硅片上料抓取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片上料抓取装置。该抓取装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、硅片对齐机构、双移动座线性模组、硅片抓取机构、传感器、花篮移动机构，所述机台上安装有花篮移动机构，花篮移动机构上连接有硅片花篮，机台下方设有硅片抬升机构，机台的台面上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔，机台上安装有硅片对齐机构和双移动座线性模组，双移动座线性模组位于硅片对齐机构上方。本实用新型专利技术通过可移动的硅片花篮将硅片移动至抓取工位。通过硅片抬升机构将硅片从花篮中抬出。通过硅片对齐机构将抬出的硅片拍齐。通过硅片抓取机构将拍齐的硅片抓起然后放入其他设备。本申请提高了硅片抓取的效率。

【技术实现步骤摘要】
硅片上料抓取装置
本技术涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片上料抓取装置。
技术介绍
硅片在生产加工的过程中，需要将硅片从硅片花篮中取出，取出的过程中要将硅片全部对齐，然后放进其他设备。但是现有的硅片抓取设备的取料效率较低。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种硅片上料抓取装置。通过可移动的硅片花篮将硅片移动至抓取工位。通过硅片抬升机构将硅片从花篮中抬出。通过硅片对齐机构将抬出的硅片拍齐。通过硅片抓取机构将拍齐的硅片抓起然后放入其他设备。本申请提高了硅片抓取的效率。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种硅片上料抓取装置，包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、硅片对齐机构、双移动座线性模组、硅片抓取机构、传感器、花篮移动机构，所述机台上安装有花篮移动机构，花篮移动机构上连接有硅片花篮，机台下方设有硅片抬升机构，机台的台面上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔，机台上安装有硅片对齐机构和双移动座线性模组，双移动座线性模组位于硅片对齐机构上方，双移动座线性模组的两个滑座上分别安装有硅片抓取机构，硅片花篮上安装有传感器。具体地，所述硅片抬升机构由硅片顶板组一、连接架一、连接架一升降线性模组组成，连接架一升降线性模组的滑座上固定有两个以上的连接架一，每个连接架一上固定有硅片顶板组一，硅片顶板组一由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。具体地，所述硅片对齐机构由硅片顶板组二、连接架二、缸体、电机、同步轮、同步带、滑座组成，缸体固定在机台上，缸体上滑配连接有两个滑座，两个滑座上分别固定有两个连接架二，连接架二上固定有硅片顶板组二，硅片顶板组二由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶，电机的机体固定在缸体上，缸体上转动连接有两个同步轮，电机的输出轴固定在一个同步轮上，两个同步轮均啮合在同步带上，两个滑座分别固定在同步带两侧。具体地，所述双移动座线性模组由模组缸体、两个滑座、两根丝杆、两个丝杆旋转电机组成，模组缸体固定在机台上，两个丝杆旋转电机分别固定在模组缸体两端，模组缸体内转动连接有两根相互平行的丝杆，两根丝杆端头分别固定在两个丝杆旋转电机的输出轴上，两个丝杆上均螺纹连接有滚珠螺母，两个滚珠螺母分别固定在两个滑座上。具体地，所述硅片抓取机构由吸板升降线性模组、吸板水平线性模组、吸板组成，吸板升降线性模组的缸体固定在双移动座线性模组的滑座上，吸板升降线性模组的滑座上固定有吸板水平线性模组，吸板水平线性模组的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板，吸板上设有吸孔，吸板底部固定有凸起块，凸起块固定在吸板水平线性模组的滑座上，相邻吸板的凸起块贴合在一起。具体地，所述传感器为对射传感器，传感器分别安装在硅片花篮的两侧板上。具体地，所述花篮移动机构为水平线性模组，硅片花篮固定在花篮移动机构的滑座上，花篮移动机构的缸体固定在机台上。本技术的有益效果是：本技术提供了一种硅片上料抓取装置。通过可移动的硅片花篮将硅片移动至抓取工位。通过硅片抬升机构将硅片从花篮中抬出。通过硅片对齐机构将抬出的硅片拍齐。通过硅片抓取机构将拍齐的硅片抓起然后放入其他设备。本申请提高了硅片抓取的效率。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的硅片抬升机构的结构示意图；图3是本技术的硅片对齐机构的硅片顶板组二的结构示意图；图4是本技术的吸板的结构示意图；图中1.机台，2.硅片花篮，3.硅片抬升机构，4.硅片对齐机构，5.双移动座线性模组，6.硅片抓取机构，7.传感器，8.花篮移动机构，31.硅片顶板组一，32.连接架一，33.连接架一升降线性模组，41.硅片顶板组二，42.连接架二，43.缸体，61.吸板升降线性模组，62.吸板水平线性模组，63.吸板。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。图1是本技术的结构示意图，图2是本技术的硅片抬升机构的结构示意图，图3是本技术的硅片对齐机构的硅片顶板组二的结构示意图，图4是本技术的吸板的结构示意图。如附图1所示，一种硅片上料抓取装置，包括机台1、硅片花篮2、硅片抬升机构3、硅片对齐机构4、双移动座线性模组5、硅片抓取机构6、传感器7、花篮移动机构8，所述机台1上安装有花篮移动机构8，花篮移动机构8上连接有硅片花篮2，机台1下方设有硅片抬升机构3，机台1的台面上设有用于穿过硅片抬升机构3的穿孔，机台1上安装有硅片对齐机构4和双移动座线性模组5，双移动座线性模组5位于硅片对齐机构4上方，双移动座线性模组5的两个滑座上分别安装有硅片抓取机构6，硅片花篮2上安装有传感器7。如附图2所示，硅片抬升机构3由硅片顶板组一31、连接架一32、连接架一升降线性模组33组成，连接架一升降线性模组33的滑座上固定有两个以上的连接架一32，每个连接架一32上固定有硅片顶板组一31，硅片顶板组一31由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。硅片抬升机构3的硅片顶板组一31上，每一个顶板的尖顶可以顶起一片硅片，一个硅片顶板组一31可以将一排硅片同时顶起。如附图3所示，硅片对齐机构4由硅片顶板组二41、连接架二42、缸体43、电机、同步轮、同步带、滑座组成，缸体固定在机台1上，缸体上滑配连接有两个滑座，两个滑座上分别固定有两个连接架二42，连接架二42上固定有硅片顶板组二41，硅片顶板组二41由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶，电机的机体固定在缸体上，缸体上转动连接有两个同步轮，电机的输出轴固定在一个同步轮上，两个同步轮均啮合在同步带上，两个滑座分别固定在同步带两侧。硅片对齐机构4的工作方式为，电机驱使同步轮旋转，旋转的同步轮带动同步带进行传动，传动的同步带拉动两个滑座沿着缸体43进行相反或相对的直线移动，从而实现两个硅片顶板组二41的开合。当一排硅片左右两侧的硅片顶板组二41将该排硅片夹住，就将一排硅片全部对齐。双移动座线性模组5由模组缸体、两个滑座、两根丝杆、两个丝杆旋转电机组成，模组缸体固定在机台1上，两个丝杆旋转电机分别固定在模组缸体两端，模组缸体内转动连接有两根相互平行的丝杆，两根丝杆端头分别固定在两个丝杆旋转电机的输出轴上，两个丝杆上均螺纹连接有滚珠螺母，两个滚珠螺母分别固定在两个滑座上。两根丝杆独立旋转，可以驱使两个滑座各自按照需要的轨迹进行移动。如附图4所示，硅片抓取机构6由吸板升降线性模组61、吸板水平线性模组62、吸板63组成，吸板升降线性模组61的缸体固定在双移动座线性模组5的滑座上，吸板升降线性模组61的滑座上固定有吸板水平线性模组62，吸板水平线性模组62的滑座上固定有数个相互平行且排列呈直线的吸板63，吸板63上设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片上料抓取装置，其特征在于：包括机台(1)、硅片花篮(2)、硅片抬升机构(3)、硅片对齐机构(4)、双移动座线性模组(5)、硅片抓取机构(6)、传感器(7)、花篮移动机构(8)，所述机台(1)上安装有花篮移动机构(8)，花篮移动机构(8)上连接有硅片花篮(2)，机台(1)下方设有硅片抬升机构(3)，机台(1)的台面上设有用于穿过硅片抬升机构(3)的穿孔，机台(1)上安装有硅片对齐机构(4)和双移动座线性模组(5)，双移动座线性模组(5)位于硅片对齐机构(4)上方，双移动座线性模组(5)的两个滑座上分别安装有硅片抓取机构(6)，硅片花篮(2)上安装有传感器(7)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片上料抓取装置，其特征在于：包括机台(1)、硅片花篮(2)、硅片抬升机构(3)、硅片对齐机构(4)、双移动座线性模组(5)、硅片抓取机构(6)、传感器(7)、花篮移动机构(8)，所述机台(1)上安装有花篮移动机构(8)，花篮移动机构(8)上连接有硅片花篮(2)，机台(1)下方设有硅片抬升机构(3)，机台(1)的台面上设有用于穿过硅片抬升机构(3)的穿孔，机台(1)上安装有硅片对齐机构(4)和双移动座线性模组(5)，双移动座线性模组(5)位于硅片对齐机构(4)上方，双移动座线性模组(5)的两个滑座上分别安装有硅片抓取机构(6)，硅片花篮(2)上安装有传感器(7)。


2.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述硅片抬升机构(3)由硅片顶板组一(31)、连接架一(32)、连接架一升降线性模组(33)组成，连接架一升降线性模组(33)的滑座上固定有两个以上的连接架一(32)，每个连接架一(32)上固定有硅片顶板组一(31)，硅片顶板组一(31)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶。


3.根据权利要求1所述的硅片上料抓取装置，其特征在于：所述硅片对齐机构(4)由硅片顶板组二(41)、连接架二(42)、缸体(43)、电机、同步轮、同步带、滑座组成，缸体固定在机台(1)上，缸体上滑配连接有两个滑座，两个滑座上分别固定有两个连接架二(42)，连接架二(42)上固定有硅片顶板组二(41)，硅片顶板组二(41)由一排相互平行且排列呈直线的顶板组成，顶板端头设有尖顶，电机的机体固定在缸体上，缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫善韵，
申请(专利权)人：苏州璞智自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32