【技术实现步骤摘要】
一种应用于集成电路的芯片测试设备及测试方法
本专利技术属于集成芯片的测试
,具体的说是一种应用于集成电路的芯片测试设备及测试方法。
技术介绍
随着半导体制造技术的发展,机械的使用成本在获得最大利润的影响因素中尤为重要,而在后段测试中,由于现有技术中低端的集成电路测试设备往往只具有一个PMU(PrecisionMeasurementUnit,精密测量单元),PMU用于精确测量直流电的相关参数,既能驱动电流进入器件进行量测,又能用于给器件提供电压而量测所产生的电流,低端的集成电路测试设备中通常还包括有数量有限的DPS(DevicePowerSupply,电源器件)电源通道,通常为4个DPS电源通道,但是数量有限的DPS电源通道针对某些测试需求就无法进行测试。现有技术中也出现了一些关于注塑模具的技术方案,如申请号为CN111596199A的一项中国专利公开了一种测试芯片、集成电路测试方法及系统和检测设备,涉及集成电路测试领域,以解决在一个测试芯片中测试集成电路的新工艺。所述一种测试芯片包括:片上总线系统;与所述片上总线系统通信的选择器;以及与所述片上总线系统通信的处理器。所述集成电路测试方法包括上述技术方案所提的。现有技术中也出现了一些关于注塑模具的技术方案,如申请号为CN103336240A的一项中国专利公开了一种应用于集成电路的芯片测试中的测试电路,通过在DPS测试通道之后,待测芯片管脚之前增加一DPS扩展电路模块,DPS扩展电路模块包括光电耦合单元、译码单元、驱动单元和继电器线圈单元,单元内部连 ...
【技术保护点】
1.一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的顶部固定连接有配电柜(2),所述配电柜(2)远离底座(1)的一侧固定连接有固定板(3),所述固定板(3)远离配电柜(2)的一侧一边固定连接有中控机构(4),所述固定板(3)靠近中控机构(4)的一侧中部固定连接有芯片模拟驱动机构(5),所述芯片模拟驱动机构(5)的一端通过传输数据线(6)电性连接有运行装置(7),所述运行装置(7)的两端分别与底座(1)、固定板(3)固定连接,所述底座(1)的底部四角均固定连接有支撑块(8),所述芯片模拟驱动机构(5)内部放置有测试芯片(9),所述中控机构(4)与芯片模拟驱动机构(5)之间设置有移动定位机构(10)。/n
【技术特征摘要】
1.一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)的顶部固定连接有配电柜(2),所述配电柜(2)远离底座(1)的一侧固定连接有固定板(3),所述固定板(3)远离配电柜(2)的一侧一边固定连接有中控机构(4),所述固定板(3)靠近中控机构(4)的一侧中部固定连接有芯片模拟驱动机构(5),所述芯片模拟驱动机构(5)的一端通过传输数据线(6)电性连接有运行装置(7),所述运行装置(7)的两端分别与底座(1)、固定板(3)固定连接,所述底座(1)的底部四角均固定连接有支撑块(8),所述芯片模拟驱动机构(5)内部放置有测试芯片(9),所述中控机构(4)与芯片模拟驱动机构(5)之间设置有移动定位机构(10)。
2.根据权利要求1所述的一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:所述芯片模拟驱动机构(5)包括温度调节装置(51),所述温度调节装置(51)的顶部固定连接有导向滑轨(52),所述导向滑轨(52)的一端固定连接有限位板(53),所述温度调节装置(51)的顶部中部开设有安装槽(55),所述安装槽(55)靠近限位板(53)的一端通过铰链转动连接有引脚卡板(56),所述安装槽(55)远离引脚卡板(56)的一端内壁底部固定连接有清理刷(57),所述安装槽(55)靠近清理刷(57)的内壁一侧开设有矩形槽(54),所述矩形槽(54)的数量与测试芯片(9)的引脚数量相同。
3.根据权利要求2所述的一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:所述移动定位机构(10)的移动端固定连接有移动引脚卡板(11),所述移动引脚卡板(11)靠近温度调节装置(51)的一侧与导向滑轨(52)滑动连接,所述移动引脚卡板(11)的连接块的形状大小与矩形槽(54)的形状大小相适配,所述固定板(3)靠近移动定位机构(10)的一侧下方开设有连接滑槽(552),所述连接滑槽(552)的内壁侧面均与移动定位机构(10)的移动端滑动连接,所述安装槽(55)的内壁两侧均开设有连接槽(551),所述连接槽(551)的内壁侧面固定连接有固定机构(553),所述固定机构(553)在安装槽(55)内壁两侧交叉设置。
4.根据权利要求3所述的一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:所述固定机构(553)包括连接壳体(b1),所述连接壳体(b1)的一侧滑动连接有活塞杆(b2),所述活塞杆(b2)在连接壳体(b1)内部的一端设置有缓冲装置(b3),所述活塞杆(b2)远离连接壳体(b1)的一端固定连接有夹紧装置(b4),所述连接壳体(b1)靠近活塞杆(b2)的一侧固定连接有电磁铁(b5),所述夹紧装置(b4)靠近活塞杆(b2)的一侧固定连接有磁铁块(b6),所述连接壳体(b1)远离活塞杆(b2)的一端一侧连通有出风口(b7),所述电磁铁(b5)的接线柱均通过导线与中控机构(4)电性连接。
5.根据权利要求4所述的一种应用于集成电路的芯片测试设备,其特征在于:所述夹紧装置(b4)包括固定连接壳体(b41),所述固定连接壳体(b41)的内部滑动连接有移动活塞杆(b42),所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈益群,季伟,徐刚,陈泓翰,
申请(专利权)人:深圳群芯微电子有限责任公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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