涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

使涂布用喷嘴(10)在被涂布体(W)的上方与被涂布体相对移动，并从涂布用喷嘴前端部的狭缝状排出口(11)将涂布液(P)涂布于被涂布体的表面时，将收容有涂布液的涂布用喷嘴的涂布液导入部(13)以与狭缝状排出口连通的方式设置，并在该涂布液导入部内的底部，将在外周面设置有规定的图案形状的涂布液收容凹部(14a)的涂布液供给体(14)能旋转地设置在狭缝状排出口的上方，并使该涂布液供给体旋转而从涂布液收容凹部内将涂布液通过狭缝状排出口涂布于相对移动的被涂布体的表面。

【技术实现步骤摘要】
涂布装置及涂布方法
本专利技术涉及一种涂布装置及使用这种涂布装置将涂布液涂布于被涂布体的表面的涂布方法，所述涂布装置在被涂布体的上方设置有在前端部具有排出涂布液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且通过所述狭缝状排出口将涂布液涂布于被涂布体的表面。特别地具有如下特征：如上所述，在使被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并通过设置于涂布用喷嘴的狭缝状排出口而将涂布液涂布于被涂布体的表面时，在涂布液中不会产生浓度不均匀或粘度不均匀等，能够将涂布液以圆形等各种形状简单地涂布于被涂布体的表面。
技术介绍
在利用涂布装置将涂布液以规定的形状涂布于晶片等被涂布体的表面时，一直以来使用各种方法，例如，已知存在如下的涂布装置等各种涂布装置：在被涂布体的上方设置有在前端部具有使涂布液排出的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且通过所述狭缝状排出口将涂布液涂布于被涂布体的表面。在此，例如，在晶片等圆形的被涂布体的表面以圆形涂布涂布液时，如专利文献1所示，已知存在如下的旋转涂布机：将圆形的被涂布体设置在旋转的转台上并使之旋转，这样从喷嘴向旋转的被涂布体的中心部供给涂布液，并利用旋转的被涂布体的离心力将涂布液涂布于圆形的被涂布体的表面。但是，在专利文献1所示的旋转涂布机中，难以将涂布液以恒定的厚度均匀地供给到旋转的被涂布体的表面，而且供给到旋转的被涂布体的表面的涂布液因离心力而从被涂布体上飞溅而浪费了涂布液，尤其是在昂贵的涂布液的情况下，存在浪费的涂布液而导致成本增大的问题。另外，如专利文献2所示，提出了如下的涂布装置：将圆形的被涂布体设置于旋转的转台并使之旋转，并且使向旋转的被涂布体的表面供给涂布液的喷嘴从旋转的被涂布体的中心部向外周侧逐渐地移动，从而将涂布液以涡旋状向旋转的被涂布体的表面供给，并向旋转的圆形的被涂布体的表面涂布涂布液。但是，如专利文献2所示，在使向旋转的被涂布体的表面供给涂布液的喷嘴从旋转的被涂布体的中心部向外周侧逐渐地移动，从而以涡旋状向旋转的被涂布体的表面供给涂布液，并在旋转的圆形的被涂布体的表面涂布涂布液的情况下，存在如下问题：向圆形的被涂布体的表面涂布涂布液所需的时间变长，生产率变差，并且难以在被涂布体的表面以均匀的厚度涂布涂布液。另外，如专利文献3所示，提出了如下方案：设置供被涂布体载置并能旋转至少180度的旋转工作台，并且沿相当于以穿过所述被涂布体的中心的第一方向(X方向)轴分割成两部分而成的第一被涂布体周边区域和第二被涂布体周边区域中的一方的圆弧，配置用于排出树脂的多个喷嘴，设置以所述喷嘴与被涂布体的周边区域相对的方式设置的树脂膜形成头部、以及使被涂布体和树脂膜形成头部在与第一方向正交的第二方向(Y方向)上相对移动的移动机构，利用所述移动机构来控制树脂膜形成头部的移动，并且单独地控制各喷嘴中的涂布液的排出和停止，并单独地控制从各喷嘴排出的涂布液的排出宽度，设为这样的机构，在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液。但是，存在以下问题：如专利文献3所示，为了在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液，装置变得复杂化，并且其控制也困难，在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液所需的装置的成本变高，并且进行其控制操作也变得麻烦，无法简单地在圆形的被涂布体的表面涂布涂布液，进而，难以在被涂布体的表面以均匀的厚度涂布涂布液。另外，如专利文献4所示，提出了如下方案：在具有沿喷嘴长边方向延伸的圆柱形状的空洞部、沿喷嘴长边方向延伸的狭缝状的排出口、形成从所述空洞部到所述排出口的药液通路的拐角部的长条型的喷嘴主体中，收容涂布液的圆筒状的旋转歧管能旋转地嵌入到所述空洞部内，封闭该旋转歧管的端部，以从涂布液供给部向该旋转歧管内供给并收容涂布液，另一方面，在该旋转歧管的外周部贯通地设置与向被涂布体上供给的涂布液的涂布形状对应的开口，使所述喷嘴主体相对于涂布涂布液的被涂布体相对移动，并且使供给有涂布液的所述旋转歧管在空洞部内旋转，并将贯通地设置在该旋转歧管的外周的开口引导至与所述狭缝状的排出口对应的位置，从设置在旋转歧管的外周的所述开口通过狭缝状的排出口将涂布液供给到所述被涂布体的表面，并在被涂布体的表面以与设置在旋转歧管的外周的开口的形状对应的方式涂布涂布液。但是，存在以下问题：如专利文献4所示，在向能旋转地嵌入到喷嘴主体的空洞部内的圆筒状的旋转歧管内供给并收容涂布液，并使这样收容有涂布液的旋转歧管在空洞部内旋转，贯通该旋转歧管的外周设置的开口被引导至与喷嘴主体的狭缝状排出口对应的位置的情况下，若从所述开口通过狭缝状排出口向所述被涂布体的表面供给收容在旋转歧管内的涂布液，则收容在旋转歧管内的涂布液从贯通地设置的开口通过狭缝状排出口向被涂布体的表面过剩地供给，难以以恒定的厚度向被涂布体的表面供给涂布液，另外，旋转歧管内的涂布液通过设置于旋转歧管的所述开口流入旋转歧管与空洞部之间，该涂布液通过狭缝状排出口向被涂布体的表面滴落、此外收容在旋转歧管内的涂布液无法被充分使用，一部分涂布液的浓度或粘度产生不均，从而产生涂布不良。另外，专利文献5所示的结构也与所述专利文献4所示的结构相同，使涂布液收容在内筒部内，并使这样收容的涂布液通过周部开口与排出口重叠的部分而向被涂布体的表面供给，从而存在与所述专利文献4所示的结构相同的问题。现有技术文献专利文献专利技术文献1：日本专利特开2009-290029号公报专利技术文献2：日本专利特开2002-320902号公报专利技术文献3：日本专利特开2013-54128号公报专利技术文献4：日本专利特开2014-22545号公报专利技术文献5：日本专利特开2012-120938号公报
技术实现思路
本专利技术的技术问题在于，解决将涂布液以预定形状涂布于被涂布体等的表面时出现的如上所述的各种问题。即，本专利技术中的技术问题在于，在被涂布体的上方设置有在前端部具有排出涂布液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并通过所述狭缝状排出口将涂布液涂布于被涂布体的表面时，在涂布液中不会产生浓度不均匀或粘度不均匀等，能够在被涂布体的表面将涂布液形成为圆形等各种形状而简单地进行涂布。在本专利技术的涂布装置中，为了解决如上所述的技术问题，所述涂布装置在被涂布体的上方设置有在前端部具有排出涂布液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，通过所述狭缝状排出口而将涂布液涂布于被涂布体的表面，其中，从涂布液供给口向所述涂布用喷嘴的内部供给涂布液的涂布液导入部以与所述狭缝状排出口连通的方式设置，并且将在外周面设置有对供给到该涂布液导入部内的涂布液进行收容的成为规定图案形状的涂布液收容凹部的涂布液供给体以位于与所述涂布液导入部连通的狭缝状排出口的上方的方式能旋转地设置在涂布液导入部内，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且使向所述涂布液收容凹部内供给涂布液的涂布液供给体在涂布液导入部内旋转，从涂布液收容凹部内将涂布液通过涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口供给到与涂布本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种涂布装置，所述涂布装置在被涂布体的上方设置有在前端部具有排出涂布液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，通过所述狭缝状排出口而将涂布液涂布于被涂布体的表面，/n其特征在于，/n从涂布液供给口向所述涂布用喷嘴的内部供给涂布液的涂布液导入部以与所述狭缝状排出口连通的方式设置，并且将在外周面设置有涂布液收容凹部的涂布液供给体以位于与所述涂布液导入部连通的狭缝状排出口的上方的方式，能旋转地设置在涂布液导入部内，所述涂布液收容凹部对供给到该涂布液导入部内的涂布液进行收容且成为规定的图案形状，使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且使向所述涂布液收容凹部内供给有涂布液的涂布液供给体在涂布液导入部内旋转，从涂布液收容凹部内将涂布液通过涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口供给到与涂布用喷嘴相对移动的被涂布体的表面，并根据涂布液收容凹部的形状而将涂布液涂布于所述被涂布体的表面。/n

【技术特征摘要】
20191220 JP 2019-2299051.一种涂布装置，所述涂布装置在被涂布体的上方设置有在前端部具有排出涂布液的狭缝状排出口的涂布用喷嘴，并使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，通过所述狭缝状排出口而将涂布液涂布于被涂布体的表面，
其特征在于，
从涂布液供给口向所述涂布用喷嘴的内部供给涂布液的涂布液导入部以与所述狭缝状排出口连通的方式设置，并且将在外周面设置有涂布液收容凹部的涂布液供给体以位于与所述涂布液导入部连通的狭缝状排出口的上方的方式，能旋转地设置在涂布液导入部内，所述涂布液收容凹部对供给到该涂布液导入部内的涂布液进行收容且成为规定的图案形状，使所述被涂布体与涂布用喷嘴相对移动，并且使向所述涂布液收容凹部内供给有涂布液的涂布液供给体在涂布液导入部内旋转，从涂布液收容凹部内将涂布液通过涂布用喷嘴的前端部的狭缝状排出口供给到与涂布用喷嘴相对移动的被涂布体的表面，并根据涂布液收容凹部的形状而将涂布液涂布于所述被涂布体的表面。


2.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，
所述涂布液供给体形成为圆柱状，并且供给有涂布液的所述涂布用喷嘴的内部的涂布液导入部的至少底部形成为平面状，所述狭缝状排出口与该形成为平面状的涂布液导入部的底部连通，所述涂布液供给体以与该形成为平面状的涂布液导入部的底部接触的方式能旋转地设置。


3.如权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，
所述涂布液供给体形成为圆柱状，并且供给有涂布液的所述涂布用喷嘴的内部的涂布液导入部的至少底部形成为圆弧状，所述狭缝状排出口与该形成为圆弧状的涂布液导入部的底部连通，所述涂布液供给体以与该形成为圆弧状的涂布液导入部的底部接触的方式能旋转地设置。


4.如权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，
使所述被涂布体和涂布用喷嘴相对移动，并且使向所述涂布液收容凹部内供给有涂布液的涂布液供给体在涂布液导入部内旋转，从涂布液收容凹部内将涂布液...

【专利技术属性】
技术研发人员：西尾勤，
申请(专利权)人：中外炉工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP