激光加工装置制造方法及图纸

技术编号:28811761 阅读:16 留言:0更新日期:2021-06-11 23:02
激光加工装置可以包括激光生成单元、台和抽吸单元,其中:激光生成单元生成激光束;台上安置有由激光束加工的对象物;以及抽吸单元布置在激光生成单元与台之间并且包括主体和多个烟雾抽吸管,多个烟雾抽吸管布置在主体的侧壁上并且抽吸因对对象物的加工而产生的烟雾。多个烟雾抽吸管可以包括第一烟雾抽吸管和第二烟雾抽吸管,其中:第一烟雾抽吸管从主体沿着第一方向布置;第二烟雾抽吸管从主体沿着与第一方向相反的第二方向布置。第一烟雾抽吸管的数量可以大于第二烟雾抽吸管的数量。

【技术实现步骤摘要】
激光加工装置
本专利技术涉及激光加工装置。
技术介绍
在制造诸如有机发光显示装置、液晶显示装置等的显示装置时,可执行诸如切割或修补对象物等的加工工序。可以利用激光加工装置执行这样的加工工序。激光加工是将激光束照射到对象物上以熔化或蒸发物质的工序。在激光加工过程中,可能会产生作为微粒子的烟雾(fume)。这些烟雾不仅可能对人体有害,而且还可能导致激光加工装置的缺陷。因此,需要有效地去除在激光加工过程中产生的烟雾。
技术实现思路
解决的技术问题本专利技术的一个目的在于提供包括有效地去除在激光加工过程中产生的烟雾的抽吸单元的激光加工装置。然而,本专利技术的目的不限于上述目的,并且可以在不脱离本专利技术的思想和领域的范围内进行各种扩展。问题的解决方案为了实现本专利技术的一个目的,根据实施例的激光加工装置可以包括激光生成单元、台和抽吸单元,其中:激光生成单元生成激光束;台上安置有由激光束加工的对象物;以及抽吸单元布置在激光生成单元与台之间并且包括主体和多个烟雾抽吸管,且多个烟雾抽吸管布置在主体的侧壁上并且抽吸因对对象物的加工而产生的烟雾。多个烟雾抽吸管可以包括第一烟雾抽吸管和第二烟雾抽吸管,其中:第一烟雾抽吸管从主体沿着第一方向布置;以及第二烟雾抽吸管从主体沿着与第一方向相反的第二方向布置。第一烟雾抽吸管的数量可以大于第二烟雾抽吸管的数量。在一个实施例中,第一烟雾抽吸管的数量可以为三个。在一个实施例中,第一烟雾抽吸管可以包括下部烟雾抽吸管、中部烟雾抽吸管和上部烟雾抽吸管,其中:中部烟雾抽吸管与下部烟雾抽吸管分离地布置在下部烟雾抽吸管上侧;以及上部烟雾抽吸管与中部烟雾抽吸管分离地布置在中部烟雾抽吸管上侧。在一个实施例中,下部烟雾抽吸管与中部烟雾抽吸管之间的间隔可以小于中部烟雾抽吸管与上部烟雾抽吸管之间的间隔。在一个实施例中,第二烟雾抽吸管的高度可以实质上等于上部烟雾抽吸管的高度。在一个实施例中,第二烟雾抽吸管的数量可以为一个。在一个实施例中,多个烟雾抽吸管还可以包括第三烟雾抽吸管和第四烟雾抽吸管,其中:第三烟雾抽吸管从主体沿着与第一方向和第二方向垂直的第三方向布置;以及第四烟雾抽吸管从主体沿着与第三方向相反的第四方向布置。在一个实施例中,第三烟雾抽吸管的数量可以等于第四烟雾抽吸管的数量。在一个实施例中,第三烟雾抽吸管的数量和第四烟雾抽吸管的数量中的每个可以为一个。在一个实施例中,第三烟雾抽吸管的高度可以实质上等于第四烟雾抽吸管的高度。在一个实施例中,第三烟雾抽吸管的高度和第四烟雾抽吸管的高度中的每个都可以低于第二烟雾抽吸管的高度。在一个实施例中,抽吸单元还可以包括盖和多个空气供应喷嘴,其中:盖覆盖主体的上表面;以及多个空气供应喷嘴布置在盖的上表面上。在一个实施例中,多个空气供应喷嘴中的每个可以包括空气注入部和空气喷射部,其中:空气注入部在水平方向上延伸;以及空气喷射部在竖直方向上延伸。在一个实施例中,多个空气供应喷嘴可以以均等的间隔布置。在一个实施例中,注入到多个空气供应喷嘴的空气的压力可以大于或等于约0KPa并且小于或等于约4KPa。在一个实施例中,抽吸单元还可以包括空气幕形成构件,其中,空气幕形成构件布置在主体与多个空气供应喷嘴之间,并且将在竖直方向上从多个空气供应喷嘴喷射的空气的方向变换为水平方向。在一个实施例中,空气幕形成构件可以具有U字形的截面形状。在一个实施例中,抽吸单元还可以包括颗粒抽吸构件,颗粒抽吸构件布置在主体的侧壁上,并且抽吸因对对象物的加工而产生的颗粒。在一个实施例中,颗粒抽吸构件可以从主体沿着第二方向布置。在一个实施例中,颗粒抽吸构件可以布置在第二烟雾抽吸管下方。有益效果根据本专利技术的实施例的激光加工装置的抽吸单元包括从主体分别沿着第一方向和第二方向布置的第一烟雾抽吸管和第二烟雾抽吸管,并且由于第一烟雾抽吸管的数量大于第二烟雾抽吸管的数量,因此在第一烟雾抽吸管所在的方向上形成上升气流并在第二烟雾抽吸管所在的方向上形成下降气流,并且可以通过抽吸单元有效地去除烟雾。然而,本专利技术的效果不限制于上述效果,并且可以在不脱离本专利技术的思想和领域的范围内进行各种扩展。附图说明图1是概略地示出根据本专利技术的一个实施例的激光加工装置的图。图2是示出根据本专利技术的一个实施例的抽吸单元的正视图。图3是示出图2的抽吸单元的侧视图。图4是示出图2的抽吸单元的平面图。图5是沿着图4的线V-V'截取的截面图。图6是沿着图4的线VI-VI'截取的截面图。具体实施方式在下文中,将参考附图更加详细地描述根据本专利技术的实施例的激光加工装置。对于附图上的相同的构成要素,使用相同或者相似的参考标号。首先,将参考图1对根据一个实施例的激光加工装置10进行描述。图1是概略地示出根据本专利技术的一个实施例的激光加工装置10的图。参考图1,激光加工装置10可以包括激光生成单元100、光学单元200、台300、抽吸单元400、集尘单元500、空气供应单元600和控制单元700。激光生成单元100可以生成激光束,从而发射出激光束。激光生成单元100可以包括诸如二氧化碳激光器、准分子激光器、氦氖激光器等的气体激光器,或者可以包括诸如红宝石激光器、玻璃激光器、YAG激光器、YLF激光器等的固体激光器。光学单元200可以位于激光束的路径中。光学单元200可以包括使激光束的形状均匀化的均质器和/或会聚激光束的聚光透镜。穿过光学单元200的激光束可以具有四边形、圆形等的既定的形状,并且可以形成线束。根据激光生成单元100与光学单元200的相对布置,也可以在激光生成单元100与光学单元200之间布置改变激光束的方向的镜子。穿过光学单元200的激光束可以朝向安置在台300上的对象物20照射。台300可以支承对象物20。在一个实施例中,台300可以是固定的。在另一实施例中,台300也可以沿着既定的方向移动或旋转。抽吸单元400可以抽吸在对对象物20进行激光加工时产生的烟雾和颗粒。烟雾可以是指在激光加工时产生的诸如粉尘等的、随着抽吸单元400内部的气流移动的气体形态的加工残余物,并且颗粒可以是指在激光加工时产生的诸如金属粒子等的、不会随着抽吸单元400内部的气流移动的固体形态的加工残余物。另外,抽吸单元400可以提供激光束的通道LP。集尘单元500可以捕集由抽吸单元400抽吸的烟雾和颗粒。在抽吸单元400与集尘单元500之间可布置有连接管C,并且连接管C可以提供在对对象物20进行加工时产生的烟雾和颗粒所移动的通道。集尘单元500可以包括用于调整通过抽吸单元400提供的抽吸压力的结构。这样的结构可以是电动机、泵或者风扇,并且也可以与集尘单元500分开提供。另外,集尘单元500可以包括用于过滤烟雾和颗粒的过滤器。空气供应单元600可以提供用于在与激光束的通道LP对本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.激光加工装置,包括:/n激光生成单元,生成激光束;/n台,所述台上安置有由所述激光束加工的对象物;以及/n抽吸单元,布置在所述激光生成单元与所述台之间并且包括主体和多个烟雾抽吸管,所述多个烟雾抽吸管布置在所述主体的侧壁上并且抽吸因对所述对象物的加工而产生的烟雾,/n其中,所述多个烟雾抽吸管包括:/n第一烟雾抽吸管,从所述主体沿着第一方向布置;以及/n第二烟雾抽吸管,从所述主体沿着与所述第一方向相反的第二方向布置,/n其中,所述第一烟雾抽吸管的数量大于所述第二烟雾抽吸管的数量。/n

【技术特征摘要】
20191211 KR 10-2019-01645071.激光加工装置,包括:
激光生成单元,生成激光束;
台,所述台上安置有由所述激光束加工的对象物;以及
抽吸单元,布置在所述激光生成单元与所述台之间并且包括主体和多个烟雾抽吸管,所述多个烟雾抽吸管布置在所述主体的侧壁上并且抽吸因对所述对象物的加工而产生的烟雾,
其中,所述多个烟雾抽吸管包括:
第一烟雾抽吸管,从所述主体沿着第一方向布置;以及
第二烟雾抽吸管,从所述主体沿着与所述第一方向相反的第二方向布置,
其中,所述第一烟雾抽吸管的数量大于所述第二烟雾抽吸管的数量。


2.根据权利要求1所述的激光加工装置,其中,所述第一烟雾抽吸管的数量为三个。


3.根据权利要求1所述的激光加工装置,其中,所述第一烟雾抽吸管包括:
下部烟雾抽吸管;
中部烟雾抽吸管,与所述下部烟雾抽吸管分离地布置在所述下部烟雾抽吸管上侧;以及
上部烟雾抽吸管,与所述中部烟雾抽吸管分离地布置在所述中部烟雾抽吸管上侧。


4.根据权利要求3所述的激光...

【专利技术属性】
技术研发人员:金性俊陈成昊金英培薛东和黄敏皓
申请(专利权)人:三星显示有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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