一种离子浓度检测设备和方法技术

技术编号:28832759 阅读:11 留言:0更新日期:2021-06-11 23:28
本发明专利技术提供一种离子浓度检测设备和方法。离子浓度检测设备包括输入组件和分析组件,所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环,所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。本发明专利技术实施例在环境中可能存在的污染物一定的情况下,对于标准溶液的影响更低,从而有助于提高测量结果的准确程度。

【技术实现步骤摘要】
一种离子浓度检测设备和方法
本专利技术涉及检测
,尤其涉及一种离子浓度检测设备和方法。
技术介绍
离子色谱法可以用于测量硅片等半导体、超纯水或空气中阴阳离子含量,相关技术中,通常采用的是大定量环单一进样或微量进样针和大环共同作用的方式。然而这种测量方式可能受到环境的污染,导致对于离子检测的准确程度降低。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种离子浓度检测设备和方法,以解决现有测量方式可能受到环境的污染,导致对于离子检测的准确程度降低的问题。第一方面,本专利技术实施例提供了一种离子浓度检测设备,包括输入组件和分析组件,所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环,所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。可选的,所述第一定量环分别与所述十通阀的七号位和十号位相连,所述第二定量环分别与所述十通阀的二号位和五号位相连,所述分析组件通过所述十通阀的六号位与所述十通阀相连。可选的,所述分析组件包括六通阀、浓缩柱、分析柱、动力泵和电导检测器,所述十通阀的六号位与所述六通阀的五号位相连,所述浓缩柱的输入端与所述六通阀的四号位相连,所述浓缩柱的输出端与所述六通阀的一号位相连,所述动力泵与所述六通阀的三号位相连,所述分析柱的输入端与所述六通阀的二号位相连,所述电导检测器与所述分析柱的输出端相连。第二方面,本专利技术实施例提供了一种离子浓度检测方法,应用于第一方面中任一项所述的离子浓度检测设备,所述方法包括以下步骤:分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析,获取每份标准溶液对应的第一分析结果;根据所述第一分析结果建立离子浓度的标准对应关系;将待测样品输入第二定量环,获取所述待测样品的第二分析结果,其中,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述多份标准溶液的浓度分别为多个目标浓度的N倍,所述待测样品中离子浓度位于所述多个目标浓度覆盖的离子浓度区间;根据所述标准对应关系和所述第二分析结果确定待测样品中的离子浓度。可选的,分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析,获取每份标准溶液对应的第一分析结果,包括:分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件;通过所述分析组件对所述标准溶液进行分析,获得每一浓度的所述标准对应的第一分析结果。可选的,将待测样品输入第二定量环,获取所述待测样品的第二分析结果,包括:将所述待测样品通过连接于所述十通阀上的第二定量环输入所述分析组件,通过所述分析组件对所述待测样品进行分析,获得所述待测样品对应的第二分析结果。可选的,在应用于第一方面第二种离子浓度检测设备的情况下,所述分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件,包括:在所述十通阀处于第一工作状态下,通过所述十通阀的九号位向所述第一定量环输入标准溶液,其中,所述十通阀处于第一工作状态时,所述十通阀的九号位和十号位相连通,所述十通阀的六号位和七号位相断开;将所述十通阀切换至第二工作状态,将所述第一定量环中的标准溶液输入所述分析组件,其中,所述十通阀处于第二工作状态时,所述十通阀的九号位和十号位相断开,所述十通阀的六号位和七号位相连通。可选的,所述将待测样品输入第二定量环,包括:在所述十通阀处于第二工作状态时,通过所述十通阀的三号位向所述第二定量环输入待测样品,其中,所述十通阀处于第二工作状态时,所述十通阀的二号位和三号位相连通,所述十通阀的五号位和六号位相断开;将所述十通阀切换至第一工作状态,将所述第二定量环中的待测样品输入所述分析组件,其中,所述十通阀处于第一工作状态时,所述十通阀的二号位和三号位相断开,所述十通阀的五号位和六号位相连通。可选的,在应用于第一方面第三种离子浓度检测设备的情况下,所述通过所述分析组件对所述待测样品进行分析,包括:在所述六通阀处于第一工作状态时,通过所述六通阀的五号位将所述待测样品注入浓缩柱,并通过所述六通阀的六号位排除基底,其中,所述六通阀处于第一工作状态时,所述六通阀的四号位和五号位相连通,所述六通阀的一号位和六号位相连通;将所述六通阀切换为第二工作状态,利用动力泵将所述浓缩柱中浓缩后的待测样品由所述六通阀的二号位输入所述分析柱和所述电导检测器。可选的,所述第二定量环的容积大于或等于所述第一定量环的容积的20倍。本专利技术实施例通过设置第一定量环和第二定量环,其中,第一定量环用于向分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,第二定量环用于向分析组件输入待测样品。由于第二定量环的容积为第一定量环容积的N倍,N大于1,所以向第二定量化中注入的标准溶液的浓度需要更高,这样,在环境中可能存在的污染物一定的情况下,对于标准溶液的影响更低,从而有助于提高测量结果的准确程度。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案,下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获取其他的附图。图1是本专利技术一实施例中十通阀的第一工作状态示意图;图2是本专利技术一实施例中十通阀的第二工作状态示意图;图3是本专利技术一实施例中离子浓度检测方法的流程图;图4是本专利技术一实施例中离子浓度检测的场景示意图;图5是本专利技术一实施例中标准对应关系对应的标准曲线示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获取的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。本专利技术实施例提供了一种离子浓度检测设备。在一个实施例中,该离子浓度检测设备包括输入组件和分析组件,其中,输入组件包括十通阀101、第一定量环102和第二定量环103,第一定量环102和第二定量环103分别与十通阀101的不同号位相连,第二定量环103的容积为第一定量环102容积的N倍,N大于1,第一定量环102用于向分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,第二定量环103用于向分析组件输入待测样品。如图1和图2所示,图1为一种十通阀101的结构,十通阀101包括十个号位,记做一号位至十号位,十通阀101具有两种工作状态,本实施例中记做第一工作状态和第二工作状态。如图1所示,在第一工作状态下,十通阀101的一号位和二号位相连通、三号位和四号位相连通、五号位和六号位相连通、七号位和八号位相连通、九号位和十号位相连通,除此之外,任意两个本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子浓度检测设备,其特征在于,包括输入组件和分析组件,所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环,所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子浓度检测设备,其特征在于,包括输入组件和分析组件,所述输入组件包括十通阀、第一定量环和第二定量环,所述第一定量环和所述第二定量环分别与所述十通阀的不同号位相连,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述第一定量环用于向所述分析组件依次输入离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液,所述第二定量环用于向所述分析组件输入待测样品。


2.根据权利要求1所述的离子浓度检测设备,其特征在于,所述第一定量环分别与所述十通阀的七号位和十号位相连,所述第二定量环分别与所述十通阀的二号位和五号位相连,所述分析组件通过所述十通阀的六号位与所述十通阀相连。


3.根据权利要求2所述的离子浓度检测设备,其特征在于,所述分析组件包括六通阀、浓缩柱、分析柱、动力泵和电导检测器,所述十通阀的六号位与所述六通阀的五号位相连,所述浓缩柱的输入端与所述六通阀的四号位相连,所述浓缩柱的输出端与所述六通阀的一号位相连,所述动力泵与所述六通阀的三号位相连,所述分析柱的输入端与所述六通阀的二号位相连,所述电导检测器与所述分析柱的输出端相连。


4.一种离子浓度检测方法,其特征在于,应用于权利要求1至3中任一项所述离子浓度检测设备,所述方法包括以下步骤:
分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析,获取每份标准溶液对应的第一分析结果;
根据所述第一分析结果建立离子浓度的标准对应关系;
将待测样品输入第二定量环,获取所述待测样品的第二分析结果,其中,所述第二定量环的容积为所述第一定量环容积的N倍,N大于1,所述多份标准溶液的浓度分别为多个目标浓度的N倍,所述待测样品中离子浓度位于所述多个目标浓度覆盖的离子浓度区间;
根据所述标准对应关系和所述第二分析结果确定待测样品中的离子浓度。


5.根据权利要求4所述的离子浓度检测方法,其特征在于,分别将离子浓度呈梯度设置的多份标准溶液输入第一定量环后进行分析,获取每份标准溶液对应的第一分析结果,包括:
分别将所述标准溶液通过连接于十通阀上的第一定量环输入分析组件;
通过所述分析组件对所述标准溶液进行分析,获得每一浓度的所述标准对应的第一分析结果。


6.根据权利要求5所述的离子浓度检测方...

【专利技术属性】
技术研发人员:倚娜
申请(专利权)人:西安奕斯伟硅片技术有限公司西安奕斯伟材料技术有限公司
类型:发明
国别省市:陕西;61

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