一种晶圆检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供的一种晶圆检测装置，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上。本发明专利技术提高了晶圆检测和搬运效率；提高了晶圆检测装置的适用范围以及检测结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆检测装置及方法
本专利技术属于晶圆检测领域，具体涉及一种晶圆检测装置及方法。
技术介绍
在半导体生产过程中通常采用晶圆存储器进行晶圆的存储，再通过晶圆搬运机器人进行晶圆的传输。在晶圆搬运之前通常需要进行特定位置的晶圆检测，若该位置有晶圆，才会控制搬运机器人进行搬运，若无晶圆，则需要进行位置调整再搬运。针对不同的晶圆存储器，其存储的晶圆尺寸不同，因此常常需要针对不同晶圆存储器进行检测装置的更换，以便于更好地识别晶圆位置。现有技术中晶圆检测装置和搬运者装置通常是分开设置的，先进行晶圆检测，再进行晶圆搬运。现有技术中常用的晶圆检测装置包括两种，一种是利用反射传感器来检测晶圆，主要原理为对着晶圆在一定角度发射光，通过接收到晶圆边缘反射光后，确认有无晶圆。该装置可对应不同种类的晶圆存储装置，但是检测结果不够准确，经常会发生误读情况，且经常将存在晶圆的结果显示为无晶圆。现有技术中另一种检测方法是利用对射传感器来检测有无晶圆，主要原理为在晶圆一边发射光，在晶圆另一边接收光，通过晶圆是否遮光，确认有无晶圆。该方法可准确检测出晶圆存储器中是否包含晶圆，但是不可对应不同种类的晶圆存储装置。针对不同的晶圆存储装置，需要更换不同型号的对射传感器。同时，现有技术中的晶圆检测装置和晶圆搬运装置为独立的系统，在搬运晶圆之前，需要先对晶圆存储器中晶圆进行位置检测，再将晶圆检测装置挪开，采用晶圆搬运装置进行晶圆搬运。这种分开设置的检测和搬运系统使得晶圆检测搬运效率低下，严重制约半导体产业的发展。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种晶圆检测装置及方法，能够针对不同型号的晶圆存储器进行晶圆检测，且能够将晶圆检测和晶圆搬运合并在同一装置中，大大提高了晶圆检测和搬运的效率。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种晶圆检测装置，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上；所述驱动电机通过主动轮、传输带和从动轮分别带动左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠进行旋转，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠将旋转运动转换为螺母的直线运动，进而使得发射端和接收端之间的间距发生变化。进一步地，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠为一体式滚珠丝杠。进一步地，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠位于两根滚珠丝杠上，且两根滚珠丝杠通过联轴器连接。进一步地，所述机械臂包括大臂和小臂，所述小臂的一端连接至大臂，所述小臂的另一端连接至连接板。进一步地，所述小臂连接小臂电机，所述大臂连接大臂电机，所述小臂电机带动小臂绕着所述大臂旋转，所述大臂电机带动大臂和小臂旋转。进一步地，所述小臂远离大臂的一端固定在所述连接板的侧边，所述连接板连接至连接板电机，所述连接板电机带动所述连接板绕着小臂旋转。进一步地，还包括晶圆存储器，所述晶圆存储器中放置若干个堆叠的晶圆。进一步地，所述连接板上还包括放大器和控制中心，所述放大器用于连接对射传感器和控制中心，并将所述对射传感器感应到的信号传输至控制中心。一种晶圆检测的方法，包括如下步骤：S01：连接板电机驱动连接板中对射传感器旋转至朝向晶圆存储器位置；S02：驱动电机带动左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠进行旋转，进而使得对射传感器的发射端和接收端位于晶圆存储器中晶圆两侧；S03：若所述发射端发射的射线被接收端接收，则说明存储器当前位置无晶圆，所述连接板带动对射传感器调整位置继续进行晶圆检测；若所述发射端发射的射线未被接收端接收，则说明存储器当前位置有晶圆，所述连接板电机驱动连接板旋转至末端执行器朝向晶圆存储器，所述末端执行器进行晶圆搬运。本专利技术具有如下有效效果：本专利技术创造性地将对射传感器和末端执行器集成在连接板的两侧，进而使得晶圆检测完成之后，只需要旋转连接板，即可采用另一端的末端执行器进行晶圆搬运，大大提高了晶圆检测和搬运效率；本专利技术创造性地将滚珠丝杠的旋转运动转换为对射传感器中发射端和接收端之间的直线运动，针对不同型号的晶圆存储器以及不同型号的晶圆，可以快速准确地调节对射传感器中发射端和接收端之间的间距，大大提高了晶圆检测装置的适用范围以及检测结果的准确性。附图说明附图1为本专利技术晶圆检测装置的整体结构示意图；附图2为本专利技术晶圆检测装置中连接板的结构示意图；附图标记：1连接板，11主动轮，12从动轮，13驱动电机，14左旋滚珠丝杠，15右旋滚珠丝杠，16直线导轨，17放大器，18传输带，19联轴器，21发射端，22接收端，3晶圆存储器，31晶圆，41小臂，42大臂，5末端执行器。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本专利技术的具体实施方式做进一步的详细说明。请参阅附图1-2，一种晶圆检测装置，包括机械臂、连接板1和末端执行器5，末端执行器5位于连接板1的一端，连接板1中与末端执行器5相对的另一端包括对射传感器，连接板1固定在机械臂的一端，且能够绕着机械臂的一端进行旋转；连接板1上还包括主动轮11、从动轮12、驱动电机13和滚珠丝杠，驱动电机13输出端连接主动轮11，主动轮11通过传输带18连接从动轮12，从动轮12连接滚珠丝杠，滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠14和右旋滚珠丝杠15，对射传感器包括相对的发射端21和接收端22，发射端21和接收端22分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠14和右旋滚珠丝杠15上；驱动电机13通过主动轮11、传输带18和从动轮12分别带动左旋滚珠丝杠14和右旋滚珠丝杠15进行旋转，左旋滚珠丝杠14和右旋滚珠丝杠15将旋转运动转换为螺母的直线运动，进而使得发射端21和接收端22之间的间距发生变化。本专利技术中左旋滚珠丝杠14和右旋滚珠丝15杠为一体式滚珠丝杠，从动轮12的输出端连接一体式滚珠丝杠，当从动轮12转动时，一体式滚珠丝杠中的左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠分别朝着两个不同的方向进行旋转。本专利技术中左旋滚珠丝杠位于右旋滚珠丝杠的左端。例如，从动轮顺时针旋转时，左旋滚珠丝杠进行左旋运动，右旋滚珠丝杠进行右旋运动，同时，左旋滚珠丝杠将左旋运动转换为对应螺母的向左运动，右旋滚准丝杠将右旋运动转换为对应螺母的向右运动，如此一来，对射传感器中发射端和接收端之间的间距变大。从动轮逆时针旋转时，左旋滚珠丝杠进行右旋运动，右旋滚珠丝杠进行左旋运动，同时，左旋滚珠丝杠将右旋运动转换为对应螺母的向右运动，右旋滚准丝杠将左旋运动转换为对应螺母的向左运动，如此一来，对射传感器中发射端和接收端之间的间距变大。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；/n所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上；/n所述驱动电机通过主动轮、传输带和从动轮分别带动左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠进行旋转，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠将旋转运动转换为螺母的直线运动，进而使得发射端和接收端之间的间距发生变化。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆检测装置，其特征在于，包括机械臂、连接板和末端执行器，所述末端执行器位于连接板的一端，所述连接板中与所述末端执行器相对的另一端包括对射传感器，所述连接板固定在所述机械臂的一端，且能够绕着所述机械臂的一端进行旋转；
所述连接板上还包括主动轮、从动轮、驱动电机和滚珠丝杠，所述驱动电机输出端连接主动轮，所述主动轮通过传输带连接从动轮，所述从动轮连接滚珠丝杠，所述滚珠丝杠包括左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠，所述对射传感器包括相对的发射端和接收端，所述发射端和接收端分别通过螺母固定连接在左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠上；
所述驱动电机通过主动轮、传输带和从动轮分别带动左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠进行旋转，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠将旋转运动转换为螺母的直线运动，进而使得发射端和接收端之间的间距发生变化。


2.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠为一体式滚珠丝杠。


3.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述左旋滚珠丝杠和右旋滚珠丝杠位于两根滚珠丝杠上，且两根滚珠丝杠通过联轴器连接。


4.根据权利要求1所述的一种晶圆检测装置，其特征在于，所述机械臂包括大臂和小臂，所述小臂的一端连接至大臂，所述小臂的另一端连接至连接板。


5.根据权利要求4所述的一种晶圆检...

【专利技术属性】
技术研发人员：武一鸣，古市昌稔，
申请(专利权)人：上海广川科技有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31