本发明专利技术公开了一种异形晶片上下片装置，包括片库单元，片库单元包括多个晶片盒，多个晶片盒内存放异形晶片；传输机械手单元，传输机械手单元设于片库单元一侧，传输机械手单元包括第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置，第一横梁可滑动地连接于竖直梁上，第二横梁通过转动轴与第一横梁转动连接，且转动轴可滑动地连接于第一横梁上，夹持装置可滑动地连接于第二横梁上；工作台单元，工作台单元设于传输机械手的另一侧，工作台单元包括静电吸盘工作台和工作台底座，静电吸盘工作台可转动地安装于工作台底座上，静电吸盘工作台用于吸附异形晶片。通过四自由度机械手与可旋转的静电吸盘工作台协作的工作方式，能够保证异形晶片安全、稳定的转运。
【技术实现步骤摘要】
一种异形晶片上下片装置及其使用方法
本专利技术涉及半导体领域中晶片传输的
，更具体的说是涉及一种异形晶片上下片装置及其使用方法。
技术介绍
目前，对于三代半导体材料，诸如氮化镓(GaN)、氮化铝(AlN)、氧化镓(Ga2O3)、碳化硅(SiC)等，尚处于研发阶段，故标准圆形的晶片产品较少，经常会出现较多不同规格的异形材料样品，如方形、半圆形、多边形等。对这些异形晶片进行切割、研磨、抛光、清洗、烘干等工序处理后，形成可以应用的衬底晶片，之后就可以进行光刻、刻蚀、离子注入等工艺，最终形成不同功能的芯片产品。但是在这些不同规格晶片的转运过程中，要保证较高的洁净度要求，同时，还要实现对不同规格的晶片均能稳定、安全的转运。因此，如何提供一种能够兼容不同规格异形晶片的上下片装置是本领域技术人员亟需解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术提供了一种异形晶片上下片装置，本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为了实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种异形晶片上下片装置，包括：片库单元，所述片库单元包括多个晶片盒，多个晶片盒内分别存放有不同规格的异形晶片；传输机械手单元，所述传输机械手单元设于所述片库单元一侧，所述传输机械手单元包括第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置，所述第一横梁可滑动地连接于所述竖直梁上，所述第二横梁通过转动轴与所述第一横梁转动连接，且转动轴可滑动地连接于所述第一横梁上，所述夹持装置可滑动地连接于所述第二横梁上；<br>工作台单元，所述工作台单元设于所述传输机械手的另一侧，所述工作台单元包括静电吸盘工作台和工作台底座，所述静电吸盘工作台可转动地安装于所述工作台底座上，所述静电吸盘工作台用于吸附经所述夹持装置从所述片库单元中夹持过来的异形晶片。进一步地，所述夹持装置包括叉片本体和叉片推杆，所述叉片推杆可滑动地连接于所述第二横梁上，所述叉片本体固定设置于所述第二横梁上，所述叉片推杆沿所述第二横梁滑动并与所述叉片本体配合用于对异形晶片夹持与释放。进一步地，所述叉片本体远离所述第二横梁的一端具有第一钩体，所述叉片推杆远离所述第二横梁的一端具有第二钩体，所述第一钩体和第二钩体的上表面形成用于承载异形晶片的平面。进一步地，所述静电吸盘工作台的上表面设有供所述第一钩体和第二钩体的避让槽。进一步地，所述避让槽为环形槽。另一方面，本专利技术还提供了一种异形晶片上下片装置的使用方法，该一种异形晶片上下片装置的使用方法使用上述所述的一种异形晶片上下片装置，具体包括以下步骤：异形晶片上片流程和异形晶片下片流程；其中，异形晶片上片流程包括以下步骤：S1：人工将存储异形晶片的晶片盒放置在片库单元处；S2：第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置协作运动，带动夹持装置运动至片库单元上方；S3：夹持装置伸入晶片盒内，在夹持装置的动作下夹持异形晶片；S4：第二横梁相对于第一横梁发生转动，将夹持装置所夹持的异形晶片转动至工作台单元的交接片工位上方；S5：静电吸盘工作台发生转动将需要放置交接片区域转动至交接片工位；S6：夹持装置动作将夹持装置所夹持的异形晶片下放至静电吸盘工作台上，静电吸盘工作台与异形晶片静电吸附；S7：第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置协作运动，使夹持装置回复到初始工位，等待下一片异形晶片上片或执行其它操作；异形晶片下片流程包括以下步骤：S10：工件台单元中的静电吸盘工作台旋转至交接片工位；S20：第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置协作运动，带动夹持装置运动至交接片工位上方；S30：夹持装置动作夹住异形晶片，静电吸盘工作台释放静电吸附；S40：第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置协作运动，使夹持装置所夹持异形晶片并运动至相应规格的晶片盒上方，夹持装置动作将异形晶片放置在晶片盒中；S50：第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置协作运动，使夹持装置回复到初始工位，等待下一片异形晶片上片或执行其它操作。经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本专利技术公开提供了一种异形晶片上下片装置及其使用方法，通过四自由度机械手与可旋转的静电吸盘工作台协作的工作方式，实现对不同规格的异形晶片进行全自动上、下片操作，通过静电吸盘工作台与异形晶片采用静电吸附的方式固定，能够实现在工作台上对不同规格的异形晶片进行超平无痕吸附，在此过程中能够保证无手工接触异形晶片，进而保证晶片在转运过程中的洁净度，通过夹持装置的使用，能够保证异形晶片的安全、稳定的转运。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本专利技术提供的一种异形晶片上下片装置的结构示意图；图2为本专利技术提供的工作台单元的结构示意图；图3为本专利技术提供的夹持装置的结构示意图；图4为本专利技术提供的异形晶片上、下片的流程图。其中：1为片库单元；11为晶片盒；2为传输机械手单元；3为工作台单元；31为静电吸盘工作台；32为工作台底座；21为第一横梁；22为第二横梁；23为竖直梁；24为夹持装置；241为叉片本体；242为叉片推杆；4为异形晶片；5为第一钩体；6为第二钩体；7为避让槽。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。下面结合附图具体描述根据本专利技术实施例的一种异形晶片上下片装置。参见图1-3，一种异形晶片上下片装置，包括：片库单元1、传输机械手单元2和工作台单元3。片库单元1包括多个晶片盒11，多个晶片盒11内分别存放有不同规格的异形晶片4，且多个晶片盒11呈一字摆放，本实施例中以四个晶片盒11为例，传输机械手单元2设于片库单元1的一侧；传输机械手单元2包括第一横梁21、第二横梁22、竖直梁23和夹持装置24，第一横梁21可滑动地连接于竖直梁23上，能够实现第一横梁21沿竖直梁23方向滑动，第二横梁22通过转动轴(图中未标出)与第一横梁21转动连接，使得第二横梁22能够以转动本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种异形晶片上下片装置，其特征在于，包括：/n片库单元，所述片库单元包括多个晶片盒，多个晶片盒内分别存放有不同规格的异形晶片；/n传输机械手单元，所述传输机械手单元设于所述片库单元一侧，所述传输机械手单元包括第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置，所述第一横梁可滑动地连接于所述竖直梁上，所述第二横梁通过转动轴与所述第一横梁转动连接，且转动轴可滑动地连接于所述第一横梁上，所述夹持装置可滑动地连接于所述第二横梁上；/n工作台单元，所述工作台单元设于所述传输机械手的另一侧，所述工作台单元包括静电吸盘工作台和工作台底座，所述静电吸盘工作台可转动地安装于所述工作台底座上，所述静电吸盘工作台用于吸附经所述夹持装置从所述片库单元中夹持过来的异形晶片。/n
【技术特征摘要】
1.一种异形晶片上下片装置，其特征在于，包括：
片库单元，所述片库单元包括多个晶片盒，多个晶片盒内分别存放有不同规格的异形晶片；
传输机械手单元，所述传输机械手单元设于所述片库单元一侧，所述传输机械手单元包括第一横梁、第二横梁、竖直梁和夹持装置，所述第一横梁可滑动地连接于所述竖直梁上，所述第二横梁通过转动轴与所述第一横梁转动连接，且转动轴可滑动地连接于所述第一横梁上，所述夹持装置可滑动地连接于所述第二横梁上；
工作台单元，所述工作台单元设于所述传输机械手的另一侧，所述工作台单元包括静电吸盘工作台和工作台底座，所述静电吸盘工作台可转动地安装于所述工作台底座上，所述静电吸盘工作台用于吸附经所述夹持装置从所述片库单元中夹持过来的异形晶片。
2.根据权利要求1所述的一种异形晶片上下片装置，其特征在于，所述夹持装置包括叉片本体和叉片推杆，所述叉片推杆可滑动地连接于所述第二横梁上，所述叉片本体固定设置于所述第二横梁上，所述叉片推杆沿所述第二横梁滑动并与所述叉片本体配合用于对异形晶片夹持与释放。
3.根据权利要求2所述的一种异形晶片上下片装置，其特征在于，所述叉片本体远离所述第二横梁的一端具有第一钩体，所述叉片推杆远离所述第二横梁的一端具有第二钩体，所述第一钩体和第二钩体的上表面形成用于承载异形晶片的平面。
4.根据权利要求3所述的一种异形晶片上下片装置，其特征在于，所述静电吸盘工作台的上表面设有供所述第一钩体和第二钩体的避让槽。
5.根据权利要求4所述的一种异形晶片上下片装置，其特征在于，所述避让槽为环形槽。
【专利技术属性】
技术研发人员：熊伟，张鹏黎，
申请(专利权)人：中国科学院合肥物质科学研究院，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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