一种运输陶瓷盘的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种运输陶瓷盘的装置，所属半导体硅片加工配套装置技术领域，包括搬运框架，所述的搬运框架内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴，所述的滚轮轴与搬运框架间设有与滚轮轴相活动式嵌套连接的轴承座，所述的搬运框架端面上设有安全锁杆组件，所述的安全锁杆组件下端设有与搬运框架相旋接的旋轴，所述的旋轴上、下端均设有与搬运框架呈一体化焊接固定的插销座，所述的插销座与旋轴间相销轴插嵌连接固定。具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。落。落。

【技术实现步骤摘要】
一种运输陶瓷盘的装置


[0001]本技术涉及半导体硅片加工配套装置
，具体涉及一种运输陶瓷盘的装置。

技术介绍

[0002]硅片抛光后，用蜡把硅片贴在陶瓷盘上，陶瓷盘置于抛光机上，把硅片抛光成一定厚度和平坦度的工艺。
[0003]抛光是硅片加工过程中最后也是最重要的工序，这道工序对所有原辅材料的质量要求很高，其中，对陶瓷盘的粗糙度要求极高。
[0004]现有的陶瓷盘运输装置，棱角尖锐，陶瓷重量大（20kg），拿取过程中，容易造成磕碰，表面轻微的划伤或凹坑（1μm以上），便会影响品质，需要返回原厂修复，或者是报废；再者，现有装置没有安全锁，运输过程中有掉落的风险。

技术实现思路

[0005]本技术主要解决现有技术中存在容易造成磕碰和运输过程中易掉落的不足，提供了一种运输陶瓷盘的装置，其具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。
[0006]本技术的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：
[0007]一种运输陶瓷盘的装置，包括搬运框架，所述的搬运框架内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴，所述的滚轮轴与搬运框架间设有与滚轮轴相活动式嵌套连接的轴承座，所述的搬运框架端面上设有安全锁杆组件，所述的安全锁杆组件下端设有与搬运框架相旋接的旋轴，所述的旋轴上、下端均设有与搬运框架呈一体化焊接固定的插销座，所述的插销座与旋轴间相销轴插嵌连接固定。
[0008]作为优选，所述的安全锁杆组件包括防落杆，所述的防落杆与搬运框架上端间设有螺纹锁头，所述的螺纹锁头与防落杆间设有与螺纹锁头相螺纹式嵌套连接的锁紧锥螺纹套，所述的锁紧锥螺纹套与防落杆相限位嵌套连接。
[0009]作为优选，所述的防落杆与搬运框架上部间设有与防落杆相卡嵌式插接的固定卡扣。
[0010]作为优选，所述的搬运框架下端设有底座，所述的底座下端一侧设有一对万向轮，所述的底座下端另一侧设有一对与万向轮呈对称式分布的定向轮。
[0011]本技术能够达到如下效果：
[0012]本技术提供了一种运输陶瓷盘的装置，与现有技术相比较，具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。
附图说明
[0013]图1是本技术的结构示意图。
[0014]图2是本技术中的安全锁杆组件的结构示意图。
[0015]图中：搬运框架1，安全锁杆组件2，滚轮轴3，轴承座4，底座5，万向轮6，定向轮7，旋轴8，插销座9，固定卡扣10，防落杆11，锁紧锥螺纹套12，螺纹锁头13。
具体实施方式
[0016]下面通过实施例，并结合附图，对本技术的技术方案作进一步具体的说明。
[0017]实施例：如图1和图2所示，一种运输陶瓷盘的装置，包括搬运框架1，搬运框架1下端设有底座5，底座5下端一侧设有一对万向轮6，底座5下端另一侧设有一对与万向轮6呈对称式分布的定向轮7。搬运框架1内壁两侧均设有49根呈阵列式等间距分布的滚轮轴3，滚轮轴3与搬运框架1间设有与滚轮轴3相活动式嵌套连接的轴承座4，搬运框架1端面上设有安全锁杆组件2，安全锁杆组件2包括防落杆11，防落杆11与搬运框架1上部间设有与防落杆11相卡嵌式插接的固定卡扣10。防落杆11与搬运框架1上端间设有螺纹锁头13，螺纹锁头13与防落杆11间设有与螺纹锁头13相螺纹式嵌套连接的锁紧锥螺纹套12，锁紧锥螺纹套12与防落杆11相限位嵌套连接。安全锁杆组件2下端设有与搬运框架1相旋接的旋轴8，旋轴8上、下端均设有与搬运框架1呈一体化焊接固定的插销座9，插销座9与旋轴8间相销轴插嵌连接固定。
[0018]综上所述，该运输陶瓷盘的装置，具有结构简单、运输稳定性好和使用方便的特点。解决了陶瓷盘表面被尖锐的棱角划伤的问题。同时防止陶瓷盘掉落。
[0019]对于本领域技术人员而言，显然本技术不限于上述示范实施例的细节，而且在不背离技术的基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本技术。因此无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本技术的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本技术内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0020]总之，以上所述仅为本技术的具体实施例，但本技术的结构特征并不局限于此，任何本领域的技术人员在本技术的领域内，所作的变化或修饰皆涵盖在本技术的专利范围之中。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运输陶瓷盘的装置，其特征在于：包括搬运框架（1），所述的搬运框架（1）内壁两侧均设有若干呈阵列式等间距分布的滚轮轴（3），所述的滚轮轴（3）与搬运框架（1）间设有与滚轮轴（3）相活动式嵌套连接的轴承座（4），所述的搬运框架（1）端面上设有安全锁杆组件（2），所述的安全锁杆组件（2）下端设有与搬运框架（1）相旋接的旋轴（8），所述的旋轴（8）上、下端均设有与搬运框架（1）呈一体化焊接固定的插销座（9），所述的插销座（9）与旋轴（8）间相销轴插嵌连接固定。2.根据权利要求1所述的一种运输陶瓷盘的装置，其特征在于：所述的安全锁杆组件（2）包括防落杆（11），所述的防落杆（11）与...

【专利技术属性】
技术研发人员：安人龙，张森阳，
申请(专利权)人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：