一种用于晶圆生产的固定设备制造技术

本发明专利技术提供一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘、箱体、显示器、控制板，固定盘滑动于箱体前端，显示器安装于控制板的上面，控制板电连接于箱体的左下角；本发明专利技术因夹合块夹合或打开得到的流动气体，通过导风槽吹向主块与晶圆的接触面，使附于固定器的夹合块上小颗粒得到清理，避免了晶圆在生产的过程中，由于抖动使晶圆在加工中跑偏的问题，从而晶圆的加工精度与成品率均得到提高，通过夹合块夹合或打开时，突然停止产生的惯性使挡块的起伏层上下弹动，使得残留于排屑管内部的小颗粒得到清理，防止小颗粒受气流的影响而再次跑入排屑管，造成气体不能够流通的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产的固定设备
本专利技术属于晶圆光刻显影领域，更具体地说，特别涉及一种用于晶圆生产的固定设备。
技术介绍
晶圆生产固定器是生产晶圆时使用的固定设备，通过夹合或贴合的方式对晶圆进行固定，使晶圆在生产的过程中能够保持稳定，常用于晶圆生产、晶圆贴膜等晶圆加工的场所。基于上述描述本专利技术人发现，现有的一种用于晶圆生产的固定设备主要存在以下不足，比如：由于空气中的细小颗粒容易随气体的流动而附于固定器的夹合片上，若夹合片在对晶圆进行固定操作时，颗粒卡于夹合片与晶圆之间，则晶圆在生产的过程中，因抖动使颗粒产生位移，致使晶圆在加工中跑偏，从而导致晶圆的加工精度降低。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种用于晶圆生产的固定设备，以解决现有的问题。针对现有技术的不足，本专利技术一种用于晶圆生产的固定设备的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘、箱体、显示器、控制板，所述固定盘滑动于箱体前端，所述显示器安装于控制板的上面，所述控制板电连接于箱体的左下角，所述固定盘设有壳体、夹合块，所述壳体安装于固定盘的中部，所述夹合块与壳体内部间隙配合，所述夹合块呈梯形状且设有六块，其接触面均为较光滑的合金材料。作为优选，所述夹合块设有主块、底块，所述底块右侧与主块左端嵌固连接，所述主块左端设有小凸块，其小凸块为减小接触面而提高固定时的稳定性，所述底块上下为圆弧的梯形。作为优选，所述主块设有块身、导风槽、排屑管，所述导风槽位于块身左端，所述排屑管安装于块身内部，所述导风槽可将夹合块夹合或打开时，产生的气流导向主块左侧的小凸块，所述排屑管设有四道。作为优选，所述排屑管设有管体、挡块、振弹块、弹层，所述挡块安装于管体内部，所述振弹块与弹层底部嵌固连接，所述弹层与管体内部底端间隙配合，所述挡块为锥形的小块，且设有两组，均匀地分布于管体的两侧，所述弹层为具有较好弹性的橡胶制成。作为优选，所述挡块设有块体、起伏层、囊条、复弹球，所述起伏层安装于块体顶部，所述囊条两端与起伏层内壁嵌固连接，所述复弹球安装于块体内部，所述起伏层顶部为圆弧的凸起层块，且具有一定弹性的橡胶制成，所述囊条为气囊材质的布条。作为优选，所述振弹块设有连接板、压开块、推块，所述压开块上下两端分别与推块嵌固连接，所述连接板安装于推块上下两端，所述压开块为较好弹性的牛角形塑胶，所述推块为圆弧形的弹性橡胶块。与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：1、本专利技术因夹合块夹合或打开得到的流动气体，通过导风槽吹向主块与晶圆的接触面，使附于固定器的夹合块上小颗粒得到清理，避免了晶圆在生产的过程中，由于抖动使晶圆在加工中跑偏的问题，从而晶圆的加工精度与成品率均得到提高。2、通过夹合块夹合或打开时，突然停止产生的惯性使挡块的起伏层上下弹动，使得残留于排屑管内部的小颗粒得到清理，防止小颗粒受气流的影响而再次跑入排屑管，造成气体不能够流通的问题。附图说明图1为本专利技术一种用于晶圆生产的固定设备的结构示意图。图2为本专利技术固定盘俯视剖切的打开结构示意图。图3为本专利技术固定盘俯视剖切的夹合结构示意图。图4为本专利技术一种夹合块的结构示意图。图5为本专利技术主块俯视剖切的结构示意图。图6为本专利技术排屑管俯视剖切的结构示意图。图7为本专利技术挡块俯视剖切的结构示意图。图8为本专利技术振弹块俯视剖切的结构示意图。图中：固定盘-1、箱体-2、显示器-3、控制板-4、壳体-11、夹合块-12、主块-21、底块-22、块身-211、导风槽-212、排屑管-213、管体-131、挡块-132、振弹块-133、弹层-134、块体-321、起伏层-322、囊条-323、复弹球-324、连接板-331、压开块-332、推块-333。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例1如附图1至附图5所示：本专利技术提供一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘1、箱体2、显示器3、控制板4，所述固定盘1滑动于箱体2前端，所述显示器3安装于控制板4的上面，所述控制板4电连接于箱体2的左下角，所述固定盘1设有壳体11、夹合块12，所述壳体11安装于固定盘1的中部，所述夹合块12与壳体11内部间隙配合，所述夹合块12呈梯形状且设有六块，其接触面均为较光滑的合金材料，在顶块与底块分别向左右两侧滑动时，内部其他的夹合块12之间相互滑动配合，向内收缩成圆形，从而晶圆得到夹固。其中，所述夹合块12设有主块21、底块22，所述底块22右侧与主块21左端嵌固连接，所述主块21左端设有小凸块，其小凸块为减小接触面而提高固定时的稳定性，所述底块22上下为圆弧的梯形，在夹合完毕时中间的镂空可使晶圆透气，避免生产时的高温而损坏晶圆。其中，所述主块21设有块身211、导风槽212、排屑管213，所述导风槽212位于块身211左端，所述排屑管213安装于块身211内部，所述导风槽212可将夹合块12夹合或打开时，产生的气流导向主块21左侧的小凸块，从而与晶圆的接触面上残留的小颗粒得到清除，所述排屑管213设有四道，且均与导风槽212相接通，可将被吹除的小颗粒排出主块21。本实施例的具体使用方式与作用：本专利技术中，接通控制板4的电源，使箱体2的固定盘1伸出，将待加工的晶圆放于固定盘1上，操作控制板4使固定盘1壳体11内的夹合块12顶块与底块分别向左右两侧滑动，其内部其他的夹合块12之间相互滑动配合，将向内收缩成圆形，使得晶圆可以夹固，便于后续的加工，主块21左端的小凸块减小接触面而提高固定时的稳定性，使晶圆不会受加工时的振动而产生位移，底块22在夹合完毕时中间的镂空可使晶圆得到通风透气的效果，避免生产时的高温而损坏晶圆，导风槽212可通过夹合块12的夹合或打开时，所产生的气流导向主块21左侧的小凸块，从而主块21与晶圆的接触面上残留小颗粒得以清除，块身211内的排屑管213可借助导风槽本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘(1)、箱体(2)、显示器(3)、控制板(4)，所述固定盘(1)滑动于箱体(2)前端，所述显示器(3)安装于控制板(4)的上面，所述控制板(4)电连接于箱体(2)的左下角，其特征在于：/n所述固定盘(1)设有壳体(11)、夹合块(12)，所述壳体(11)安装于固定盘(1)的中部，所述夹合块(12)与壳体(11)内部间隙配合。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产的固定设备，其结构包括固定盘(1)、箱体(2)、显示器(3)、控制板(4)，所述固定盘(1)滑动于箱体(2)前端，所述显示器(3)安装于控制板(4)的上面，所述控制板(4)电连接于箱体(2)的左下角，其特征在于：
所述固定盘(1)设有壳体(11)、夹合块(12)，所述壳体(11)安装于固定盘(1)的中部，所述夹合块(12)与壳体(11)内部间隙配合。


2.如根据权利要求1所述的一种用于晶圆生产的固定设备，其特征在于：所述夹合块(12)设有主块(21)、底块(22)，所述底块(22)右侧与主块(21)左端嵌固连接。


3.如根据权利要求2所述的一种用于晶圆生产的固定设备，其特征在于：所述主块(21)设有块身(211)、导风槽(212)、排屑管(213)，所述导风槽(212)位于块身(211)左端，所述排屑管(213)安装于块身(211)内部。


4.如根据权利要求3所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：张健，
申请(专利权)人：张健，
类型：发明
国别省市：上海;31