一种带有液冷载台组件的真空涂层机构制造技术

本实用新型专利技术涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、抽气密封法兰、温度检测器以及密封挡门。本实用新型专利技术能够有效、快速地对液冷载台和真空罩实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。刀具表面的薄膜沉积效果好。刀具表面的薄膜沉积效果好。

【技术实现步骤摘要】
一种带有液冷载台组件的真空涂层机构


[0001]本技术涉及涂层设备
，尤其是指一种带有液冷载台组件的真空涂层机构。

技术介绍

[0002]热丝CVD(Hot Filament CVD，简称HFCVD)方法具有成本低、设备简单、工艺稳定、适用于复杂形状及大面积沉积的优点，是最适用于金刚石薄膜涂层刀具产业化生产的方法，目前国内外HFCVD金刚石薄膜涂层复杂形状钻头和铣刀正在产业化过程中；在采用HFCVD方法对钻头或铣刀的刀刃部分进行金刚石薄膜沉积时，沉积区域(刀刃区域，基体)的表面温度数值、温度场及反应基团密度场分布均匀性对薄膜质量及均匀性有着很大的影响。用于沉积HFCVD金刚石薄膜的适宜的基体温度区间约为500
‑
1000℃，最适宜区间约为700
‑
900℃。
[0003]传统的涂层设备的上料装置通常处于真空高温状态下，为了防止上料装置被烧损，通常会对其进行水冷，但是现有技术中的涂层设备上料装置冷却结构设计不合理，至少存在以下问题：
[0004]1、通常真空罩底壁和上料装置较为靠近发热源，导致上料装置和真空罩底壁的工作温度过高，容易被高温烧损，使用寿命短，生产成本高，达不到生产的标准；
[0005]2、真空罩的内部真空环境处于超高温状态，容易被烧损，使用寿命短，生产成本高；
[0006]3、真空罩与上料装置装配，密封性不足，上料装置动作时真空罩会出现漏气的情况，影响刀具表面的薄膜沉积效果，良品率低。

技术实现思路

[0007]本技术要解决的技术问题是提供一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，能够有效、快速地对液冷载台和真空罩实现降温，使得液冷载台能够长期处于高温环境下工作，避免液冷载台烧损，还能够加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，刀具表面的薄膜沉积效果好。
[0008]为了解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：
[0009]一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其包括真空罩、液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于液冷载台组件，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、设置于真空罩本体的抽气密封法兰、设置于真空罩本体内部的温度检测器以及转动安装于真空罩本体的密封挡门，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩本体的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩本体底壁，温度检测器用于检测真空罩内部温度，
真空罩本体和密封挡门均设有夹层液冷空腔，夹层液冷空腔导入冷却液以对真空罩冷却，抽气密封法兰设置有挡尘板，抽气密封法兰用于与外界的抽真空系统密封连接。
[0010]进一步地，所述液冷载台组件包括机架、液冷载台、出液空心支撑管、升降驱动结构和旋转驱动件，机架固定安装于真空罩底部，升降驱动结构安装于机架并与出液空心支撑管驱动连接，出液空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，出液空心支撑管的下端与旋转驱动件固定连接，出液空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，液冷载台内部设有液冷空腔，出液空心支撑管与液冷空腔连通，液冷空腔内转动安装有旋转导液盘，旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接，液冷空腔导入冷却液，旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。
[0011]进一步地，所述弹性密封件为弹性环状体，弹性密封件套设于出液空心支撑管的外侧，弹性密封件的一端与真空罩底壁密封连接，弹性密封件的另一端与旋转驱动件密封连接；液冷载台上移时，弹性密封件处于压缩状态；液冷载台下移时，弹性密封件处于扩张状态。
[0012]进一步地，所述旋转导液盘包括导液平板以及设置于导液平板的多个页片，多个页片沿导液平板的中心轴线呈环形阵列，导液平板转动安装于液冷空腔内，多个页片用于搅动液冷空腔内部的冷却液，导液平板设有导液中心孔和装配凸环体，装配凸环体与导液中心孔共轴设置。
[0013]进一步地，所述液冷载台组件还包括进液空心管，进液空心管设置于出液空心支撑管内部，进液空心管的下端与旋转驱动件的输出端连接，进液空心管的上端突伸至液冷空腔内并与装配凸环体卡接，进液空心管与导液中心孔连通，旋转驱动件用于驱使进液空心管和旋转导液盘转动。
[0014]进一步地，所述旋转驱动件设有入液腔和出液腔，入液腔与进液空心管连通，出液腔与出液空心支撑管连通，冷却液依次流经入液腔、进液空心管、导液中心孔、液冷空腔、出液空心支撑管和出液腔。
[0015]进一步地，所述升降驱动结构包括固定安装于机架的升降驱动本体以及与升降驱动本体驱动连接的承载架，承载架的一端滑动设置于机架，承载架的另一端与旋转驱动件固定安装，升降驱动本体经由承载架驱使旋转驱动件、出液空心支撑管和液冷载台的升降，机架上安装有相互平行设置的多个第一导向杆，多个第一导向杆分别穿过承载架，承载架沿着第一导向杆移动。
[0016]进一步地，所述液冷载台包括液冷载台本体以及安装于液冷载台本体的承载上盖，承载上盖与液冷载台本体之间设有密封圈，刀具承载于承载上盖。
[0017]进一步地，所述真空罩底座冷盘包括密封安装于真空罩底部的冷盘本体以及设置于冷盘本体内部的冷盘空腔，冷盘空腔导入流动的冷却液，以用于冷却冷盘本体，液冷载台组件穿过冷盘本体并滑动设置于冷盘本体。
[0018]进一步地，所述冷盘本体固定安装有相互平行设置的多个第二导向杆，多个第二导向杆分别与液冷载台组件滑动连接。
[0019]本技术的有益效果：
[0020]1、真空罩底座冷盘密封安装于真空罩的底壁，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部导入流动的冷却液，能够有效、快速地对
液冷载台组件和真空罩底座冷盘实现降温，使得液冷载台组件和真空罩能够长期处于高温环境下工作，延长液冷载台组件和真空罩的使用寿命，降低生产成本；
[0021]2、真空罩的夹层液冷空腔导入流动的冷却液，防止真空罩高温烧损，延长使用寿命，降低生产成本；
[0022]3、弹性密封件内部也抽气形成真空环境，弹性密封件的一端是固定并密封设置于液冷载台组件，相对于液冷载台组件弹性密封件是不需要动作的，弹性密封件的另一端固定并密封设置于真空罩底座冷盘，相对于真空罩底座冷盘弹性密封件也是不需要动作的，弹性密封件通过自身的弹性以适应液冷载台组件的上下动作，因此可以大大加强液冷载台组件与真空罩安装的密封性，有效避免真空罩漏气，刀具表面的薄膜沉积效果好。
附图说明
[0023]图1为本技术的立体结构示意图。
[0024]图2为本技术隐藏真空罩后的结构示意图。
[0025]图3为本技术隐藏真空罩后的剖面结构示意图。
[0026]图4为本技术的旋转导液盘的结构示意图。
[0027]图5本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，包括真空罩，其特征在于：还包括液冷载台组件、弹性密封件和真空罩底座冷盘，真空罩底座冷盘用于对真空罩降温冷却，液冷载台组件用于承载刀具并调整刀具的位置高度，液冷载台组件和真空罩底座冷盘均为中空结构，冷却液导入液冷载台组件和真空罩底座冷盘内部以实现冷却，弹性密封件套设于液冷载台组件，弹性密封件的一端与液冷载台组件密封安装，弹性密封件的另一端与真空罩底座冷盘密封安装，真空罩包括真空罩本体、设置于真空罩本体的抽气密封法兰、设置于真空罩本体内部的温度检测器以及转动安装于真空罩本体的密封挡门，真空罩底座冷盘密封安装于真空罩本体的底壁，液冷载台组件滑动设置于真空罩本体底壁，温度检测器用于检测真空罩内部温度，真空罩本体和密封挡门均设有夹层液冷空腔，夹层液冷空腔导入冷却液以对真空罩冷却，抽气密封法兰设置有挡尘板，抽气密封法兰用于与外界的抽真空系统密封连接。2.根据权利要求1所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述液冷载台组件包括机架、液冷载台、出液空心支撑管、升降驱动结构和旋转驱动件，机架固定安装于真空罩底部，升降驱动结构安装于机架并与出液空心支撑管驱动连接，出液空心支撑管的上端突伸至真空罩内部并与液冷载台固定连接，出液空心支撑管的下端与旋转驱动件固定连接，出液空心支撑管滑动设置于真空罩底座冷盘，液冷载台内部设有液冷空腔，出液空心支撑管与液冷空腔连通，液冷空腔内转动安装有旋转导液盘，旋转驱动件的输出端与旋转导液盘连接，液冷空腔导入冷却液，旋转导液盘用于搅动液冷空腔内部的冷却液。3.根据权利要求2所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述弹性密封件为弹性环状体，弹性密封件套设于出液空心支撑管的外侧，弹性密封件的一端与真空罩底壁密封连接，弹性密封件的另一端与旋转驱动件密封连接；液冷载台上移时，弹性密封件处于压缩状态；液冷载台下移时，弹性密封件处于扩张状态。4.根据权利要求3所述的一种带有液冷载台组件的真空涂层机构，其特征在于：所述旋转导液盘包括导液平板以及设置于导液平板的多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王俊锋，袁明，秦兴耀，谢文荣，王锋，
申请(专利权)人：广东鼎泰机器人科技有限公司，
类型：新型
国别省市：