吹除装置及整合吹除装置的焚化炉制造方法及图纸

实用新型专利技术提供了一种吹除装置及整合吹除装置的焚化炉，主要用于挥发有机废气处理系统中，且设有一焚化炉、至少一热交换器、至少一空压管及至少一气管，其中该空压管设有管身，该管身设有至少一孔洞，此外该气管的一端对应该空压管的管身的孔洞并与该空压管的管身结合，且该气管的管身设有多个孔洞，而该气管穿入该热交换器的导气管束内，使能通过该气管的管身的孔洞来吹出气体，以将粘着于热交换器的导气管束的二氧化硅的微粒吹离，让二氧化硅的微粒能漂浮，再由风车来带动吸走，因此，具有不用停机便能清除二氧化硅的微粒的功能，而达到省时及清洁的效果。

【技术实现步骤摘要】
吹除装置及整合吹除装置的焚化炉
技术涉及一种吹除装置及整合吹除装置的焚化炉，尤其涉及一种具有将二氧化硅的微粒吹离的功能，以运用在将热交换器的导气管束上的结垢清除，而达到省时及清洁的效果，而适用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的有机废气处理系统或类似设备。
技术介绍
半导体及光电产业的制造过程中会使用含硅(Si)的挥发性有机物，例如六甲基二硅氮烷(HMDS)，HMDS就像是一种界面活性剂，可以增强晶圆与光阻间的附着力；而这些含硅的有机物，例如六甲基二硅氮烷，经过高温，例如：732℃，或850℃，会受热分解及发生氧化反应，将产生二氧化硅的微粒。因此在经过带有热回收焚化炉的挥发性有机物处理系统处理之后，例如浓缩转轮加上焚化炉系统，或是焚化处理系统，这些焚化炉的炉膛高温，例如：732℃，或850℃，便会将含硅的有机物经过高温，例如：732℃，或850℃，使其受热分解及发生氧化反应，产生二氧化硅的微粒。而这些二氧化硅微粒，将会粘着在热回收直燃焚化炉的热交换器管表面，或是粘在蓄热式焚化炉的蓄热材料表面上。而粘附在热回收直燃焚化炉的热交换器管表面，或是粘在蓄热式焚化炉的蓄热材料表面上，容易造成表面结垢，使得换热效率变差，而在浓缩转轮加上焚化炉系统中，该焚化炉内的热交换器被堵塞或是堵塞通道变小，其中压损便会增加进而导致风量逐渐变小，而所谓的风量也就是转轮的脱附风量，当脱附风量变小之后，将逐渐影响浓缩转轮的脱附能力，浓缩转轮的处理效率或挥发性有机气体吸附性能将逐渐劣化。因此，鉴于上述问题，希望能提出一种具有提升有机废气处理效率的吹除装置及整合吹除装置的焚化炉，令使用者可方便操作组装。
技术实现思路
本技术的主要目的，在于提供一种吹除装置及整合吹除装置的焚化炉，主要用于挥发有机废气处理系统中，且设有一焚化炉、至少一热交换器、至少一空压管及至少一气管，其中，该热交换器设于该焚化炉内，该热交换器由一上盒体、一下盒体及多个导气管束所组成，该多个导气管束的两端分别与该上盒体的底板及下盒体的顶板连接，该空压管为中空管体，该空压管设有管身，该管身设有至少一孔洞，另外，该气管为中空管体，该气管的一端对应该空压管的管身的孔洞并与该空压管的管身结合，且该气管的管身设有多个孔洞，而该气管穿入该热交换器的导气管束内，使能通过该气管的管身的孔洞来吹出气体，以将粘着于热交换器的导气管束的二氧化硅的微粒吹离，让二氧化硅的微粒能漂浮，再由风车来带动吸走，因此，具有不用停机便能清除二氧化硅的微粒的功能，而达到省时及清洁的效果，进而增加整体的实用性。可选地，该气管的一端进一步为大于或等于该空压管的管身的孔洞。可选地，该气管的一端与该空压管的管身的结合方式进一步以焊接、螺纹连接和套接中的一种。可选地，该空压管的一端进一步在外径设有螺纹。可选地，该空压管的另一端进一步设有一小孔。可选地，该空压管的管身进一步设有至少一连结法兰。可选地，该焚化炉进一步为直燃式焚化炉。可选地，该气管进一步穿入该热交换器的下盒体内。本技术的另一目的，在于提供一种吹除装置及整合吹除装置的焚化炉，通过该空压管的一端与一空压设备结合，以通过该空压设备来提供气体输入空压管内，其中该气体为新鲜空气或是外气中的一种，让该空压设备所提供的气体能经过该空压管的管身的孔洞来进入该气管内，再由该气管的管身的孔洞来吹出，来借助高压方式来将气体挤压喷出的作用力，便于将粘着性较强的微粒同时吹离，而达到高压清洁的功能，进而增加整体的使用性。为了能够更进一步了解本技术的特征、特点和
技术实现思路
，请参阅以下有关本技术的详细说明与附图，所附图示仅提供参考与说明用，并非用来限制本技术。附图说明图1为本技术的吹除装置的上视示意图。图2为本技术的空压管的侧视示意图。图3为本技术的吹除装置的正视示意图。图4为本技术的吹除装置设于热交换器的导气管束内的剖面示意图。图5为本技术的吹除装置与空压设备连接示意图。图6为本技术的热交换器与焚化炉结合示意图。【符号说明】10、空压管11、管身12、孔洞13、螺纹14、连结法兰20、气管21、管身22、孔洞30、空压设备40、焚化炉50、热交换器51、上盒体511、气室52、下盒体521、第一下盒体522、第二下盒体53、导气管束具体实施方式请参阅图1至图6，为本技术实施例的示意图。而本技术的吹除装置及整合吹除装置的焚化炉的优选实施方式运用于半导体产业、光电产业或化学相关产业的挥发有机废气处理系统或类似设备，主要是将热交换器的导气管束上的结垢清除，而达到省时及清洁的效果，尤其是具有将二氧化硅的微粒吹离的功能。而本技术的吹除装置，主要包括有至少一空压管10及至少一气管20(如图1至图3所示)，其中该空压管10为中空管体，且该空压管10采用金属材质或是复合式材质(如铝合金等)，而该空压管10设有管身11，该管身11设有至少一孔洞12，另外该空压管10的一端呈圆开孔状，且该空压管10的一端的外径设有螺纹13，以方便进行螺纹连接，而该空压管10的另一端则可以是圆面的密封状态，也可以于该圆面上开设有一小孔(图未示)。此外，该空压管10的管身11能设有至少一连结法兰14，以通过该连结法兰14来进行固定该空压管10，让该空压管10的管身11具有支撑力。本技术的空压管10的实施方式乃是通过该空压管10的一端与一空压设备30连接(如图5所示)，以通过该空压设备30来提供气体入该空压管10内，再由该空压管10的管身11的孔洞12来吹出，而该气体为新鲜空气或是外气中的一种，另外该空压设备30具有压缩机及储气筒(图未示)，通过该压缩机来将气体快速送出，并以储气筒来储存部分气体，以方便后续使用。另外该气管20为中空管体，该气管20采用金属材质或是复合式材质(如铝合金等)，而该气管20的管身21设有多个孔洞22(如图1及图3所示)，且该气管20的一端呈圆开孔状，其中该气管20的一端对应该空压管10的管身11的孔洞12并与该空压管10的管身11结合，而该气管20的一端与该空压管10的管身11的结合方式以焊接、螺纹连接或是套接中任一方式，且该气管20的一端大于或等于该空压管10的管身11的孔洞12，以方便由该空压设备30所提供的气体能经过该空压管10的管身11的孔洞12来进入该气管20内，再由该气管20的管身21的孔洞22来吹出，来借助高压方式来将气体挤压喷出的作用力，便于将粘着性较强的微粒同时吹离，而达到高压清洁的功能。此外，本技术的整合吹除装置的焚化炉，主要用于挥发有机废气处理系统中，并设有一焚化炉40、至少一热交换器50、至少一空压管10及至少一气管20，该焚化炉40为直燃式焚化炉(TO)，而该热交换器50能置放于该本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种吹除装置，其特征在于，包括：/n至少一空压管，该空压管为中空管体，该空压管设有管身，该管身设有至少一孔洞；以及/n至少一气管，该气管为中空管体，该气管的一端对应该空压管的管身的孔洞并与该空压管的管身结合，该气管的管身设有多个孔洞。/n

【技术特征摘要】
20200911 TW 1092119261.一种吹除装置，其特征在于，包括：
至少一空压管，该空压管为中空管体，该空压管设有管身，该管身设有至少一孔洞；以及
至少一气管，该气管为中空管体，该气管的一端对应该空压管的管身的孔洞并与该空压管的管身结合，该气管的管身设有多个孔洞。


2.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该气管的一端为大于或等于该空压管的管身的孔洞。


3.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该气管的一端与该空压管的管身的结合方式以焊接、螺纹连接和套接中的一种。


4.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该空压管的一端在外径设有螺纹。


5.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该空压管的一端与一空压设备连接，以通过该空压设备来提供气体输入空压管内。


6.根据权利要求5所述的吹除装置，其特征在于，该气体为新鲜空气或是外气中的一种。


7.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该空压管的另一端设有一小孔。


8.根据权利要求1所述的吹除装置，其特征在于，该空压管的管身设有至少一连结法兰。


9.一种整合吹除装置的焚化炉，其特征在于，包括：
一焚化炉；
至少一热交换器，该热交换器设于该焚化炉内，该热交换器包括一上盒体、一下盒体及多个导气管束，该多个导气管束的两端分别与该上盒体的底板及下盒体的顶板...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑石治，刘邦锦，扶亚民，彭廷钟，刘邦昱，
申请(专利权)人：华懋科技股份有限公司，上海华懋环保节能设备有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71