍铬合金的制备方法，包括以下步骤：
[0016]步骤一、将费氏平均粒度为10μm～30μm的电解镍粉与费氏平均粒度为5μm～10μm的铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；所述电解镍粉和铬粉的质量纯度均≥99.99％；
[0017]步骤二、将步骤一中所述镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内，在压力为10MPa，温度为1100℃的条件下热压烧结，得到镍铬合金板坯；热压烧结的升温速率为15℃/min，保温时间为5h；
[0018]步骤三、将步骤二中所述镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理，得到溅射靶材用镍铬合金；退火处理的温度为900℃，时间为2h。
[0019]实施例2
[0020]本实施例的溅射靶材用镍铬合金的制备方法，包括以下步骤：
[0021]步骤一、将费氏平均粒度为10μm～30μm的电解镍粉与费氏平均粒度为5μm～10μm的铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；所述电解镍粉和铬粉的质量纯度均≥99.99％；
[0022]步骤二、将步骤一中所述镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内，在压力为15MPa，温度为1300℃的条件下热压烧结，得到镍铬合金板坯；热压烧结的升温速率为15℃/min，保温时间为1h；
[0023]步骤三、将步骤二中所述镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理，得到溅射靶材用镍铬合金；退火处理的温度为1000℃，时间为1h。
[0024]实施例3
[0025]本实施例的溅射靶材用镍铬合金的制备方法，包括以下步骤：
[0026]步骤一、将费氏平均粒度为10μm～30μm的电解镍粉与费氏平均粒度为5μm～10μm的铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；所述电解镍粉和铬粉的质量纯度均≥99.99％；
[0027]步骤二、将步骤一中所述镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内，在压力为12MPa，温度为1200℃的条件下热压烧结，得到镍铬合金板坯；热压烧结的升温速率为15℃/min，保温时间为3h；
[0028]步骤三、将步骤二中所述镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进行退火处理，得到溅射靶材用镍铬合金；退火处理的温度为950℃，时间为1.5h。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种溅射靶材用镍铬合金的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将费氏平均粒度为10μm～30μm的电解镍粉与费氏平均粒度为5μm～10μm的铬粉按8:2的质量比置于混料器中混合均匀，然后将混合后的物料冷等静压成型，得到镍铬合金坯料；步骤二、将步骤一中所述镍铬合金坯料置于真空热压烧结炉内，在压力为10MPa～15MPa，温度为1100℃～1300℃的条件下热压烧结，得到镍铬合金板坯；步骤三、将步骤二中所述镍铬合金板坯切割至所需尺寸后进...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：郑文涛，
类型：发明
国别省市：