晶圆贴片机制造技术

本申请涉及一种晶圆贴片机，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；工件传送机构水平设置；贴装部件前后移动机构设在工件传送机构传送方向端，贴装部件左右移动机构设置在工件传送机构的顶部，且贴装部件左右移动机构与贴装部件前后移动机构滑动连接；元件贴装部件滑动安装在贴装部件左右移动机构上；托盘前后移动机构设置在工件传送机构的一侧，托盘前后移动机构邻近工件传送机构设置；托盘左右移动机构滑动安装在托盘前后移动机构的顶部；晶圆托盘机构固定安装在托盘左右移动机构的顶部。其可以在同一设备上对普通元件和晶圆进行贴片。

【技术实现步骤摘要】
晶圆贴片机
本公开涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种晶圆贴片机。
技术介绍
晶圆贴片机是用来实现高速、高精度地贴放元器件的设备，是整个SMI、生产中最关键、最复杂的设备。晶圆贴片机是SMT的生产中要用到贴片设备，现在，晶圆贴片机已从早期的低速机械晶圆贴片机是对中发展为高速光学对中晶圆贴片机，并向多功能、柔性连接模块化发展。现有的晶圆贴片机进行贴片时不能兼顾对晶圆和其他电子元器件在同一晶圆贴片机上进行贴片。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种晶圆贴片机，其可以在同一设备上高精度的对工件传送机构上的普通元件和晶圆托盘机构上的晶圆进行贴片。根据本公开的一方面，提供了一种晶圆贴片机，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；其中，所述工件传送机构水平设置，用于元件沿水平方向传送；所述贴装部件前后移动机构设在所述工件传送机构传送方向端，所述贴装部件左右移动机构设置在所述工件传送机构的顶部，且所述贴装部件左右移动机构与所述贴装部件前后移动机构滑动连接；所述元件贴装部件滑动安装在所述贴装部件左右移动机构上，所述元件贴装部件的贴装头朝向所述工件传送机构设置；所述托盘前后移动机构设置在所述工件传送机构的一侧，所述托盘前后移动机构邻近所述工件传送机构设置；所述托盘左右移动机构滑动安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构之间设有夹角；r>所述晶圆托盘机构固定安装在所述托盘左右移动机构的顶部，用于放置被所述元件贴装部件贴装的晶圆。在一种可能的实现方式中，所述托盘前后移动机构包括第一驱动件、第一滑道和第一连接座；所述第一滑道设置在所述工件传送机构的一侧，所述第一滑道沿所述贴装部件前后移动机构设置；所述第一驱动件固定安装在所述第一滑道背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴朝向所述工件传送机构设置，所述第一驱动件的输出轴上固定安装有第一丝杠，所述第一连接座螺纹连接在所述第一丝杠上，且所述第一连接座与所述第一滑道滑动连接；所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一连接座的顶部。在一种可能的实现方式中，所述第一滑道包括顶部设有开口的第一盒体和第一顶板；所述第一盒体沿所述贴装部件前后移动机构设置，所述第一驱动件固定安装在所述第一盒体背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴贯穿所述第一盒体的侧壁；所述第一顶板固定安装在所述第一盒体的顶部开口处，所述第一顶板的大小小于所述第一盒体的顶部开口的大小，所述第一顶板处于所述第一盒体开口的中部位置；所述第一连接座设置有与所述第一丝杠相匹配的螺纹孔，所述第一连接座滑动设置在所述第一盒体的腔体内部；所述第一连接座的顶部设有第一伸出部，所述第一伸出部贯穿并伸出所述第一顶板与所述第一盒体开口之间形成的空隙，所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一伸出部的顶部。在一种可能的实现方式中，所述第一盒体的侧壁上固定有第一放置台，所述第一放置台呈开口朝上的凹形板状；所述第一放置台上固定有第一拖链，所述第一拖链用于归置所述第一驱动件的线路。在一种可能的实现方式中，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构垂直设置，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构的结构相同。在一种可能的实现方式中，所述晶圆托盘机构包括晶圆蓝膜托盘、晶圆蓝膜顶针和晶圆蓝膜支架；所述晶圆蓝膜支架固定安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述晶圆蓝膜托盘固定安装在所述晶圆蓝膜支架的顶端，所述晶圆蓝膜托盘伸出所述托盘前后移动机构；所述晶圆蓝膜顶针设置在所述晶圆蓝膜托盘的底部，用于将贴片后的晶圆顶出。在一种可能的实现方式中，所述贴装部件前后移动机构包括左支架、左滑道、左丝杠、右支架和右滑道；所述左支架和所述右支架均呈门状，所述左支架设置在所述工件传送部件传送方向上的左端，所述右支架设置在所述工件传送部件传送方向上的右端；所述左滑道固定安装在所述左支架的顶端，所述左滑道沿所述左支架的长度方向设置，所述右滑道固定安装在所述右支架的顶端，所述右滑道沿所述右支架的长度方向设置；所述左丝杠转动安装在所述左支架的顶部，所述左丝杠与所述左滑道平行设置，所述左丝杠长度方向上的一端设有左丝杠驱动电机；所述贴装部件左右移动机构的两端与所述左滑道、所述右滑道均滑动连接；所述贴装部件左右移动机构邻近所述左丝杠的一侧设有与所述左丝杠螺纹连接的左传动部件。在一种可能的实现方式中，所述贴装部件左右移动机构还包括左滑块、转动丝杠、右滑块和贴装机构滑道；所述左滑块固定安装在所述贴装机构滑道的滑动方向上的一端，所述右滑块固定安装在所述贴装机构滑动的滑动方向上的另一端；所述左滑块与所述左滑道滑动连接，所述右滑块与所述右滑道滑动连接；所述转动丝杠的一端转动安装在所述左滑块的顶端，所述转动丝杠的另一端固定安装在所述右滑块的顶端；所述元件贴装部件邻近所述转动丝杠的一侧设有贴装机构滑块，所述贴装机构滑块与所述转动丝杠转动连接，所述贴装机构滑块与所述贴装机构滑道滑动连接。在一种可能的实现方式中，所述工件传送机构包括沿水平方向平行设置的第一传送道和第二传送道；所述第一传送道朝向所述第二传送道的一侧开设有第一凹槽，所述第一凹槽沿所述第一传送道的长度方向开设，所述第二传送道朝向所述第一传送道的一侧开设有第二凹槽，所述第二凹槽沿所述第二传送道的长度方向设置；所述第一凹槽的内部设有第一带传送机构，所述第二凹槽的内部第二带传送机构，所述第一带传动机构的传送带顶部和所述第二带传送机构的传送带顶部搭接有载物板，用于带动所述载物板。在一种可能的实现方式中，还包括元件供料部件，所述元件供料部件设置在所述工件传送机构远离所述晶圆托盘机构的一侧，所述元件供料部件的供料方向朝向所述工件传送机构设置。本申请实施例晶圆贴片机设有工件传送机构和晶圆托盘机构可以在同一设备上对普通元件和晶圆进行贴片。具体如下，贴装部件左右移动机构滑动连接在贴装部件前后移动机构上，通过贴装部件前后移动机构控制贴装部件左右移动机构沿Y轴方向移动，由此控制安装在贴装部件左右移动机构上的元件贴装部件沿Y轴方向移动，同时贴装部件左右移动机构可以控制元件贴片部件沿X轴方向移动。由此，元件贴装部件可以在同一水平面上在任意方向对工件传送机构上的普通元件进行贴片。当对晶圆进行贴片时，元件贴装部件移动至圆晶托盘机构上方，托盘前后移动机构可以控制托盘左右移动机构沿Y轴方式移动，由此，控制安装在托盘左右移动机构上的晶圆托盘机构沿Y轴移动，同时，托盘左右移动机构可以控制晶圆托盘机构沿X轴移动，由此，可以使得元件贴片部件可以在同一平面内对晶圆托盘机构上的晶圆在任意位置上进行贴片。综上所述，本申请实施例晶圆贴片机可以在同一设备上高精度的对工件传送机构上的普通元件和晶圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆贴片机，其特征在于，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；/n其中，所述工件传送机构水平设置，用于元件沿水平方向传送；/n所述贴装部件前后移动机构设在所述工件传送机构传送方向端，所述贴装部件左右移动机构设置在所述工件传送机构的顶部，且所述贴装部件左右移动机构与所述贴装部件前后移动机构滑动连接；/n所述元件贴装部件滑动安装在所述贴装部件左右移动机构上，所述元件贴装部件的贴装头朝向所述工件传送机构设置；/n所述托盘前后移动机构设置在所述工件传送机构的一侧，所述托盘前后移动机构邻近所述工件传送机构设置；/n所述托盘左右移动机构滑动安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构之间设有夹角；/n所述晶圆托盘机构固定安装在所述托盘左右移动机构的顶部，用于放置被所述元件贴装部件贴装的晶圆。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆贴片机，其特征在于，包括元件贴装部件、工件传送机构、贴装部件前后移动机构、贴装部件左右移动机构、晶圆托盘机构、托盘前后移动机构和托盘左右移动机构；
其中，所述工件传送机构水平设置，用于元件沿水平方向传送；
所述贴装部件前后移动机构设在所述工件传送机构传送方向端，所述贴装部件左右移动机构设置在所述工件传送机构的顶部，且所述贴装部件左右移动机构与所述贴装部件前后移动机构滑动连接；
所述元件贴装部件滑动安装在所述贴装部件左右移动机构上，所述元件贴装部件的贴装头朝向所述工件传送机构设置；
所述托盘前后移动机构设置在所述工件传送机构的一侧，所述托盘前后移动机构邻近所述工件传送机构设置；
所述托盘左右移动机构滑动安装在所述托盘前后移动机构的顶部，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构之间设有夹角；
所述晶圆托盘机构固定安装在所述托盘左右移动机构的顶部，用于放置被所述元件贴装部件贴装的晶圆。


2.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述托盘前后移动机构包括第一驱动件、第一滑道和第一连接座；
所述第一滑道设置在所述工件传送机构的一侧，所述第一滑道沿所述贴装部件前后移动机构设置；
所述第一驱动件固定安装在所述第一滑道背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴朝向所述工件传送机构设置，所述第一驱动件的输出轴上固定安装有第一丝杠，所述第一连接座螺纹连接在所述第一丝杠上，且所述第一连接座与所述第一滑道滑动连接；
所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一连接座的顶部。


3.根据权利要求2所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述第一滑道包括顶部设有开口的第一盒体和第一顶板；
所述第一盒体沿所述贴装部件前后移动机构设置，所述第一驱动件固定安装在所述第一盒体背离所述工件传送机构的一侧，所述第一驱动件的输出轴贯穿所述第一盒体的侧壁；
所述第一顶板固定安装在所述第一盒体的顶部开口处，所述第一顶板的大小小于所述第一盒体的顶部开口的大小，所述第一顶板处于所述第一盒体开口的中部位置；
所述第一连接座设置有与所述第一丝杠相匹配的螺纹孔，所述第一连接座滑动设置在所述第一盒体的腔体内部；
所述第一连接座的顶部设有第一伸出部，所述第一伸出部贯穿并伸出所述第一顶板与所述第一盒体开口之间形成的空隙，所述托盘左右移动机构固定安装在所述第一伸出部的顶部。


4.根据权利要求3所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述第一盒体的侧壁上固定有第一放置台，所述第一放置台呈开口朝上的凹形板状；
所述第一放置台上固定有第一拖链，所述第一拖链用于归置所述第一驱动件的线路。


5.根据权利要求1所述的晶圆贴片机，其特征在于，所述托盘前后移动机构与所述托盘左右移动机构垂直设置，所述托盘前后移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：王恩来，唐志鹏，
申请(专利权)人：北京七星天禹电子有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11